HP-802 Máquina automática de corte em cubos de wafer Sistema de eixo duplo de alta precisão para materiais semicondutores de 300 mm

A máquina automática de corte de bolachas HP-802 é um sistema CNC de eixo duplo de alta precisão, concebido para processamento avançado de semicondutores e corte de materiais de precisão. Concebida para estabilidade, flexibilidade e eficiência, esta máquina é capaz de processar lotes de várias pastilhas com uma qualidade de corte consistente, o que a torna uma solução ideal tanto para ambientes de I&D como para linhas de produção em massa.

HP-802 Máquina automática de corte em cubos de wafer Sistema de eixo duplo de alta precisão para materiais semicondutores de 300 mmA máquina automática de corte de bolachas HP-802 é um sistema CNC de eixo duplo de alta precisão, concebido para processamento avançado de semicondutores e corte de materiais de precisão. Concebida para estabilidade, flexibilidade e eficiência, esta máquina é capaz de processar lotes de várias pastilhas com uma qualidade de corte consistente, o que a torna uma solução ideal tanto para ambientes de I&D como para linhas de produção em massa.

Com um tamanho máximo de peça de trabalho de 300 mm × 300 mm, a HP-802 suporta o corte de bolachas de 8 polegadas ou menos, incluindo materiais como silício, carboneto de silício (SiC), safira, vidro e outros substratos frágeis. O sistema adopta uma estrutura do tipo pórtico, assegurando uma elevada rigidez e uma vibração reduzida durante o funcionamento, o que é essencial para obter cortes limpos e minimizar a lascagem das arestas.


Principais caraterísticas e benefícios

Eficiência de processamento de várias pastilhas

A HP-802 está especificamente optimizada para o processamento de várias peças, permitindo aos utilizadores carregar e processar vários wafers em simultâneo. Através da sua interface de controlo inteligente, os operadores podem definir sequências de corte flexíveis, melhorando significativamente o rendimento e reduzindo o tempo de ciclo.

Opções de fuso de alta potência

A máquina oferece várias configurações de fuso para satisfazer diferentes requisitos de material:

  • Fuso de alta velocidade de 1,8 kW / 2,2 kW para aplicações gerais
  • Fuso opcional de 2,8 kW para materiais duros e espessos como o SiC

Com uma gama de velocidades até 60.000 rpm, o fuso assegura um desempenho de corte preciso e suave em vários substratos.

Controlo de movimentos de alta precisão

Equipada com sistemas avançados de controlo de movimentos, a HP-802 oferece:

  • Resolução do eixo X: 0,001 mm
  • Resolução do eixo Y: 0,0001 mm
  • Precisão de posicionamento: ±0,002 mm

Estes parâmetros garantem uma elevada repetibilidade e precisão, satisfazendo os requisitos rigorosos do fabrico de semicondutores.

Estrutura de pórtico para estabilidade

O design robusto da estrutura do pórtico aumenta a rigidez mecânica e reduz a vibração, o que é fundamental para manter a precisão do corte e prolongar a vida útil da ferramenta.

Função opcional de penso Sub-CT

O sistema opcional de afiação da lâmina Sub-CT mantém continuamente a afiação da lâmina durante o funcionamento. Esta caraterística melhora significativamente a consistência do corte e reduz o tempo de inatividade associado à manutenção manual da lâmina.


Especificações técnicas

Item Especificação
Potência do fuso 1,8 kW / 2,2 kW / 2,8 kW (opcional)
Velocidade do fuso 3000 - 60000 rpm
Tamanho da peça de trabalho Redondo: Ø300 mm / Quadrado: 300 × 300 mm
Curso do eixo X 300 mm
Velocidade do eixo X 0,1 - 600 mm/s
Resolução do eixo X 0,001 mm
Resolução do eixo Y 0,0001 mm
Precisão de posicionamento ±0,002 mm
Repetibilidade do eixo Z 0,001 mm
Diâmetro máximo da lâmina 58 mm / 120 mm
Rotação do eixo θ 380° ±5°
Sistema ótico 1,5× / 0,8× (opcional)
Tamanho da máquina 1085 × 1040 × 1805 mm
Peso 1200 kg

Princípio de funcionamento

A HP-802 funciona utilizando uma lâmina de diamante rotativa de alta velocidade, combinada com eixos lineares controlados com precisão. Durante a operação, a pastilha é montada com segurança na mesa de trabalho e a lâmina executa trajectórias de corte programadas com profundidade e velocidade controladas.

A integração de sistemas de alinhamento ótico assegura um posicionamento preciso antes do início do corte, enquanto o sistema de controlo de movimento mantém taxas de avanço e forças de corte estáveis. Isto resulta numa lascagem mínima, arestas suaves e taxas de rendimento elevadas, mesmo para materiais frágeis e duros.


Aplicações

A Máquina Automática de Corte de Wafer HP-802 é amplamente utilizada em:

  • Corte de bolachas semicondutoras (≤ 8 polegadas)
  • Processamento de pastilhas de SiC
  • Corte de substrato de safira
  • Corte de precisão de vidro e cerâmica
  • Fabrico de dispositivos MEMS e sensores

A sua versatilidade torna-o adequado para indústrias que requerem elevada precisão e repetibilidade, especialmente na eletrónica avançada e no fabrico ótico.


Principais vantagens

  • Alta eficiência
    A capacidade de processamento multi-wafer aumenta significativamente a produtividade
  • Alta precisão
    O posicionamento ao nível do mícron garante uma precisão de corte consistente
  • Alta estabilidade
    A estrutura do pórtico reduz as vibrações e melhora a fiabilidade
  • Configuração flexível
    Várias opções de fuso e lâmina para diferentes materiais
  • Redução dos custos de funcionamento
    O sistema Sub-CT opcional aumenta a vida útil da lâmina e reduz a manutenção

FAQ

P1: Qual é o tamanho máximo de wafer suportado pela HP-802?
R: A máquina suporta bolachas até 300 mm (8 polegadas e inferior), incluindo peças redondas e quadradas.

Q2: Esta máquina pode cortar materiais duros como SiC ou safira?
R: Sim. Com o fuso de alta potência opcional de 2,8 kW, a HP-802 é capaz de cortar com eficiência materiais duros e frágeis, como SiC e safira.

Q3: A máquina suporta o processamento automático de lotes?
R: Sim. A HP-802 foi concebida para o processamento de lotes de vários wafer, permitindo uma programação flexível e melhorando significativamente a eficiência da produção.

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