8인치 용융 석영 웨이퍼는 반도체, MEMS, 광학 및 레이저 시스템의 고정밀 애플리케이션을 위해 설계된 프리미엄 고순도 합성 석영(SiO₂ ≥99.99%) 기판입니다. 열 팽창이 매우 낮고 UV-IR 투과율이 뛰어나며 내화학성이 우수하여 포토리소그래피, 에칭, 박막 증착 및 고정밀 센서 제조와 같은 까다로운 환경에 이상적입니다.
각 웨이퍼는 클린룸 환경에서 엄격한 품질 관리 하에 세심하게 생산되어 우수한 평탄도, 표면 마감 및 순도를 보장합니다. 따라서 중요한 산업, 연구 및 항공우주 애플리케이션에 안정적인 성능을 보장합니다.
주요 기능 및 장점
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초고순도(≥99.99%): 반도체 및 광학 공정의 오염을 최소화합니다.
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탁월한 열 안정성: 연화점 ~1683°C, 고온 공정에서 최대 1450°C의 단기 내성.
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초저열팽창(0.55 × 10-⁶/K): 열 응력 하에서 치수 안정성을 보장합니다.
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뛰어난 광 전송: UV-IR 범위: 포토리소그래피, 레이저 광학 및 UV 센서에 이상적인 185nm-2.5µm.
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높은 표면 품질: 균일한 박막 증착과 정밀한 센서 통합을 위한 Ra ≤1.0nm 및 TTV ≤10µm.
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내화학성: 대부분의 산(HF 제외) 및 알칼리에 강하며 습식 에칭 및 열악한 환경에 적합합니다.
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내방사선 및 유전체 안정성: 항공우주 및 고에너지 물리학 애플리케이션을 지원합니다.
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사용자 정의 가능한 모양 및 크기: 원형, 정사각형, 환형 또는 섹터형 웨이퍼, 폴리싱, AR/IR/DLC 코팅 및 미세 가공 옵션 제공.
애플리케이션
| 산업 | 애플리케이션 | 혜택 |
|---|---|---|
| 반도체 | 포토마스크 기판, 에칭 캐리어, CMP 폴리싱 패드 | 고온 안정성, 초저결함, 칩 제조 정밀도 보장 |
| 태양광 발전 | PECVD 공정 웨이퍼, 박막 증착 기판 | 열 충격 저항, 태양 전지 효율 향상 |
| 광전자 공학 | LED/LD 기판, 레이저 윈도우, 광학 센서 | 높은 자외선-적외선 투과율, 낮은 자가 형광으로 디바이스 성능 향상 |
| 정밀 광학 | 렌즈 기판, 프리즘, 빔 스플리터, IR 창 | 낮은 열팽창, 높은 균질성, 광학 안정성 보장 |
| 연구 및 실험실 | 싱크로트론 방사선, VUV 실험, 고에너지 검출기 | 내방사선성, 극한 환경에서도 견딜 수 있는 내구성 |
| 항공우주 | 위성 광학 창, 고온 관측 패널 | 열 충격 내구성, 우주 등급 신뢰성 |
기술 사양
| 매개변수 | 사양 |
|---|---|
| 재료 | 합성 용융 석영(SiO₂ ≥99.99%) |
| 지름 | 200mm(8인치) |
| 두께 범위 | 100µm - 3000µm(사용자 지정 가능) |
| 총 두께 변화(TTV) | ≤10 µm |
| 표면 거칠기(Ra) | ≤1.0nm |
| 총 불순물 함량 | ≤2.0 µg/g |
| 열팽창 계수 | 0.55 × 10-⁶/K(20-300°C) |
| 온도 저항 | 연화점 1683°C, 단기 최대 1450°C |
| 자외선 투과율 | >90%(200-260nm) |
| 표면 평탄도 | 고정밀, TTV ≤10µm |
| 모양 옵션 | 원형(표준), 사용자 지정 모양 사용 가능 |
| 인증 | RoHS, ISO9001 |
자주 묻는 질문
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Q: 8인치 쿼츠 웨이퍼의 표준 두께는 얼마입니까?
A: 표준 두께는 0.5~1.0mm이며, 특수 반도체 및 광학 애플리케이션을 위한 맞춤형 옵션은 최대 10mm입니다. -
Q: 실리콘 웨이퍼 대신 퓨즈드 쿼츠 웨이퍼를 선택하는 이유는 무엇인가요?
A: 용융 석영 웨이퍼는 뛰어난 UV 투명성, 높은 열 안정성(최대 1730°C), 내화학성 및 치수 안정성을 제공하여 고정밀 리소그래피 및 열악한 공정에 이상적입니다. -
Q: FUYAO는 맞춤형 웨이퍼 모양과 표면 처리를 제공할 수 있습니까?
A: 예. 옵션에는 원형, 정사각형, 환형, 섹터형 웨이퍼와 광학 연마, AR/IR/DLC 코팅, 드릴링 및 홈 가공과 같은 표면 처리가 포함됩니다.
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