12-дюймовая сапфировая пластина - это высокопроизводительная монокристаллическая подложка из оксида алюминия (Al₂O₃), разработанная для передовых полупроводниковых, оптоэлектронных и высокотемпературных приложений. Она изготавливается из кристалла сапфира сверхвысокой чистоты с уровнем чистоты ≥99,99%, что обеспечивает превосходную структурную однородность и низкую плотность дефектов.
Сапфир широко известен своей исключительной механической твердостью, химической стабильностью и оптической прозрачностью, что делает его одним из самых надежных материалов для подложек в экстремальных условиях. 12-дюймовый формат представляет собой высококлассный размер промышленных пластин, предназначенных для массового производства эпитаксиальных слоев светодиодов и передовых электронных устройств.
В отличие от кремния, сапфир является электроизолятором, что делает его особенно подходящим для приложений, требующих высокочастотной изоляции, термической стабильности и оптической прозрачности.
Характеристики материала
Сапфир (α-Al₂O₃) - монокристаллический материал, обладающий уникальным сочетанием физических свойств:
- Чрезвычайно высокая твердость (Мооса 9)
- Отличная устойчивость к термоударам и высокотемпературным средам
- Выдающаяся химическая инертность к кислотам и щелочам
- Широкий диапазон оптического пропускания (от ультрафиолетового до среднего инфракрасного после полировки)
- Высокая диэлектрическая прочность и электроизоляция
Эти свойства делают сапфировые пластины предпочтительным выбором при производстве светодиодов, радиочастотных устройств, лазерных систем и электроники аэрокосмического класса.
Полировка и качество поверхности
Этот продукт поддерживает как процессы DSP (двухсторонняя полировка), так и SSP (односторонняя полировка), обеспечивая гибкость для различных производственных требований.
- Передняя поверхность: Полировка с эпи-готовностью (Ra < 0,3 нм)
- Задняя поверхность: Притертая или полуполированная в зависимости от спецификации
- Чистота поверхности: Обработка в чистом помещении класса 100
- Контроль загрязнения: сверхнизкий уровень содержания частиц и остатков металлов
Эти качества поверхности критически важны для процессов эпитаксиального роста, таких как MOCVD, MBE и PECVD, где однородность поверхности на атомном уровне напрямую влияет на производительность устройства.
Технические характеристики
| Параметр | Технические характеристики |
|---|---|
| Материал | Монокристаллический сапфир (Al₂O₃ ≥ 99,99%) |
| Диаметр | 2” - 12” (настраивается) |
| Толщина 12 дюймов | 3000 ± 20 мкм |
| Ориентация | С-плоскость (0001), А-плоскость, М-плоскость, R-плоскость |
| DSP / SSP | Доступно |
| ОФ Ориентация | a-плоскость 0 ± 0,3° |
| TTV | ≤ 15 мкм (12 дюймов) |
| BOW | -25 ~ 0 мкм (12 дюймов) |
| Warp | ≤ 30 мкм |
| Передняя поверхность | Эпиготовность (Ra < 0,3 нм) |
| Задняя поверхность | Притирка (Ra 0,6-1,2 мкм) |
| Упаковка | Вакуумная упаковка для чистых помещений |
Основные характеристики
- Сверхбольшая 12-дюймовая сапфировая подложка полупроводникового класса
- Высокочистый монокристалл Al₂O₃ (≥99.99%)
- Поддерживает варианты полировки DSP и SSP
- Доступно несколько кристаллографических ориентаций
- Отличная термическая стабильность и механическая прочность
- Обработка в чистых помещениях со сверхнизким уровнем загрязнения
- Подходит для высокотехнологичного эпитаксиального роста и исследовательских задач
Приложения
Производство светодиодов и оптоэлектроники
Сапфировые пластины с C-плоскостью широко используются в качестве подложек для производства светодиодов на основе GaN, включая синие, белые, ультрафиолетовые и глубоко ультрафиолетовые устройства.
Эпитаксиальный рост полупроводников
Поддерживает передовые эпитаксиальные процессы, такие как:
- MOCVD (металлоорганическое химическое осаждение из паровой фазы)
- MBE (молекулярно-лучевая эпитаксия)
- PECVD (плазменно-усиленный CVD)
Радиочастотные и высокочастотные устройства
Используется в гетеропереходных биполярных транзисторах (HBT), лазерных диодах (LD) и компонентах высокочастотной связи.
Ультрафиолетовое и лазерное излучение
Сапфировые подложки подходят для УФ-детекторов, лазерных окон и систем фотонной интеграции.
Высокотемпературная электроника
Используются в качестве термостойких изоляционных подложек в мощных и высокочастотных средах.
Параметры настройки
Мы предоставляем услуги по гибкой настройке для научных исследований и промышленного производства:
- Диаметр: 1”, 2”, 3”, 4”, 6”, 8”, 12”
- Ориентация кристаллов: C-плоскость / A-плоскость / M-плоскость / R-плоскость
- Возможность регулировки угла наклона
- Варианты обработки поверхности DSP / SSP
- Оптимизация толщины и TTV
- Обработка кромок и снятие фасок
- Индивидуальная упаковка (отдельные пластины / кассеты)
Каждая пластина отслеживается по уникальному серийному номеру, что обеспечивает контроль качества и прослеживаемость производства.
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
Вопрос 1: В чем основное преимущество сапфировых пластин перед кремниевыми?
Сапфир прозрачен и электроизолирован, что делает его идеальным для светодиодов и оптических приборов, в то время как кремний используется в основном для электронных схем.
Вопрос 2: Почему важна 12-дюймовая сапфировая пластина?
Он поддерживает крупномасштабное промышленное производство светодиодов и полупроводников, повышая эффективность и снижая стоимость единицы продукции при массовом производстве.
Вопрос 3: Что означают термины DSP и SSP?
DSP означает двухстороннюю полировку, а SSP - одностороннюю полировку. Они влияют на качество поверхности и пригодность к применению.
Вопрос 4: Можно ли использовать сапфировые пластины непосредственно для производства устройств?
Они используются в качестве подложек и требуют эпитаксиального роста или дополнительной обработки перед изготовлением конечного устройства.
Вопрос 5: Почему сапфир используется в светодиодах?
Потому что он обеспечивает стабильную структуру решетки для роста GaN и отличные тепловые и оптические характеристики.
Request a Quote for 12-inch Sapphire Wafer (Al₂O₃) for LED, Semiconductor & Epitaxial Growth
Tell us your required specifications, dimensions, quantity, application and technical requirements. You can also provide drawings or additional project information. Our technical team will review your requirements and reply as soon as possible.
Отзывы
Отзывов пока нет.