La serie WG-1261 es una máquina de adelgazamiento de obleas totalmente automática y de alta precisión diseñada para obleas de SiC de 12 pulgadas y más pequeñas, así como para materiales de zafiro, cuarzo y cerámica. Como solución integral de un proveedor de equipos de semiconductores de confianza, esta serie integra tecnología de husillo avanzada, portadores de obleas de alta carga y funciones de automatización para garantizar un adelgazamiento de obleas estable, preciso y eficaz.
Equipada con husillos de alta potencia y alta precisión con cojinetes de aire y un soporte de obleas de nueva generación con cojinetes de aire de alta carga y baja vibración, la WG-1261 garantiza una rigidez superior y una mayor estabilidad del proceso. Su accionamiento de husillo envolvente de alta rigidez aumenta aún más la rigidez de la máquina, permitiendo un control preciso incluso para materiales difíciles como el SiC y el zafiro.
La inclusión de la función Autosetup permite a la máquina completar automáticamente el reavivado de la muela tras la sustitución, lo que elimina la intervención manual y mejora tanto la productividad como la uniformidad. Además, una unidad de medición en línea (rango 0-1800μm) garantiza un control preciso del espesor, mientras que la conectividad SECS/GEM permite una integración perfecta en las modernas fábricas inteligentes.
Características técnicas
- Husillos neumáticos de alta precisión: Proporcionan un adelgazamiento de obleas estable y sin vibraciones para materiales difíciles de procesar.
- Soporte de obleas de baja vibración y alta carga: Soporta obleas con una tensión mínima, mejorando el rendimiento y reduciendo los defectos.
- Accionamiento de husillo envolvente de alta rigidez: Mejora la rigidez general de la máquina y la estabilidad del proceso.
- Función Autosetup: Realiza automáticamente el reavivado de la rueda tras la sustitución, minimizando el tiempo de preparación y los errores humanos.
- Unidad de medición en línea: Controla con precisión el grosor de la oblea durante el procesamiento, rango 0-1800μm.
- Conectividad SECS/GEM: Admite la integración en sistemas de fabricación inteligentes para la supervisión y el control en tiempo real.
- Compatibilidad con múltiples materiales: manipula obleas de SiC, zafiro, cuarzo y cerámica de hasta 12 pulgadas.
Aplicaciones
La serie WG-1261 es ideal para:
- Adelgazamiento de obleas de SiC: Adelgazamiento de alta precisión para dispositivos de potencia, automoción y electrónica industrial.
- Procesado de obleas de zafiro: Ventanas ópticas, sustratos para LED y electrónica de alto rendimiento.
- Procesado de obleas de cuarzo y cerámica: Componentes de alta precisión para aplicaciones ópticas y de semiconductores.
- I+D y producción piloto: Para centros de investigación y fábricas que desarrollan materiales de nueva generación.
- Producción de alto rendimiento: El sistema automatizado garantiza resultados uniformes para la fabricación de obleas a media y gran escala.
Especificaciones de la máquina
| Artículo | Especificación |
|---|---|
| Estructura | Husillo ×2 / Soporte de obleas ×3 / Mesa de trabajo ×1 / Sistema de transferencia y limpieza totalmente automático ×1 |
| Potencia del husillo | 7,5 kW / 11 kW (opcional) |
| Diámetro de rectificado | φ6″, φ8″, φ12″ |
| Dimensiones (An×P×Al) | 1450 mm × 3380 mm × 1900 mm |
¿Por qué elegir la serie WG-1261?
- Alta precisión y estabilidad: Los avanzados husillos con cojinetes de aire y los soportes de oblea de baja vibración garantizan un adelgazamiento preciso de los materiales difíciles de procesar.
- Automatización y eficiencia: La configuración automática y los sistemas completos de transferencia/limpieza de obleas reducen los costes de mano de obra y el tiempo de configuración.
- Soporte de materiales versátil: Admite SiC, zafiro, cuarzo y cerámica, lo que ofrece flexibilidad para múltiples líneas de producción.
- Medición integrada y conectividad inteligente: La medición de espesores en línea combinada con SECS/GEM garantiza la fiabilidad del proceso y la integración en la fábrica.
- Reducción de los costes operativos: El diseño optimizado y el uso de consumibles reducen el desperdicio de material y mejoran el rendimiento de la producción.
Preguntas más frecuentes (FAQ)
- P: ¿Qué tamaños y materiales de oblea admite la WG-1261?
A: La máquina admite obleas de hasta 12 pulgadas, incluidos materiales de SiC, zafiro, cuarzo y cerámica, lo que proporciona opciones de procesamiento versátiles para múltiples líneas de producción. - P: ¿Cómo mejora la productividad la función Autosetup?
A: Autosetup completa automáticamente el reavivado de la rueda después de la sustitución, eliminando la intervención manual, reduciendo los errores de configuración y ahorrando significativamente tiempo de producción. - P: ¿Proporciona el WG-1261 un control preciso del grosor de las obleas?
A: Sí, está equipada con una unidad de medición en línea (0-1800μm) que garantiza una supervisión y un control precisos del adelgazamiento de las obleas durante el procesamiento. - P: ¿Puede integrarse el WG-1261 en fábricas inteligentes?
A: Absolutamente. La máquina soporta Conectividad SECS/GEM, que permite la supervisión en tiempo real, la recopilación de datos y la integración con sistemas de fabricación inteligentes. - P: ¿Cómo garantiza la WG-1261 el procesamiento estable de obleas de materiales difíciles de adelgazar?
A: Con husillos de alta potencia con cojinetes de aire, un portador de obleas de baja vibración y alta carga, y un accionamiento de husillo envolvente de alta rigidez, la WG-1261 mantiene una excelente estabilidad de proceso incluso para obleas de SiC y zafiro.
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