A pastilha de quartzo fundido de 8 polegadas é um substrato de quartzo sintético de alta pureza premium (SiO₂ ≥99,99%) projetado para aplicações de alta precisão em sistemas de semicondutores, MEMS, ópticos e laser. A sua expansão térmica ultra baixa, a excecional transmitância UV-IR e a excelente resistência química tornam-no ideal para ambientes exigentes como a fotolitografia, a gravação, a deposição de película fina e o fabrico de sensores de alta precisão.
Cada bolacha é cuidadosamente produzida sob um rigoroso controlo de qualidade num ambiente de sala limpa para garantir uma planicidade, um acabamento de superfície e uma pureza superiores. Isto garante um desempenho fiável para aplicações industriais, de investigação e aeroespaciais críticas.
Principais caraterísticas e vantagens
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Pureza ultra-elevada (≥99,99%): Minimiza a contaminação em processos de semicondutores e ópticos.
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Estabilidade térmica excecional: Ponto de amolecimento ~1683°C, tolerância a curto prazo até 1450°C para processos a alta temperatura.
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Expansão térmica ultra-baixa (0,55 × 10-⁶/K): Assegura a estabilidade dimensional sob tensão térmica.
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Transmissão ótica superior: Gama UV-IR 185 nm-2,5 µm, ideal para fotolitografia, ótica laser e sensores UV.
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Elevada qualidade da superfície: Ra ≤1,0 nm e TTV ≤10 µm para uma deposição uniforme de película fina e uma integração precisa do sensor.
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Resistência química: Resistente à maioria dos ácidos (exceto HF) e álcalis, adequado para gravação húmida e ambientes agressivos.
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Resistência à radiação e estabilidade dieléctrica: Suporta aplicações aeroespaciais e de física de alta energia.
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Formas e tamanhos personalizáveis: Bolachas redondas, quadradas, anulares ou em forma de sector com polimento opcional, revestimentos AR/IR/DLC e microfabricação.
Aplicações
| Indústria | Aplicação | Benefício |
|---|---|---|
| Semicondutores | Substratos de fotomáscaras, suportes de gravação, almofadas de polimento CMP | Estabilidade a altas temperaturas, defeitos ultra-baixos, garante a precisão do fabrico de chips |
| Fotovoltaica | Bolachas de processo PECVD, substratos de deposição de película fina | Resistência ao choque térmico, melhora a eficiência das células solares |
| Optoelectrónica | Substratos LED/LD, janelas laser, sensores ópticos | Elevada transmissão UV-IR, baixa autofluorescência, melhora o desempenho do dispositivo |
| Ótica de precisão | Substratos de lentes, prismas, divisores de feixe, janelas IR | Baixa expansão térmica, elevada homogeneidade, garante estabilidade ótica |
| Investigação e laboratório | Radiação sincrotrónica, experiências VUV, detectores de alta energia | Resistente à radiação, resiste a condições extremas |
| Aeroespacial | Janelas ópticas de satélite, painéis de observação de alta temperatura | Resistência a choques térmicos, fiabilidade de nível espacial |
Especificações técnicas
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Material | Quartzo sintético fundido (SiO₂ ≥99,99%) |
| Diâmetro | 200 mm (8 polegadas) |
| Gama de espessuras | 100 µm - 3000 µm (personalizável) |
| Variação da espessura total (TTV) | ≤10 µm |
| Rugosidade da superfície (Ra) | ≤1,0 nm |
| Teor total de impurezas | ≤2,0 µg/g |
| Coeficiente de expansão térmica | 0,55 × 10-⁶/K (20-300°C) |
| Resistência à temperatura | Ponto de amolecimento 1683°C, curto prazo até 1450°C |
| Transmitância UV | >90% (200-260 nm) |
| Nivelamento da superfície | Alta precisão, TTV ≤10 µm |
| Opções de forma | Redondo (padrão), formas personalizadas disponíveis |
| Certificações | RoHS, ISO9001 |
FAQ
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P: Qual é a espessura padrão de uma pastilha de quartzo de 8 polegadas?
A: A espessura padrão é de 0,5-1,0 mm, com opções personalizadas até 10 mm para aplicações especializadas de semicondutores e ópticas. -
P: Porquê escolher bolachas de quartzo fundido em vez de bolachas de silício?
A: As bolachas de quartzo fundido proporcionam uma transparência UV superior, uma maior estabilidade térmica (até 1730°C), resistência química e estabilidade dimensional, tornando-as ideais para litografia de alta precisão e processos exigentes. -
P: A FUYAO pode fornecer formas de bolacha e tratamentos de superfície personalizados?
A: Sim. As opções incluem bolachas redondas, quadradas, anulares e sectoriais, com tratamentos de superfície como polimento ótico, revestimentos AR/IR/DLC, perfuração e ranhuras.
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