A bolacha de carboneto de silício HPSI de 4 polegadas é um substrato semi-isolante de elevada pureza concebido para aplicações avançadas de RF, micro-ondas e optoelectrónica. HPSI refere-se a material semi-isolante de elevada pureza, caracterizado por uma resistividade extremamente elevada e um excelente isolamento elétrico.
O carboneto de silício é um semicondutor de banda larga composto por silício e carbono. Em comparação com as pastilhas de silício convencionais, oferece uma condutividade térmica superior, um campo elétrico de rutura mais elevado e um melhor desempenho em condições de funcionamento extremas. Na forma de semi-isolante, o SiC reduz significativamente a condução parasita, tornando-o uma plataforma ideal para dispositivos electrónicos de alta frequência e alta potência.
Este formato de bolacha de 4 polegadas é amplamente utilizado tanto na investigação como na produção industrial devido ao seu equilíbrio entre custo, maturidade e compatibilidade de processos. É especialmente adequado para dispositivos RF, sistemas de comunicação 5G, módulos de radar e tecnologias ópticas emergentes, como componentes de guia de ondas AR.
Especificações
| Parâmetro | Valor |
|---|---|
| Diâmetro | 100 ± 0,5 mm |
| Espessura | 350 μm |
| Material | SiC monocristalino |
| Tipo | HPSI (semi-isolante) |
| Resistividade | ≥1E5 a ≥1E10 ohm-cm |
| Rugosidade da superfície | CMP Ra ≤ 0,2 nm |
| TTV | ≤ 10 μm |
| Deformar | ≤ 30 μm |
| Orientação | Opções no eixo ou fora do eixo |
| Borda | Chanfro padrão SEMI |
| Grau | Produção / Investigação / Dummy |
Estes parâmetros garantem uma elevada qualidade da superfície, uma baixa densidade de defeitos e propriedades mecânicas estáveis necessárias para o crescimento epitaxial e o fabrico de dispositivos de precisão.
Caraterísticas do material
O carboneto de silício é um dos mais importantes materiais semicondutores de terceira geração. O seu largo intervalo de banda permite que os dispositivos funcionem a tensões mais elevadas com correntes de fuga mais baixas em comparação com o silício.
Para os wafers HPSI, a caraterística definidora é a sua resistividade extremamente elevada. Esta propriedade minimiza o fluxo de corrente indesejado dentro do substrato, o que é fundamental para manter a integridade do sinal em aplicações de RF e micro-ondas.
A condutividade térmica é significativamente mais elevada do que a dos materiais semicondutores tradicionais, permitindo uma dissipação eficiente do calor durante o funcionamento a alta potência. Isto reduz o stress térmico e melhora a fiabilidade a longo prazo.
O SiC também apresenta um elevado campo elétrico de rutura, permitindo que os dispositivos suportem alta tensão sem aumentar o tamanho. Além disso, o material mantém um desempenho estável a altas temperaturas, altas frequências e exposição à radiação, tornando-o adequado para ambientes exigentes.
Aplicações
Dispositivos de RF e micro-ondas
As pastilhas de carboneto de silício HPSI são amplamente utilizadas como substratos para amplificadores RF e circuitos de alta frequência. A sua elevada resistividade reduz as perdas parasitas e melhora a eficiência da transmissão de sinais, tornando-as essenciais para a eletrónica de comunicações avançada.
Infraestrutura de comunicação 5G
Nos sistemas 5G, os dispositivos funcionam a frequências mais elevadas e requerem materiais com excelente isolamento elétrico. As pastilhas de SiC HPSI suportam um desempenho estável em estações de base e módulos sem fios, permitindo uma maior eficiência na transmissão de dados e uma menor perda de energia.
Óculos de realidade aumentada e sistemas ópticos
Nos dispositivos de realidade aumentada, as pastilhas de SiC são utilizadas em componentes ópticos e relacionados com guias de ondas. A sua estabilidade estrutural e compatibilidade com tecnologias de processamento de precisão apoiam o desenvolvimento de sistemas ópticos compactos e de elevado desempenho.
Radar e sistemas de defesa
Os substratos HPSI SiC são adequados para eletrónica de radar e defesa que requerem alta potência, alta frequência e fiabilidade. Mantêm um funcionamento estável em condições ambientais extremas, incluindo alta temperatura e radiação.
Dispositivos optoelectrónicos
Estas bolachas são também utilizadas em dispositivos optoelectrónicos e fotónicos, em que o isolamento elétrico e o desempenho térmico são fundamentais para a eficiência e estabilidade do dispositivo.

Graus disponíveis
Grau de produção
Utilizado para o fabrico comercial de dispositivos com controlo de qualidade rigoroso e baixa densidade de defeitos.
Grau de investigação
Adequado para desenvolvimento laboratorial, testes e otimização de processos.
Grau fictício
Aplicado na calibração de equipamentos, ensaios de processos e utilização não funcional.
Comparação Si vs SiC
| Imóveis | Silício | Carboneto de silício |
|---|---|---|
| Bandgap | 1,12 eV | ~3,26 eV |
| Resistividade | Baixa | Muito elevado (HPSI) |
| Condutividade térmica | Moderado | Elevado |
| Capacidade de frequência | Limitada | Excelente |
| Foco na aplicação | Lógica e CI | RF e alta-frequência |
O silício continua a dominar a eletrónica convencional, enquanto o carboneto de silício é cada vez mais utilizado em sistemas de alta frequência e de elevado desempenho.
FAQ
P: O que é uma pastilha de carboneto de silício HPSI?
Uma bolacha HPSI é um substrato de carboneto de silício semi-isolante de elevada pureza com uma resistividade eléctrica muito elevada, concebido para aplicações RF, micro-ondas e optoelectrónicas.
P: Porque é que a resistividade elevada é importante?
A elevada resistividade reduz a condução parasita e a interferência de sinal, o que é fundamental para manter a eficiência e a integridade do sinal em dispositivos de alta frequência.
P: O carboneto de silício é adequado para aplicações ópticas?
Sim, o carboneto de silício pode ser utilizado em determinadas aplicações ópticas e fotónicas devido à sua estabilidade térmica e compatibilidade com processos de fabrico avançados.

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