La plaquette de quartz fondu de 8 pouces est un substrat de quartz synthétique de haute pureté (SiO₂ ≥99,99%) conçu pour des applications de haute précision dans les systèmes semi-conducteurs, MEMS, optiques et laser. Sa dilatation thermique ultra-faible, sa transmittance UV-IR exceptionnelle et son excellente résistance chimique le rendent idéal pour les environnements exigeants tels que la photolithographie, la gravure, le dépôt de couches minces et la fabrication de capteurs de haute précision.
Chaque plaquette est soigneusement produite sous un contrôle de qualité rigoureux dans un environnement de salle blanche afin de garantir une planéité, une finition de surface et une pureté supérieures. Cela garantit des performances fiables pour les applications critiques dans l'industrie, la recherche et l'aérospatiale.
Principales caractéristiques et avantages
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Très haute pureté (≥99.99%): Minimise la contamination dans les processus semi-conducteurs et optiques.
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Stabilité thermique exceptionnelle: Point de ramollissement ~1683°C, tolérance à court terme jusqu'à 1450°C pour les processus à haute température.
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Dilatation thermique ultra-faible (0,55 × 10-⁶/K): Assure la stabilité dimensionnelle sous contrainte thermique.
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Transmission optique supérieure: Gamme UV-IR 185 nm-2,5 µm, idéale pour la photolithographie, l'optique laser et les capteurs UV.
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Haute qualité de surface: Ra ≤1,0 nm et TTV ≤10 µm pour un dépôt uniforme en couche mince et une intégration précise des capteurs.
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Résistance chimique: Résistant à la plupart des acides (sauf HF) et des alcalis, il convient à la gravure humide et aux environnements difficiles.
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Résistance aux radiations et stabilité diélectrique: soutient les applications aérospatiales et de physique des hautes énergies.
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Formes et tailles personnalisables: Plaquettes rondes, carrées, annulaires ou sectorielles avec, en option, polissage, revêtements AR/IR/DLC et microfabrication.
Applications
| L'industrie | Application | Bénéfice |
|---|---|---|
| Semi-conducteurs | Substrats de masque photographique, supports de gravure, tampons de polissage CMP | Stabilité à haute température, très peu de défauts, garantit la précision de la fabrication des puces. |
| Photovoltaïque | Plaques de traitement PECVD, substrats pour le dépôt de couches minces | Résistance aux chocs thermiques, amélioration de l'efficacité des cellules solaires |
| Optoélectronique | Substrats LED/LD, fenêtres laser, capteurs optiques | Transmission UV-IR élevée, faible autofluorescence, améliore les performances de l'appareil |
| Optique de précision | Substrats de lentilles, prismes, séparateurs de faisceaux, fenêtres IR | Faible dilatation thermique, grande homogénéité, assure la stabilité optique |
| Recherche et laboratoire | Rayonnement synchrotron, expériences VUV, détecteurs de haute énergie | Résistant aux radiations et aux conditions extrêmes |
| Aérospatiale | Fenêtres optiques de satellites, panneaux d'observation à haute température | Résistance aux chocs thermiques, fiabilité de niveau spatial |
Spécifications techniques
| Paramètres | Spécifications |
|---|---|
| Matériau | Quartz fondu synthétique (SiO₂ ≥99.99%) |
| Diamètre | 200 mm (8 pouces) |
| Gamme d'épaisseur | 100 µm - 3000 µm (personnalisable) |
| Variation totale de l'épaisseur (TTV) | ≤10 µm |
| Rugosité de la surface (Ra) | ≤1,0 nm |
| Teneur totale en impuretés | ≤2,0 µg/g |
| Coefficient de dilatation thermique | 0,55 × 10-⁶/K (20-300°C) |
| Résistance à la température | Point de ramollissement 1683°C, à court terme jusqu'à 1450°C |
| Transmittance UV | >90% (200-260 nm) |
| Planéité de la surface | Haute précision, TTV ≤10 µm |
| Options de forme | Ronde (standard), formes personnalisées disponibles |
| Certifications | RoHS, ISO9001 |
FAQ
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Q : Quelle est l'épaisseur standard d'une plaquette de quartz de 8 pouces ?
A : L'épaisseur standard est de 0,5 à 1,0 mm, avec des options personnalisées allant jusqu'à 10 mm pour les applications spécialisées dans les semi-conducteurs et l'optique. -
Q : Pourquoi choisir des plaquettes de quartz fondu plutôt que des plaquettes de silicium ?
A : Les plaquettes de quartz fondu offrent une transparence supérieure aux UV, une plus grande stabilité thermique (jusqu'à 1730°C), une résistance chimique et une stabilité dimensionnelle, ce qui les rend idéales pour la lithographie de haute précision et les processus difficiles. -
Q : FUYAO peut-il fournir des formes de plaquettes et des traitements de surface personnalisés ?
A : Oui. Les options comprennent des plaquettes rondes, carrées, annulaires, en forme de secteur, avec des traitements de surface tels que le polissage optique, les revêtements AR/IR/DLC, le perçage et le rainurage.
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