เครื่อง WG-1261 Series เป็นเครื่องลดความหนาของเวเฟอร์ที่มีความแม่นยำสูงและทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ออกแบบมาสำหรับเวเฟอร์ SiC ขนาด 12 นิ้วและเล็กกว่า รวมถึงวัสดุแซฟไฟร์ ควอตซ์ และเซรามิก ในฐานะโซลูชันที่ครอบคลุมจากผู้จัดหาอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่เชื่อถือได้ ซีรีส์นี้ผสานเทคโนโลยีสปินเดิลขั้นสูง ตัวพาเวเฟอร์รับน้ำหนักสูง และคุณสมบัติการทำงานอัตโนมัติ เพื่อให้มั่นใจในการลดความหนาของเวเฟอร์ที่เสถียร แม่นยำ และมีประสิทธิภาพ.
ติดตั้งด้วยแกนหมุนแบบแบริ่งลมกำลังสูง ความแม่นยำสูง และตัวพาหนะเวเฟอร์แบบแบริ่งลมรุ่นใหม่ที่มีน้ำหนักบรรทุกสูงและสั่นสะเทือนต่ำ WG-1261 รับประกันความแข็งแกร่งที่เหนือกว่าและเสถียรภาพของกระบวนการที่ดียิ่งขึ้น ระบบขับเคลื่อนแกนหมุนแบบความแข็งแกร่งสูงที่ล้อมรอบช่วยเพิ่มความแข็งแกร่งของเครื่องจักรให้มากยิ่งขึ้น ทำให้สามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำแม้กับวัสดุที่ท้าทายเช่น SiC และแซฟไฟร์.
การรวมฟังก์ชันการตั้งค่าอัตโนมัติช่วยให้เครื่องสามารถทำการปรับแต่งล้อได้โดยอัตโนมัติหลังจากการเปลี่ยนล้อ ซึ่งช่วยลดการแทรกแซงจากมนุษย์และปรับปรุงทั้งประสิทธิภาพการผลิตและความสม่ำเสมอ นอกจากนี้ หน่วยวัดออนไลน์ (ช่วง 0–1800μm) ยังช่วยให้การควบคุมความหนาเป็นไปอย่างแม่นยำ ในขณะที่การเชื่อมต่อ SECS/GEM ช่วยให้การผสานรวมเข้ากับโรงงานอัจฉริยะสมัยใหม่เป็นไปอย่างราบรื่น.
คุณสมบัติทางเทคนิค
- สปินเดิลแบริ่งอากาศความแม่นยำสูง: ให้การบดแผ่นเวเฟอร์ที่เสถียรและปราศจากการสั่นสะเทือนสำหรับวัสดุที่แปรรูปได้ยาก.
- ตัวพาหะเวเฟอร์แบบแอร์เบียร์ดที่มีแรงสั่นสะเทือนต่ำและรับน้ำหนักได้สูง: รองรับเวเฟอร์ด้วยความเครียดน้อยที่สุด ช่วยเพิ่มผลผลิตและลดข้อบกพร่อง.
- ระบบขับเคลื่อนแกนหมุนความแข็งสูงแบบล้อมรอบ: เพิ่มความแข็งแกร่งโดยรวมของเครื่องจักรและเสถียรภาพของกระบวนการ.
- ฟังก์ชันการตั้งค่าอัตโนมัติ: ทำการตกแต่งล้อโดยอัตโนมัติหลังจากการเปลี่ยน ช่วยลดเวลาในการตั้งค่าและลดข้อผิดพลาดจากมนุษย์.
- หน่วยวัดออนไลน์: ตรวจสอบความหนาของเวเฟอร์อย่างแม่นยำระหว่างกระบวนการผลิต ช่วง 0–1800μm.
- การเชื่อมต่อ SECS/GEM: รองรับการผสานรวมเข้ากับระบบการผลิตอัจฉริยะเพื่อการตรวจสอบและควบคุมแบบเรียลไทม์.
- ความเข้ากันได้กับวัสดุหลากหลาย: รองรับแผ่นเวเฟอร์ SiC, แซฟไฟร์, ควอตซ์ และเซรามิก ขนาดสูงสุด 12 นิ้ว.
การประยุกต์ใช้
ซีรีส์ WG-1261 เหมาะสำหรับ:
- การลดความหนาของแผ่นเวเฟอร์ SiC: การลดความหนาอย่างแม่นยำสูงสำหรับอุปกรณ์ไฟฟ้า, ยานยนต์, และอิเล็กทรอนิกส์อุตสาหกรรม.
- การแปรรูปแผ่นแซฟไฟร์: หน้าต่างออปติคอล, วัสดุรองรับ LED และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ประสิทธิภาพสูง.
- การประมวลผลแผ่นควอตซ์และเซรามิก: ชิ้นส่วนความแม่นยำสูงสำหรับการใช้งานในเซมิคอนดักเตอร์และออปติก.
- การวิจัยและพัฒนาและการผลิตนำร่อง: สำหรับศูนย์วิจัยและโรงงานที่พัฒนาวัสดุรุ่นต่อไป.
- การผลิตแบบปริมาณสูง: ระบบอัตโนมัติรับประกันผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอสำหรับการผลิตเวเฟอร์ในระดับกลางถึงขนาดใหญ่.
ข้อมูลจำเพาะของเครื่อง
| รายการ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| โครงสร้าง | แกนหมุน ×2 / ตัวรองรับเวเฟอร์ ×3 / โต๊ะทำงาน ×1 / ระบบถ่ายโอนและทำความสะอาดอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ×1 |
| กำลังแกนหมุน | 7.5 กิโลวัตต์ / 11 กิโลวัตต์ (ตัวเลือก) |
| เส้นผ่านศูนย์กลางการเจียร | φ6″, φ8″, φ12″ |
| ขนาด (กว้าง×ลึก×สูง) | 1450 มม. × 3380 มม. × 1900 มม. |
ทำไมต้องเลือกซีรีส์ WG-1261?
- ความแม่นยำสูง & ความเสถียร: แกนหมุนแบบแบริ่งอากาศขั้นสูงและตัวรองรับเวเฟอร์ที่มีการสั่นสะเทือนต่ำ ช่วยให้การลดความหนาของวัสดุที่แปรรูปยากเป็นไปอย่างแม่นยำ.
- ระบบอัตโนมัติและประสิทธิภาพ: ระบบตั้งค่าอัตโนมัติและการถ่ายโอน/ทำความสะอาดเวเฟอร์เต็มรูปแบบช่วยลดต้นทุนแรงงานและเวลาในการตั้งค่า.
- รองรับวัสดุได้หลากหลาย: รองรับ SiC, ซาไฟร์, ควอตซ์ และเซรามิก มอบความยืดหยุ่นสำหรับสายการผลิตหลายประเภท.
- การวัดแบบบูรณาการและการเชื่อมต่ออัจฉริยะ: การวัดความหนาออนไลน์ที่ผสานกับ SECS/GEM ช่วยรับประกันความน่าเชื่อถือของกระบวนการและการบูรณาการในโรงงานผลิต.
- ลดต้นทุนการดำเนินงาน: การออกแบบที่เหมาะสมและการใช้สิ้นเปลืองอย่างมีประสิทธิภาพช่วยลดของเสียจากวัสดุและเพิ่มผลผลิตในการผลิต.
คำถามที่พบบ่อย (FAQ)
- ถาม: WG-1261 รองรับขนาดและวัสดุของเวเฟอร์อะไรบ้าง?
A: เครื่องรองรับแผ่นเวเฟอร์ขนาดสูงสุด 12 นิ้ว รวมถึงวัสดุ SiC, แซฟไฟร์, ควอตซ์ และเซรามิก มอบตัวเลือกการประมวลผลที่หลากหลายสำหรับสายการผลิตหลายประเภท. - ถาม: คุณสมบัติการตั้งค่าอัตโนมัติช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานได้อย่างไร?
A: ระบบตั้งค่าอัตโนมัติจะทำการปรับแต่งล้อโดยอัตโนมัติหลังจากเปลี่ยนล้อเสร็จสิ้น โดยไม่จำเป็นต้องมีการแทรกแซงจากผู้ใช้ ช่วยลดข้อผิดพลาดในการตั้งค่า และประหยัดเวลาในการผลิตได้อย่างมาก. - ถาม: WG-1261 สามารถควบคุมความหนาของเวเฟอร์ได้อย่างแม่นยำหรือไม่?
A: ใช่, มันมาพร้อมกับหน่วยวัดออนไลน์ (0–1800μm) ที่ช่วยให้การตรวจสอบและควบคุมการบางของเวเฟอร์ในระหว่างการผลิตมีความแม่นยำ. - ถาม: WG-1261 สามารถรวมเข้ากับโรงงานอัจฉริยะได้หรือไม่?
A: แน่นอน เครื่องรองรับ การเชื่อมต่อ SECS/GEM, ทำให้สามารถตรวจสอบแบบเรียลไทม์, รวบรวมข้อมูล, และผสานรวมกับระบบการผลิตอัจฉริยะได้. - ถาม: WG-1261 รับประกันการประมวลผลเวเฟอร์ที่เสถียรสำหรับวัสดุที่บางยากได้อย่างไร?
A: ด้วยแกนหมุนแบบแบริ่งอากาศกำลังสูง, ตัวพาหนะเวเฟอร์ที่มีการสั่นสะเทือนต่ำและรับน้ำหนักได้สูง, และการขับเคลื่อนแกนหมุนที่มีความแข็งแกร่งสูงรอบทิศทาง, WG-1261 สามารถรักษาเสถียรภาพของกระบวนการที่ยอดเยี่ยมได้แม้กับเวเฟอร์ SiC และแซฟไฟร์.
รีวิว
ยังไม่มีบทวิจารณ์