La WGP-1271C è una macchina per l'assottigliamento dei wafer completamente automatica e ad alta efficienza, progettata specificamente per affrontare le sfide dei substrati e dei wafer di dispositivi SiC di grande diametro. Progettato all'insegna della precisione e della produttività, questo sistema avanzato GGG a tre mandrini e quattro stazioni garantisce un assottigliamento stabile, costante e di alta qualità per wafer di dispositivi SiC da 8 pollici e substrati SiC da 12 pollici.
Dotata di mandrini a coppia ultra-elevata e di un porta wafer ad alto carico di quarta generazione, la WGP-1271C gestisce facilmente il complesso e impegnativo processo di assottigliamento del SiC, uno dei materiali più difficili per i semiconduttori. Grazie all'automazione, la macchina integra il trasferimento dei wafer, la pulizia e la rettifica in un unico flusso di lavoro semplificato, migliorando significativamente l'efficienza produttiva e riducendo l'intervento umano.
Caratteristiche tecniche
- Configurazione a tre mandrini e quattro stazioni: Massimizza la produttività e garantisce una lavorazione uniforme dei wafer.
- Mandrini a coppia ultra-elevata (11 kW): Garantisce prestazioni di assottigliamento stabili per materiali difficili da lavorare come il SiC.
- Porta wafer ad alto carico di quarta generazione: Fornisce un supporto e una gestione precisi dei wafer, riducendo al minimo le sollecitazioni e i difetti durante l'assottigliamento.
- Funzione di autosetup: Completa automaticamente la ravvivatura delle ruote dopo la sostituzione, eliminando l'intervento manuale e riducendo i tempi di impostazione.
- Opzioni versatili per i materiali di consumo: Supporta una varietà di materiali di rettifica e di spessori, ottimizzando l'efficienza del processo e riducendo i costi operativi.
- Automazione completa: Il sistema integrato di trasferimento e pulizia dei wafer garantisce una contaminazione minima e la continuità del processo.
- Ampia compatibilità: Supporta diversi diametri di wafer, tra cui φ6″, φ8″ e φ12″, rendendolo ideale per le moderne linee di produzione di dispositivi SiC.
Applicazioni
Il WGP-1271C è ideale per:
- Wafer di dispositivi SiC da 8 pollici: Per applicazioni elettroniche di alta potenza, automobilistiche e industriali.
- Substrati SiC da 12 pollici: Per i dispositivi a semiconduttore di nuova generazione ad alta efficienza che richiedono wafer ultrasottili.
- Ricerca e sviluppo: Università e centri di ricerca e sviluppo di semiconduttori che lavorano alla prototipazione di dispositivi basati su SiC.
- Ambienti di produzione ad alta produttività: Impianti di produzione di wafer su larga scala che cercano soluzioni di assottigliamento dei wafer stabili e automatizzate.
La sua capacità di gestire sia i wafer che i substrati dei dispositivi la rende una scelta versatile per gli impianti che vogliono ridurre i tempi di inattività, aumentare la resa e ridurre i costi operativi complessivi.
Specifiche della macchina
| Articolo | Specifiche |
|---|---|
| Struttura | Mandrino ×3 / Porta wafer ×4 / Piano di lavoro ×1 / Sistema di trasferimento e pulizia completamente automatico ×1 |
| Potenza del mandrino | 11 kW |
| Diametro di macinazione | φ6″, φ8″, φ12″ |
| Dimensioni (L×P×H) | 1900 mm × 3530 mm × 1900 mm |
Perché scegliere WGP-1271C?
- Alta efficienza e produttività: La configurazione a tre mandrini e quattro stazioni riduce il tempo di ciclo del processo mantenendo una produzione di alta qualità.
- Precisione di assottigliamento superiore: Il supporto per wafer di quarta generazione e i mandrini a coppia ultra-elevata assicurano uno spessore e un'uniformità precisi dei wafer.
- Riduzione dell'intervento umano: L'impostazione automatica e il sistema di trasferimento/pulizia completamente automatizzato riducono al minimo i requisiti di manodopera e gli errori di impostazione.
- Adattabile a vari processi: La compatibilità dei diversi materiali di consumo consente l'ottimizzazione per wafer di diverse dimensioni e materiali, soddisfacendo le esigenze uniche della moderna produzione di SiC.
- Bassi costi operativi: Il design ottimizzato del processo e l'uso efficiente dei materiali di consumo assicurano costi di esercizio ridotti senza compromettere la produzione.
- Produzione a prova di futuro: Progettato per accogliere wafer più grandi e dispositivi SiC di nuova generazione, supportando l'espansione dell'impianto e gli aggiornamenti tecnologici.
Domande frequenti (FAQ)
- D: Quali dimensioni di wafer può gestire il WGP-1271C?
A: La macchina supporta wafer da φ6″, φ8″ e φ12″, compresi wafer per dispositivi SiC da 8 pollici e substrati SiC da 12 pollici, offrendo flessibilità per le diverse esigenze di produzione. - D: In che modo la funzione Autosetup migliora l'efficienza della produzione?
A: L'Autosetup esegue automaticamente la ravvivatura delle ruote dopo la sostituzione, eliminando l'intervento manuale, riducendo gli errori di impostazione e risparmiando tempo prezioso per la produzione. - D: Il WGP-1271C è in grado di processare wafer SiC di spessore elevato senza incrinarsi?
A: Sì, grazie ai mandrini a coppia ultra-elevata e al supporto per wafer ad alto carico di quarta generazione, la macchina garantisce un assottigliamento stabile anche per i wafer SiC difficili da lavorare, riducendo al minimo le sollecitazioni e i difetti. - D: La macchina è adatta sia alla ricerca e sviluppo che alla produzione di massa?
A: Assolutamente sì. Il suo sistema di trasferimento e pulizia completamente automatizzato, combinato con mandrini ad alta precisione, lo rende ideale sia per lo sviluppo della ricerca che per la produzione su larga scala. - D: In che modo il WGP-1271C riduce i costi operativi?
A: La macchina offre configurazioni ottimizzate dei materiali di consumo e un'elevata efficienza di processo, riducendo gli sprechi di materiale e i costi di manodopera e mantenendo un'elevata produttività e una qualità costante dei wafer.




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