La oblea de cuarzo fundido de 8 pulgadas es un sustrato de cuarzo sintético de gran pureza (SiO₂ ≥99,99%) diseñado para aplicaciones de alta precisión en sistemas semiconductores, MEMS, ópticos y láser. Su expansión térmica ultrabaja, su excepcional transmitancia UV-IR y su excelente resistencia química lo hacen ideal para entornos exigentes como la fotolitografía, el grabado, la deposición de películas finas y la fabricación de sensores de alta precisión.
Cada oblea se fabrica cuidadosamente bajo estrictos controles de calidad en un entorno de sala blanca para garantizar una planitud, un acabado superficial y una pureza superiores. Esto garantiza un rendimiento fiable para aplicaciones industriales, de investigación y aeroespaciales críticas.
Principales características y ventajas
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Pureza ultra alta (≥99.99%): Minimiza la contaminación en procesos ópticos y de semiconductores.
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Estabilidad térmica excepcional: Punto de reblandecimiento ~1683°C, tolerancia a corto plazo hasta 1450°C para procesos de alta temperatura.
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Expansión térmica ultrabaja (0,55 × 10-⁶/K): Garantiza la estabilidad dimensional bajo estrés térmico.
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Transmisión óptica superior: Rango UV-IR 185 nm-2,5 µm, ideal para fotolitografía, óptica láser y sensores UV.
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Alta calidad superficial: Ra ≤1,0 nm y TTV ≤10 µm para una deposición uniforme de la capa fina y una integración precisa del sensor.
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Resistencia química: Resistente a la mayoría de los ácidos (excepto HF) y álcalis, adecuado para el grabado húmedo y entornos difíciles.
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Resistencia a la radiación y estabilidad dieléctrica: Compatible con aplicaciones aeroespaciales y de física de altas energías.
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Formas y tamaños personalizables: Obleas redondas, cuadradas, anulares o sectoriales con pulido opcional, revestimientos AR/IR/DLC y microfabricación.
Aplicaciones
| Industria | Aplicación | Beneficio |
|---|---|---|
| Semiconductor | Sustratos de fotomáscaras, soportes de grabado, almohadillas de pulido CMP | Estabilidad a altas temperaturas, defectos ultrabajos, garantiza la precisión en la fabricación de chips |
| Fotovoltaica | Obleas de proceso PECVD, sustratos de deposición de película fina | Resistencia al choque térmico, mejora la eficiencia de la célula solar |
| Optoelectrónica | Sustratos LED/LD, ventanas láser, sensores ópticos | Alta transmisión UV-IR, baja autofluorescencia, mejora el rendimiento del dispositivo |
| Óptica de precisión | Sustratos de lentes, prismas, divisores de haz, ventanas IR | Baja expansión térmica, alta homogeneidad, garantiza la estabilidad óptica |
| Investigación y laboratorio | Radiación sincrotrón, experimentos VUV, detectores de alta energía | Resistente a la radiación, soporta condiciones extremas |
| Aeroespacial | Ventanas ópticas para satélites, paneles de observación de alta temperatura | Resistencia al choque térmico, fiabilidad espacial |
Especificaciones técnicas
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Material | Cuarzo fundido sintético (SiO₂ ≥99,99%) |
| Diámetro | 200 mm (8 pulgadas) |
| Gama de espesores | 100 µm - 3000 µm (personalizable) |
| Variación del espesor total (VET) | ≤10 µm |
| Rugosidad superficial (Ra) | ≤1,0 nm |
| Contenido total de impurezas | ≤2,0 µg/g |
| Coeficiente de dilatación térmica | 0,55 × 10-⁶/K (20-300°C) |
| Resistencia a la temperatura | Punto de reblandecimiento 1683°C, a corto plazo hasta 1450°C |
| Transmitancia UV | >90% (200-260 nm) |
| Planitud de la superficie | Alta precisión, TTV ≤10 µm |
| Opciones de forma | Redondo (estándar), formas personalizadas disponibles |
| Certificaciones | RoHS, ISO9001 |
PREGUNTAS FRECUENTES
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P: ¿Cuál es el grosor estándar de una oblea de cuarzo de 8 pulgadas?
A: El grosor estándar es de 0,5-1,0 mm, con opciones personalizadas de hasta 10 mm para aplicaciones ópticas y de semiconductores especializadas. -
P: ¿Por qué elegir obleas de cuarzo fundido en lugar de obleas de silicio?
A: Las obleas de cuarzo fundido ofrecen una transparencia UV superior, una mayor estabilidad térmica (hasta 1730 °C), resistencia química y estabilidad dimensional, lo que las hace ideales para litografía de alta precisión y procesos duros. -
P: ¿Puede FUYAO proporcionar formas de oblea y tratamientos de superficie personalizados?
A: Sí. Las opciones incluyen obleas redondas, cuadradas, anulares y sectoriales, con tratamientos superficiales como pulido óptico, revestimientos AR/IR/DLC, perforación y ranurado.
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