8-дюймовая пластина из плавленого кварца - это высокочистая синтетическая кварцевая подложка премиум-класса (SiO₂ ≥99,99%), разработанная для высокоточных применений в полупроводниковых, МЭМС, оптических и лазерных системах. Ультранизкое тепловое расширение, исключительное пропускание УФ-ИК-лучей и превосходная химическая стойкость делают ее идеальной для работы в таких сложных условиях, как фотолитография, травление, осаждение тонких пленок и изготовление высокоточных датчиков.
Каждая пластина изготавливается под строгим контролем качества в чистом помещении, чтобы обеспечить превосходную плоскостность, чистоту и качество поверхности. Это гарантирует надежную работу в критически важных промышленных, исследовательских и аэрокосмических приложениях.
Ключевые особенности и преимущества
-
Сверхвысокая чистота (≥99,99%): Минимизирует загрязнение в полупроводниковых и оптических процессах.
-
Исключительная термостабильность: Температура размягчения ~1683°C, кратковременный допуск до 1450°C для высокотемпературных процессов.
-
Сверхнизкое тепловое расширение (0,55 × 10-⁶/K): Обеспечивает стабильность размеров при термических нагрузках.
-
Превосходная оптическая передача: УФ-ИК диапазон 185 нм-2,5 мкм, идеально подходит для фотолитографии, лазерной оптики и УФ-датчиков.
-
Высокое качество поверхности: Ra ≤1,0 нм и TTV ≤10 мкм для равномерного тонкопленочного осаждения и точной интеграции датчиков.
-
Химическая стойкость: Устойчив к большинству кислот (кроме HF) и щелочей, подходит для влажного травления и работы в жестких условиях.
-
Радиационная стойкость и диэлектрическая стабильность: Поддерживает аэрокосмические приложения и приложения физики высоких энергий.
-
Настраиваемые формы и размеры: Круглые, квадратные, кольцевые или секторные пластины с возможностью полировки, нанесения AR/IR/DLC покрытий и микрофабрикации.
Приложения
| Промышленность | Приложение | Выгода |
|---|---|---|
| Полупроводник | Подложки для фотомасок, носители для травления, полировальные подушечки для CMP | Высокая температурная стабильность, ультранизкий уровень дефектов, обеспечивает точность изготовления микросхем |
| Фотовольтаика | Пластины для процесса PECVD, подложки для тонкопленочного осаждения | Устойчивость к тепловым ударам, повышает эффективность солнечных элементов |
| Оптоэлектроника | Подложки для светодиодов и светодиодов, лазерные окна, оптические датчики | Высокое УФ-ИК-пропускание, низкий уровень автофлуоресценции, улучшает работу устройства |
| Прецизионная оптика | Подложки для линз, призмы, разветвители луча, ИК-окна | Низкое тепловое расширение, высокая однородность, обеспечивает оптическую стабильность |
| Исследования и лаборатории | Синхротронное излучение, ВУФ-эксперименты, высокоэнергетические детекторы | Радиационная стойкость, выдерживает экстремальные условия |
| Аэрокосмическая промышленность | Оптические окна для спутников, высокотемпературные панели наблюдения | Выносливость к тепловым ударам, надежность космического класса |
Технические характеристики
| Параметр | Технические характеристики |
|---|---|
| Материал | Синтетический плавленый кварц (SiO₂ ≥99.99%) |
| Диаметр | 200 мм (8 дюймов) |
| Диапазон толщины | 100 мкм - 3000 мкм (настраивается) |
| Общая вариация толщины (TTV) | ≤10 мкм |
| Шероховатость поверхности (Ra) | ≤1,0 нм |
| Общее содержание примесей | ≤2,0 мкг/г |
| Коэффициент теплового расширения | 0,55 × 10-⁶/K (20-300 °C) |
| Температурная стойкость | Температура размягчения 1683°C, кратковременно до 1450°C |
| УФ-пропускание | >90% (200-260 нм) |
| Плоскостность поверхности | Высокая точность, TTV ≤10 мкм |
| Варианты формы | Круглые (стандарт), возможны нестандартные формы |
| Сертификаты | RoHS, ISO9001 |
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
-
Вопрос: Какова стандартная толщина 8-дюймовой кварцевой пластины?
A: Стандартная толщина составляет 0,5-1,0 мм, а для специализированных полупроводниковых и оптических применений возможны варианты до 10 мм. -
В: Почему стоит выбрать пластины из плавленого кварца, а не кремниевые пластины?
A: Пластины из плавленого кварца обладают превосходной ультрафиолетовой прозрачностью, высокой термической стабильностью (до 1730°C), химической стойкостью и стабильностью размеров, что делает их идеальными для высокоточной литографии и жестких процессов. -
В: Может ли FUYAO предоставить нестандартные формы пластин и обработку поверхности?
A: Да. Предлагаются круглые, квадратные, кольцевые, секторные пластины с такими видами обработки поверхности, как оптическая полировка, AR/IR/DLC-покрытия, сверление и рифление.
Отзывы
Отзывов пока нет.