إن رقاقة الكوارتز المنصهرة مقاس 8 بوصة عبارة عن رقاقة كوارتز اصطناعية عالية النقاء (SiO₂ ≥99.99%) وهي ركيزة مصممة للتطبيقات عالية الدقة في أشباه الموصلات وأنظمة أشباه الموصلات وأنظمة MEMS والبصرية والليزر. إن تمددها الحراري المنخفض للغاية ونفاذية الأشعة فوق البنفسجية والأشعة تحت الحمراء الاستثنائية ومقاومتها الكيميائية الممتازة تجعلها مثالية للبيئات الصعبة مثل الطباعة الليثوغرافية الضوئية والحفر والترسيب بالأغشية الرقيقة وتصنيع أجهزة الاستشعار عالية الدقة.
يتم إنتاج كل رقاقة بعناية في ظل رقابة صارمة على الجودة في بيئة غرف الأبحاث لضمان التسطيح الفائق والتشطيب السطحي والنقاء. ويضمن ذلك أداءً موثوقًا للتطبيقات الصناعية والبحثية والفضائية الحرجة.
الميزات والمزايا الرئيسية
-
نقاء فائق النقاء (≥99.99%): يقلل التلوث في أشباه الموصلات والعمليات البصرية.
-
استقرار حراري استثنائي: نقطة التليين ~ 1683 درجة مئوية، تحمل قصير الأجل يصل إلى 1450 درجة مئوية للعمليات ذات درجات الحرارة العالية.
-
التمدد الحراري المنخفض للغاية (0.55 × 10-⁶/ك): يضمن ثبات الأبعاد تحت الضغط الحراري.
-
نقل بصري فائق: نطاق الأشعة فوق البنفسجية والأشعة تحت الحمراء 185 نانومتر - 2.5 ميكرومتر، مثالي للطباعة الليثوغرافية الضوئية وبصريات الليزر ومستشعرات الأشعة فوق البنفسجية.
-
جودة السطح العالية: Ra ≤1.0 نانومتر وTTV ≤10 ميكرومتر لترسيب غشاء رقيق موحد وتكامل دقيق للمستشعر.
-
مقاومة المواد الكيميائية: مقاوم لمعظم الأحماض (باستثناء HF) والقلويات، ومناسب للحفر الرطب والبيئات القاسية.
-
مقاومة الإشعاع واستقرار العزل الكهربائي: يدعم تطبيقات الفضاء والفيزياء عالية الطاقة.
-
أشكال وأحجام قابلة للتخصيص: رقاقات مستديرة أو مربعة أو حلقية أو على شكل قطاع مع طلاء اختياري بالصقل والطلاء بالواقع المعزز/الأشعة تحت الحمراء/طلاء الأشعة تحت الحمراء/طلاءات DLC والتصنيع الدقيق.
التطبيقات
| الصناعة | التطبيق | المزايا |
|---|---|---|
| أشباه الموصلات | ركائز القناع الضوئي، وناقلات الحفر، ووسادات التلميع CMP | ثبات في درجات الحرارة العالية، وعيوب منخفضة للغاية، تضمن دقة تصنيع الرقاقة |
| الخلايا الكهروضوئية | رقائق عملية PECVD، وركائز ترسيب الأغشية الرقيقة | مقاومة الصدمات الحرارية، وتحسين كفاءة الخلايا الشمسية |
| الإلكترونيات الضوئية | ركائز LED/LD، ونوافذ الليزر، والمستشعرات الضوئية | انتقال عالي للأشعة فوق البنفسجية والأشعة تحت الحمراء وانخفاض التألق الذاتي وتعزيز أداء الجهاز |
| البصريات الدقيقة | ركائز العدسات والمنشورات ومقسمات الشعاع ونوافذ الأشعة تحت الحمراء | تمدد حراري منخفض، تجانس عالي، يضمن ثبات بصري |
| الأبحاث والمختبر | الإشعاع السنكروتروني، وتجارب الأشعة فوق البنفسجية فوق البنفسجية، وكاشفات الطاقة العالية | مقاومة للإشعاع، وتتحمل الظروف القاسية |
| الفضاء الجوي | النوافذ الضوئية للأقمار الصناعية، ولوحات المراقبة ذات درجة الحرارة العالية | تحمّل الصدمات الحرارية وموثوقية من الدرجة الفضائية |
المواصفات الفنية
| المعلمة | المواصفات |
|---|---|
| المواد | الكوارتز المصهور الاصطناعي (SiO₂ ≥99.99%) |
| القطر | 200 مم (8 بوصة) |
| نطاق السُمك | 100 ميكرومتر - 3000 ميكرومتر (قابل للتخصيص) |
| التباين الكلي للسمك (TTV) | ≤10 ميكرومتر |
| خشونة السطح (Ra) | ≤1.0 نانومتر |
| إجمالي محتوى الشوائب | ≤2.0 ميكروغرام/غرام |
| معامل التمدد الحراري | 0.55 × 10-⁶/ك (20-300 درجة مئوية) |
| مقاومة درجات الحرارة | نقطة التليين 1683 درجة مئوية، على المدى القصير حتى 1450 درجة مئوية |
| نفاذية الأشعة فوق البنفسجية | >90% (200-260 نانومتر) |
| تسطيح السطح | دقة عالية، TTV ≤10 ميكرومتر |
| خيارات الشكل | دائرية (قياسية)، تتوفر أشكال مخصصة |
| الشهادات | RoHS، ISO9001 |
الأسئلة الشائعة
-
س: ما السماكة القياسية لرقاقة الكوارتز مقاس 8 بوصة؟
A: يبلغ السُمك القياسي 0.5-1.0 مم، مع خيارات مخصصة تصل إلى 10 مم للتطبيقات المتخصصة في أشباه الموصلات والتطبيقات البصرية. -
س: لماذا اختيار رقائق الكوارتز المنصهرة بدلاً من رقائق السيليكون؟
A: توفر رقائق الكوارتز المنصهرة شفافية فائقة للأشعة فوق البنفسجية وثباتًا حراريًا أعلى (حتى 1730 درجة مئوية) ومقاومة كيميائية وثباتًا في الأبعاد، مما يجعلها مثالية للطباعة الحجرية عالية الدقة والعمليات القاسية. -
س: هل يمكن لشركة FUYAO توفير أشكال رقائق مخصصة ومعالجات سطحية؟
A: نعم. تشمل الخيارات الرقائق المستديرة والمربعة والحلقية والقطاعية الشكل، مع معالجات سطحية مثل التلميع البصري وطلاءات AR/IR/DLC والحفر والحفر.
المراجعات
لا توجد مراجعات بعد.