Полностью автоматическая прецизионная пила для нарезки кубиками ZMSH - это передовая система для резки полупроводников и хрупких материалов, предназначенная для высокоточной нарезки пластин кубиками. Она поддерживает 8- и 12-дюймовые пластины, а также широкий спектр хрупких материалов, включая керамику, стекло, нитрид алюминия, PZT и эпоксидные подложки. Используя технологию алмазных лезвий со скоростью вращения до 60 000 об/мин, система достигает микронной точности резки (±2 мкм) при минимальном сколе (<5 мкм), что делает ее идеальной для приложений, где важны выход продукции, точность и целостность поверхности.
Эта полностью автоматизированная система объединяет двухкоординатные шпиндели высокой жесткости, нанометрические этапы позиционирования и интеллектуальное выравнивание по зрению для выполнения всех ключевых операций, включая загрузку, позиционирование, резку и контроль, без ручного вмешательства. Двухшпиндельный режим синхронной резки значительно повышает производительность обработки до 80% по сравнению с обычными одношпиндельными системами. Импортные компоненты премиум-класса, включая шарико-винтовые пары, линейные направляющие и замкнутый контур управления решеткой по оси Y, обеспечивают стабильность и надежность обработки даже в условиях крупносерийного производства.
Технические характеристики
- Рабочий размер: Φ8″, Φ12″
- Шпиндель: Двухосевой 1,2/1,8/2,4/3,0, макс. 60 000 об/мин
- Размер лезвия: 2″ - 3″
- Ось Y1/Y2: одношаговое приращение 0,0001 мм; точность позиционирования <0,002 мм; диапазон резания 310 мм
- Ось X: скорость подачи 0,1-600 мм/с
- Ось Z1/Z2: одношаговое приращение 0,0001 мм; точность позиционирования ≤0,001 мм.
- Ось θ: точность позиционирования ±15″
- Станция очистки: Автоматическое ополаскивание и сушка с отжимом; скорость вращения 100-3000 об/мин
- Рабочее напряжение: 3-фазное 380 В 50 Гц
- Размеры (Ш×Д×Г): 1550×1255×1880 мм
- Вес: 2100 кг
- Сертификация: RoHS
Ключевые преимущества
- Высокоскоростное сканирование кассет с предупреждением столкновений для быстрого и точного позиционирования.
- Двухшпиндельная синхронная резка позволяет одновременно обрабатывать несколько пластин, повышая производительность и эффективность.
- Полностью автоматизированная работа сокращает количество ручных операций, повышая производительность и стабильность процесса.
- Высококлассные механические компоненты обеспечивают стабильность и воспроизводимую точность в течение длительных производственных циклов.
- Двухшпиндельная конструкция портального типа позволяет работать с пластинами различной толщины и с разным расстоянием между лезвиями, поддерживая обработку сверхтонких пластин (<50 мкм).
Основные характеристики
- Высокоточная бесконтактная система измерения высоты
- Одновременная двухножевая резка нескольких пластин
- Интеллектуальные системы обнаружения для автоматической калибровки, контроля поломки лезвия и проверки следов от среза
- Гибкие алгоритмы выравнивания для различных технологических требований
- Контроль положения в реальном времени с автоматической коррекцией ошибок
- Проверка качества первого среза для немедленной обратной связи
- Возможность интеграции с модулями автоматизации производства
Адаптация материалов и их применение
Прецизионная пила для нарезки кубиками ZMSH совместима с широким спектром материалов, обеспечивая индивидуальные решения для резки современной полупроводниковой и электронной упаковки:
| Материал | Типовые применения | Требования к обработке |
|---|---|---|
| Нитрид алюминия (AlN) | Подложки для светодиодов, мощные тепловые подложки | Низконапряженное удаление кубиков, предотвращение расслоения |
| Керамика PZT | Фильтры 5G, устройства SAW | Высокочастотная стабильная резка |
| Теллурид висмута (Bi₂Te₃) | Термоэлектрические модули | Низкотемпературная обработка |
| Монокристаллический кремний (Si) | Микросхемы | Субмикронная точность нарезки на кубики |
| Эпоксидный формовочный компаунд | Подложки BGA | Совместимость многослойных материалов |
| Столбики из меди / диэлектрик из полипропилена | WLCSP | Обработка ультратонких пластин |
Применение и преимущества
Полностью автоматическая пила для нарезки кубиками ZMSH подходит для производства полупроводников, современной упаковки, светодиодов, МЭМС-устройств и термоэлектрических модулей. Его точность обеспечивает высокую производительность, минимальное повреждение пластин и стабильное качество резки даже при обработке хрупких или сверхтонких пластин. Сочетание автоматизации, двухшпиндельной резки и исправления ошибок в режиме реального времени делает его идеальным для высокопроизводительных промышленных применений.
Часто задаваемые вопросы
Q1: Какие материалы можно резать с помощью этой системы?
A1: Он может резать кремний, SiC, керамику, стекло, нитрид алюминия, PZT, термоэлектрические материалы и эпоксидные формовочные компаунды с микронной точностью.
Вопрос 2: Как двухшпиндельный режим повышает производительность?
A2: Двухшпиндельная синхронная резка удваивает эффективность обработки, сокращает время цикла и поддерживает точность ±2 мкм, что делает ее более быстрой и надежной по сравнению с одношпиндельными системами.
Q3: Является ли система полностью автоматизированной?
A3: Да, он автоматизирует загрузку, позиционирование, резку, очистку и контроль пластин, сводя к минимуму ручной труд и повышая надежность процесса.
Вопрос 4: Насколько тонкие пластины он может обрабатывать?
A4: Система способна резать ультратонкие пластины толщиной менее 50 мкм, обеспечивая высокую точность и минимальное напряжение без трещин и сколов.
Q5: Можно ли интегрировать систему в существующие линии автоматизации на заводе?
A5: Да, пила поддерживает настраиваемую интеграцию модулей автоматизации и может легко подключаться к существующим рабочим процессам полупроводникового производства, повышая общую эффективность.
Отзывы
Отзывов пока нет.