A ZMSH teljesen automatikus precíziós szeletelőfűrész egy fejlett félvezető és törékeny anyagok vágórendszere, amelyet nagy pontosságú ostyaszeletelésre terveztek. Támogatja a 8 hüvelykes és 12 hüvelykes ostyákat, valamint a törékeny anyagok széles skáláját, beleértve a kerámiát, az üveget, az alumínium-nitridet, a PZT-t és az epoxi szubsztrátokat. Az akár 60 000 fordulat/perc sebességű gyémántpengés technológiát használó rendszer mikronos vágási pontosságot (±2μm) ér el, miközben minimálisra csökkenti a forgácsot (<5μm), így ideális olyan alkalmazásokhoz, ahol a hozam, a pontosság és a felületi integritás kritikus fontosságú.
Ez a teljesen automatizált rendszer kéttengelyes, nagy merevségű orsókat, nanométeres pozícionáló állványokat és intelligens látásalapú igazítást integrál, hogy minden kulcsfontosságú műveletet - beleértve a betöltést, pozícionálást, vágást és ellenőrzést - kézi beavatkozás nélkül végezzen el. A kétorsós szinkron vágási üzemmód jelentősen, akár 80%-vel javítja a feldolgozási teljesítményt a hagyományos egyorsós rendszerekhez képest. A prémium minőségű importált alkatrészek, beleértve a golyóscsavarokat, a lineáris vezetőket és az Y-tengelyes rácsos zárt vezérlést, biztosítják a következetes hosszú távú stabilitást és a megmunkálás megbízhatóságát, még nagy volumenű gyártási környezetben is.
Műszaki specifikációk
- Munkaméret: Φ8″, Φ12″
- Orsó: 1.2/1.8/2.4/3.0, max. 60.000 RPM
- Pengeméret: 2″ - 3″
- Y1/Y2 tengely: Egylépéses lépésköz 0,0001 mm; pozicionálási pontosság <0,002 mm; vágási tartomány 310 mm
- X tengely: előtolási sebesség 0,1-600 mm/s
- Z1/Z2 tengely: Egylépéses lépésköz 0,0001 mm; pozicionálási pontosság ≤0,001 mm
- θ tengely: pozicionálási pontosság ±15″
- Tisztítóállomás: fordulatszám 100-3000 rpm
- Működési feszültség: 3-fázisú 380V 50Hz
- Méretek (Sz×D×H): 1550×1255×1880 mm
- Súly: 2100 kg
- Tanúsítás: RoHS
Legfontosabb előnyök
- Nagy sebességű kazettaszkennelés ütközésmegelőző figyelmeztetésekkel a gyors és pontos pozicionáláshoz.
- A kétorsós, szinkron vágás lehetővé teszi a több ostyát tartalmazó egyidejű feldolgozást, javítva az átbocsátási teljesítményt és a hatékonyságot.
- A teljesen automatizált működés csökkenti a kézi beavatkozást, javítva a hozamot és a folyamatok konzisztenciáját.
- A prémium mechanikai alkatrészek hosszú gyártási ciklusok során is biztosítják a stabilitást és a megismételhető pontosságot.
- A portálszerű, kétorsós kialakítás különböző ostyavastagságokhoz és pengék távolságához alkalmazkodik, támogatva az ultra-vékony ostyák feldolgozását (<50μm).
Alapvető jellemzők
- Nagy pontosságú, érintésmentes magasságmérő rendszer
- Multi-wafer egyidejű kétpengés vágás
- Intelligens érzékelőrendszerek automatikus kalibráláshoz, pengetörés-ellenőrzéshez és vágásnyom-ellenőrzéshez
- Rugalmas igazítási algoritmusok a különböző folyamatkövetelményekhez
- Valós idejű pozíciófigyelés automatikus hibajavítással
- Első vágás minőségellenőrzés az azonnali visszajelzésért
- Integrálható gyári automatizálási modulokkal
Anyagadaptáció és alkalmazások
A ZMSH precíziós szaggatófűrész az anyagok széles skálájával kompatibilis, így testre szabott vágási megoldásokat kínál a modern félvezető- és elektronikai csomagolásokhoz:
| Anyag | Tipikus alkalmazások | Feldolgozási követelmények |
|---|---|---|
| Alumínium-nitrid (AlN) | LED szubsztrátumok, nagy teljesítményű termikus szubsztrátumok | Alacsony igénybevételű kockázás, delamináció megelőzése |
| PZT kerámia | 5G szűrők, SAW eszközök | Nagyfrekvenciás stabilitás vágás |
| Viszmut-tellurid (Bi₂Te₃) | Termoelektromos modulok | Alacsony hőmérsékletű feldolgozás |
| Monokristályos szilícium (Si) | IC chipek | Szubmikronos pontosság |
| Epoxi öntőanyag | BGA szubsztrátumok | Többrétegű anyag kompatibilitás |
| Cu oszlopok / PI dielektromos | WLCSP | Ultravékony ostyák feldolgozása |
Alkalmazások és előnyök
A ZMSH teljesen automata kockafűrész alkalmas félvezetőgyártáshoz, fejlett csomagoláshoz, LED-gyártáshoz, MEMS-eszközökhöz és termoelektromos modulokhoz. Precizitása nagy hozamot, minimális ostyasérülést és egyenletes vágási minőséget biztosít, még törékeny vagy ultravékony ostyák feldolgozásakor is. Az automatizálás, a kétorsós vágás és a valós idejű hibajavítás kombinációjának köszönhetően ideális a nagy teljesítményű ipari alkalmazásokhoz.
Gyakran ismételt kérdések
1. kérdés: Milyen anyagok vághatók ezzel a rendszerrel?
A1: Szilícium, SiC, kerámia, üveg, alumínium-nitrid, PZT, termoelektromos anyagok és epoxi öntvények vágására alkalmas mikronos pontossággal.
2. kérdés: Hogyan javítja a kétorsós üzemmód a termelést?
A2: A kétorsós szinkron vágás megduplázza a megmunkálás hatékonyságát, csökkenti a ciklusidőt, és ±2μm pontosságot biztosít, így gyorsabb és megbízhatóbb, mint az egyorsós rendszerek.
3. kérdés: A rendszer teljesen automatizált?
A3: Igen, automatizálja az ostyák betöltését, pozicionálását, vágását, tisztítását és ellenőrzését, minimalizálva a kézi munkát és maximalizálva a folyamat megbízhatóságát.
4. kérdés: Milyen vékony ostyát tud feldolgozni?
A4: A rendszer képes 50μm alatti, ultravékony ostyák vágására, ami nagy pontosságot és minimális feszültséget biztosít repedés vagy forgácsolás nélkül.
5. kérdés: Integrálható-e a rendszer a meglévő gyári automatizálási sorokba?
A5: Igen, a fűrész támogatja a testreszabható automatizálási modulok integrálását, és zökkenőmentesen csatlakozik a meglévő félvezetőgyártási munkafolyamatokhoz, javítva az általános hatékonyságot.
Értékelések
Még nincsenek értékelések.