WGP-1271C เป็นเครื่องลดความหนาเวเฟอร์ประสิทธิภาพสูงแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อรองรับความท้าทายของวัสดุซับสเตรต SiC ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางใหญ่และเวเฟอร์อุปกรณ์ ออกแบบมาด้วยความแม่นยำและประสิทธิภาพในการผลิต ระบบสามแกนหมุน สี่สถานีขั้นสูงของ GGG นี้รับประกันการลดความหนาเวเฟอร์ที่เสถียร สม่ำเสมอ และมีคุณภาพสูงสำหรับทั้งเวเฟอร์อุปกรณ์ SiC ขนาด 8 นิ้วและซับสเตรต SiC ขนาด 12 นิ้ว.
ติดตั้งด้วยสปินเดิลแรงบิดสูงพิเศษและตัวรองรับเวเฟอร์แบบรับน้ำหนักสูงรุ่นที่สี่ เครื่อง WGP-1271C สามารถจัดการกระบวนการที่ซับซ้อนและท้าทายในการลดความหนาของ SiC ซึ่งเป็นหนึ่งในวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ที่ท้าทายที่สุดได้อย่างง่ายดาย ด้วยระบบอัตโนมัติเป็นแกนหลัก เครื่องนี้ผสานการถ่ายโอน การทำความสะอาด และการเจียรเวเฟอร์เข้าไว้ในขั้นตอนการทำงานที่ราบรื่นเพียงขั้นตอนเดียว ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตอย่างมากในขณะที่ลดการแทรกแซงของมนุษย์.
คุณสมบัติทางเทคนิค
- การกำหนดค่าแบบสามแกนหมุน สี่สถานี: เพิ่มประสิทธิภาพสูงสุดในการผลิตพร้อมรับประกันการประมวลผลเวเฟอร์อย่างสม่ำเสมอ.
- สปินเดิลแรงบิดสูงพิเศษ (11 kW): รับประกันประสิทธิภาพการกลึงแบบบางที่เสถียรสำหรับวัสดุที่ขึ้นรูปยาก เช่น SiC.
- ตัวนำเวเฟอร์รุ่นที่สี่สำหรับโหลดสูง: ให้การรองรับและการจัดการเวเฟอร์อย่างแม่นยำ ลดความเครียดและข้อบกพร่องระหว่างการทำให้บางลง.
- ฟังก์ชันการตั้งค่าอัตโนมัติ: ทำการปรับแต่งล้อโดยอัตโนมัติหลังจากการเปลี่ยน ช่วยลดการแทรกแซงด้วยมือและลดเวลาในการตั้งค่า.
- ตัวเลือกวัสดุสิ้นเปลืองที่หลากหลาย: รองรับวัสดุการบดที่หลากหลายและเป้าหมายความหนาที่แตกต่างกัน ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการและลดต้นทุนการดำเนินงาน.
- ระบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ: ระบบถ่ายโอนและทำความสะอาดเวเฟอร์แบบบูรณาการ ช่วยลดการปนเปื้อนให้น้อยที่สุดและรับประกันความต่อเนื่องของกระบวนการอย่างไร้รอยต่อ.
- ความเข้ากันได้กว้าง: รองรับขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์หลายขนาด รวมถึง φ6″, φ8″ และ φ12″ ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับสายการผลิตอุปกรณ์ SiC สมัยใหม่.
การประยุกต์ใช้
WGP-1271C เหมาะอย่างยิ่งสำหรับ:
- แผ่นเวเฟอร์ SiC ขนาด 8 นิ้ว: สำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังสูง, อุตสาหกรรมยานยนต์, และการใช้งานอุตสาหกรรม.
- แผ่นรองรับ SiC ขนาด 12 นิ้ว: สำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ประสิทธิภาพสูงรุ่นถัดไปที่ต้องการแผ่นเวเฟอร์บางพิเศษ.
- การวิจัยและพัฒนา: มหาวิทยาลัยและศูนย์วิจัยและพัฒนาเซมิคอนดักเตอร์ที่ทำงานเกี่ยวกับการสร้างต้นแบบอุปกรณ์ที่ใช้ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC).
- สภาพแวดล้อมการผลิตแบบปริมาณสูง: โรงงานผลิตเวเฟอร์ขนาดใหญ่ที่ต้องการโซลูชันการลดความหนาของเวเฟอร์ที่เสถียรและอัตโนมัติ.
ความสามารถในการรองรับทั้งแผ่นเวเฟอร์อุปกรณ์และวัสดุรองรับ ทำให้เป็นตัวเลือกที่หลากหลายสำหรับโรงงานที่ต้องการลดเวลาหยุดทำงาน เพิ่มผลผลิต และลดต้นทุนการดำเนินงานโดยรวม.
ข้อมูลจำเพาะของเครื่อง
| รายการ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| โครงสร้าง | แกนหมุน ×3 / ตัวรองรับเวเฟอร์ ×4 / โต๊ะทำงาน ×1 / ระบบถ่ายโอนและทำความสะอาดอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ×1 |
| กำลังแกนหมุน | 11 กิโลวัตต์ |
| เส้นผ่านศูนย์กลางการเจียร | φ6″, φ8″, φ12″ |
| ขนาด (กว้าง×ลึก×สูง) | 1900 มม. × 3530 มม. × 1900 มม. |
ทำไมต้องเลือก WGP-1271C?
- ประสิทธิภาพสูงและผลิตภาพ: การกำหนดค่าแบบสามแกนหมุนและสี่สถานีช่วยลดเวลาในการทำงานของกระบวนการในขณะที่ยังคงรักษาคุณภาพการผลิตที่สูง.
- ความแม่นยำในการลดความหนาที่เหนือกว่า: ตัวพาหนะเวเฟอร์รุ่นที่สี่และสปินเดิลแรงบิดสูงพิเศษช่วยให้ความหนาและความสม่ำเสมอของเวเฟอร์มีความแม่นยำ.
- การลดการแทรกแซงของมนุษย์: การตั้งค่าอัตโนมัติและระบบถ่ายโอน/ทำความสะอาดแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบช่วยลดความต้องการแรงงานและข้อผิดพลาดในการตั้งค่า.
- ปรับใช้ได้กับกระบวนการต่าง ๆ: ความเข้ากันได้กับวัสดุสิ้นเปลืองที่หลากหลายช่วยให้สามารถปรับแต่งให้เหมาะสมกับขนาดและวัสดุของเวเฟอร์ที่แตกต่างกันได้ ตอบสนองความต้องการเฉพาะของการผลิต SiC สมัยใหม่.
- ต้นทุนการดำเนินงานต่ำ: การออกแบบกระบวนการที่เหมาะสมและการใช้สิ้นเปลืองอย่างมีประสิทธิภาพช่วยให้ต้นทุนการดำเนินงานต่ำลงโดยไม่ลดทอนผลผลิต.
- การผลิตที่รองรับอนาคต: ออกแบบมาเพื่อรองรับแผ่นเวเฟอร์ขนาดใหญ่ขึ้นและอุปกรณ์ SiC รุ่นถัดไป รองรับการขยายโรงงานและการอัปเกรดเทคโนโลยี.
คำถามที่พบบ่อย (FAQ)
- ถาม: เครื่อง WGP-1271C สามารถรองรับแผ่นเวเฟอร์ขนาดใดได้บ้าง?
A: เครื่องรองรับแผ่นเวเฟอร์ขนาด φ6″, φ8″ และ φ12″ รวมถึงแผ่นเวเฟอร์อุปกรณ์ SiC ขนาด 8 นิ้ว และแผ่นฐาน SiC ขนาด 12 นิ้ว ซึ่งให้ความยืดหยุ่นสำหรับความต้องการในการผลิตที่แตกต่างกัน. - ถาม: ฟังก์ชันการตั้งค่าอัตโนมัติช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตได้อย่างไร?
A: ระบบติดตั้งอัตโนมัติจะทำการปรับแต่งล้อโดยอัตโนมัติหลังจากการเปลี่ยน ช่วยขจัดความจำเป็นในการปรับแต่งด้วยตนเอง ลดข้อผิดพลาดในการตั้งค่า และประหยัดเวลาอันมีค่าในการผลิต. - ถาม: WGP-1271C สามารถประมวลผลเวเฟอร์ SiC ที่ยากต่อการทำให้บางโดยไม่เกิดรอยแตกได้หรือไม่?
A: ใช่ ด้วยแกนหมุนแรงบิดสูงพิเศษและตัวรองรับเวเฟอร์แบบรับน้ำหนักสูงรุ่นที่สี่ เครื่องนี้รับประกันการเจียรบางที่เสถียรแม้กับเวเฟอร์ SiC ที่ยากต่อการประมวลผล ลดความเครียดและข้อบกพร่องให้น้อยที่สุด. - ถาม: เครื่องนี้เหมาะสำหรับทั้งสภาพแวดล้อมการวิจัยและพัฒนาและการผลิตจำนวนมากหรือไม่?
A: แน่นอน ระบบการถ่ายโอนและการทำความสะอาดอัตโนมัติเต็มรูปแบบของมัน ควบคู่กับสปินเดลที่มีความแม่นยำสูง ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการวิจัยและพัฒนาตลอดจนการผลิตขนาดใหญ่. - ถาม: WGP-1271C ลดต้นทุนการดำเนินงานได้อย่างไร?
A: เครื่องนี้มีการกำหนดค่าวัสดุสิ้นเปลืองที่เหมาะสมที่สุดและประสิทธิภาพกระบวนการสูง ช่วยลดของเสียจากวัสดุและต้นทุนแรงงาน ในขณะที่ยังคงรักษาปริมาณการผลิตที่สูงและคุณภาพของเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอ.






รีวิว
ยังไม่มีบทวิจารณ์