8 吋熔融石英晶圓是一種優質的高純度合成石英 (SiO₂ ≥99.99%)基板，專為半導體、MEMS、光學和雷射系統的高精密應用而設計。其超低熱膨脹、卓越的紫外-紅外透射率及優異的耐化學性，使其成為光刻、蝕刻、薄膜沉積及高精度感測器製造等嚴苛環境的理想選擇。.
每一片晶圓都是在無塵室環境中，經過嚴格的品質控管下精心製造而成，以確保優異的平面度、表面光潔度和純度。這保證了關鍵工業、研究和航空應用的可靠性能。.
主要功能與優勢
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超高純度 (≥99.99%):將半導體和光學製程中的污染降至最低。.
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卓越的熱穩定性:軟化點 ~1683°C，高溫製程短期公差可達 1450°C。.
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超低熱膨脹 (0.55 × 10-⁶/K):確保在熱應力下的尺寸穩定性。.
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優異的光學傳輸:紫外-紅外範圍 185 nm-2.5 µm，是光刻技術、雷射光學和紫外感測器的理想選擇。.
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高表面品質:Ra ≤1.0 nm 和 TTV ≤10 µm，可實現均勻的薄膜沉積和精確的感測器整合。.
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耐化學性:: 耐大部分酸 (HF除外) 及鹼，適用於濕蝕及惡劣環境。.
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抗輻射性與介電穩定性:支援航太與高能物理應用。.
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可客製化的形狀與尺寸:圓形、方形、環形或扇形晶圓，可選擇拋光、AR/IR/DLC 塗層和微加工。.
應用
| 產業 | 應用 | 效益 |
|---|---|---|
| 半導體 | 光罩基板、蝕刻載具、CMP 研磨墊 | 高溫穩定性、超低瑕疵，確保晶片製造精度 |
| 光電 | PECVD 製程晶圓、薄膜沉積基板 | 抗熱震，提高太陽能電池效率 |
| 光電 | LED/LD 基板、雷射窗、光學感測器 | 高紫外-紅外透射率、低自發光，提升裝置效能 |
| 精密光學 | 鏡片基板、稜鏡、分光器、IR 視窗 | 低熱膨脹、高均勻性，確保光學穩定性 |
| 研究與實驗室 | 同步加速器輻射、紫外線實驗、高能量探測器 | 抗輻射，可承受極端條件 |
| 航太 | 衛星光學窗、高溫觀測板 | 熱震耐久性、太空級可靠性 |
技術規格
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 材質 | 合成熔融石英 (SiO₂ ≥99.99%) |
| 直徑 | 200 公釐（8 英吋） |
| 厚度範圍 | 100 µm - 3000 µm（可自訂） |
| 總厚度變異 (TTV) | ≤10 µm |
| 表面粗度 (Ra) | ≤1.0 nm |
| 總雜質含量 | ≤2.0 µg/g |
| 熱膨脹係數 | 0.55 × 10-⁶/k (20-300°c) |
| 耐溫性 | 軟化點 1683°C，短期可達 1450°C |
| 紫外線透射率 | >90% (200-260 奈米) |
| 表面平整度 | 高精度，TTV ≤10 µm |
| 形狀選項 | 圓形（標準），可提供客製化形狀 |
| 認證 | RoHS, ISO9001 |
常見問題
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問：8 吋石英晶片的標準厚度是多少？
A: 標準厚度為 0.5-1.0 mm，特殊半導體和光學應用的客製化選項可達 10 mm。. -
問：為何選擇熔融石英晶片而非矽晶圓？
A: 熔融石英晶圓具有優異的紫外線透明度、更高的熱穩定性（高達 1730°C）、耐化學性和尺寸穩定性，是高精度光刻和嚴苛製程的理想選擇。. -
Q: FUYAO 可以提供客製化的晶圓形狀和表面處理嗎？
A: 是的。選項包括圓形、方形、環形、扇形晶圓，以及光學拋光、AR/IR/DLC 塗層、鑽孔和開槽等表面處理。.
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