Полностью автоматическая прецизионная пила для нарезки кубиками ZMSH - это передовая система для резки полупроводников и хрупких материалов, предназначенная для высокоточной нарезки пластин кубиками. Она поддерживает 8- и 12-дюймовые пластины, а также широкий спектр хрупких материалов, включая керамику, стекло, нитрид алюминия, PZT и эпоксидные подложки. Используя технологию алмазных лезвий со скоростью вращения до 60 000 об/мин, система достигает микронной точности резки (±2 мкм) при минимальном сколе (<5 мкм), что делает ее идеальной для приложений, где важны выход продукции, точность и целостность поверхности.
Эта полностью автоматизированная система объединяет двухкоординатные шпиндели высокой жесткости, нанометрические этапы позиционирования и интеллектуальное выравнивание по зрению для выполнения всех ключевых операций, включая загрузку, позиционирование, резку и контроль, без ручного вмешательства. Двухшпиндельный режим синхронной резки значительно повышает производительность обработки до 80% по сравнению с обычными одношпиндельными системами. Импортные компоненты премиум-класса, включая шарико-винтовые пары, линейные направляющие и замкнутый контур управления решеткой по оси Y, обеспечивают стабильность и надежность обработки даже в условиях крупносерийного производства.
Технические характеристики
- Рабочий размер: Φ8″, Φ12″
- Шпиндель: Двухосевой 1,2/1,8/2,4/3,0, макс. 60 000 об/мин
- Размер лезвия: 2″ - 3″
- Ось Y1/Y2: одношаговое приращение 0,0001 мм; точность позиционирования <0,002 мм; диапазон резания 310 мм
- Ось X: скорость подачи 0,1-600 мм/с
- Ось Z1/Z2: одношаговое приращение 0,0001 мм; точность позиционирования ≤0,001 мм.
- Ось θ: точность позиционирования ±15″
- Станция очистки: Автоматическое ополаскивание и сушка с отжимом; скорость вращения 100-3000 об/мин
- Рабочее напряжение: 3-фазное 380 В 50 Гц
- Размеры (Ш×Д×Г): 1550×1255×1880 мм
- Вес: 2100 кг
- Сертификация: RoHS
Ключевые преимущества
- Высокоскоростное сканирование кассет с предупреждением столкновений для быстрого и точного позиционирования.
- Двухшпиндельная синхронная резка позволяет одновременно обрабатывать несколько пластин, повышая производительность и эффективность.
- Полностью автоматизированная работа сокращает количество ручных операций, повышая производительность и стабильность процесса.
- Высококлассные механические компоненты обеспечивают стабильность и воспроизводимую точность в течение длительных производственных циклов.
- Двухшпиндельная конструкция портального типа позволяет работать с пластинами различной толщины и с разным расстоянием между лезвиями, поддерживая обработку сверхтонких пластин (<50 мкм).
Основные характеристики
- Высокоточная бесконтактная система измерения высоты
- Одновременная двухножевая резка нескольких пластин
- Интеллектуальные системы обнаружения для автоматической калибровки, контроля поломки лезвия и проверки следов от среза
- Гибкие алгоритмы выравнивания для различных технологических требований
- Контроль положения в реальном времени с автоматической коррекцией ошибок
- Проверка качества первого среза для немедленной обратной связи
- Возможность интеграции с модулями автоматизации производства
Адаптация материалов и их применение
Прецизионная пила для нарезки кубиками ZMSH совместима с широким спектром материалов, обеспечивая индивидуальные решения для резки современной полупроводниковой и электронной упаковки:
| Материал | Типовые применения | Требования к обработке |
|---|---|---|
| Нитрид алюминия (AlN) | Подложки для светодиодов, мощные тепловые подложки | Низконапряженное удаление кубиков, предотвращение расслоения |
| Керамика PZT | Фильтры 5G, устройства SAW | Высокочастотная стабильная резка |
| Теллурид висмута (Bi₂Te₃) | Термоэлектрические модули | Низкотемпературная обработка |
| Монокристаллический кремний (Si) | Микросхемы | Субмикронная точность нарезки на кубики |
| Эпоксидный формовочный компаунд | Подложки BGA | Совместимость многослойных материалов |
| Столбики из меди / диэлектрик из полипропилена | WLCSP | Обработка ультратонких пластин |
Применение и преимущества
Полностью автоматическая пила для нарезки кубиками ZMSH подходит для производства полупроводников, современной упаковки, светодиодов, МЭМС-устройств и термоэлектрических модулей. Его точность обеспечивает высокую производительность, минимальное повреждение пластин и стабильное качество резки даже при обработке хрупких или сверхтонких пластин. Сочетание автоматизации, двухшпиндельной резки и исправления ошибок в режиме реального времени делает его идеальным для высокопроизводительных промышленных применений.
Часто задаваемые вопросы
Q1: Какие материалы можно резать с помощью этой системы?
A1: Он может резать кремний, SiC, керамику, стекло, нитрид алюминия, PZT, термоэлектрические материалы и эпоксидные формовочные компаунды с микронной точностью.
Вопрос 2: Как двухшпиндельный режим повышает производительность?
A2: Двухшпиндельная синхронная резка удваивает эффективность обработки, сокращает время цикла и поддерживает точность ±2 мкм, что делает ее более быстрой и надежной по сравнению с одношпиндельными системами.
Q3: Является ли система полностью автоматизированной?
A3: Да, он автоматизирует загрузку, позиционирование, резку, очистку и контроль пластин, сводя к минимуму ручной труд и повышая надежность процесса.
Вопрос 4: Насколько тонкие пластины он может обрабатывать?
A4: Система способна резать ультратонкие пластины толщиной менее 50 мкм, обеспечивая высокую точность и минимальное напряжение без трещин и сколов.
Q5: Можно ли интегрировать систему в существующие линии автоматизации на заводе?
A5: Да, пила поддерживает настраиваемую интеграцию модулей автоматизации и может легко подключаться к существующим рабочим процессам полупроводникового производства, повышая общую эффективность.
Request a Quote for Fully Automatic Precision Dicing Saw for 8″ & 12″ Wafer Cutting
Tell us your required specifications, dimensions, quantity, application and technical requirements. You can also provide drawings or additional project information. Our technical team will review your requirements and reply as soon as possible.
Отзывы
Отзывов пока нет.