WP-301D Double Side Wafer hiontakone 6 tuuman puolijohdemateriaaleille ja tarkkuuslaippaukselle

WP-301D Double Side Wafer Grinding Machine on erittäin tarkka järjestelmä, joka on suunniteltu puolijohdekiekkojen ja hauraiden materiaalien samanaikaiseen kaksipuoliseen hiontaan ja kiillotukseen. Edistyksellisen planeettapyörästöllä varustetun liikejärjestelmän avulla kone mahdollistaa tasaisen materiaalin poiston sekä kiekon ylä- että alapinnoilta, mikä parantaa merkittävästi tasaisuutta ja yhdensuuntaisuutta.

WP-301D on suunniteltu 150 mm:n (6 tuuman) ja sitä pienemmille kiekoille, ja sitä käytetään laajalti yhdistelmäpuolijohdemateriaalien, kuten CdZnTe:n (CZT), HgCdTe:n (MCT), GaAs:n, InP:n ja InSb:n, käsittelyssä. Nämä materiaalit ovat kriittisiä sovelluksissa, kuten infrapunahavaitsemisessa, optoelektroniikassa ja suurtaajuuslaitteissa.

Vankan mekaanisen rakenteensa, tarkan ohjausjärjestelmänsä ja optimoidun karan suunnittelun ansiosta WP-301D takaa korkean tehokkuuden, erinomaisen pinnanlaadun ja vakaan eräkäsittelyn suorituskyvyn.

Tärkeimmät ominaisuudet ja tekniset edut

Kaksipuolinen samanaikainen käsittely

Kone käsittelee kiekon molemmat puolet samanaikaisesti, mikä varmistaa:

• Parempi paksuuden tasaisuus
• Parempi rinnakkaisuus
• Kokonaiskäsittelyajan lyhentäminen

Planeettavaihteistojärjestelmä

Integroitu aurinko- ja rengaspyöräjärjestelmä voi toimia joko synkronoidusti tai itsenäisesti, mikä mahdollistaa joustavan prosessinohjauksen ja optimoidut hiontaradat eri materiaaleille.

Korkean tarkkuuden karajärjestelmä

WP-301D on varustettu upotetulla huipputarkalla karalla, joka takaa vakaan pyörimisen ja minimaalisen tärinän, mikä on välttämätöntä tasaisen pinnanlaadun saavuttamiseksi.

Reaaliaikainen paineenvalvontajärjestelmä

Koneessa on kehittynyt suljetun silmukan paineensäätöjärjestelmä, joka mahdollistaa:

• Tarkka paineen säätö (0,1 - 50 kg)
• Reaaliaikainen seuranta ja automaattinen korjaus
  Tämä takaa tasaisen materiaalin poiston ja estää ylikiillotuksen.

Kelluva ylempi levy Design

Ylälevyssä on kelluva liitosrakenne, joka varmistaa, että se pysyy käsittelyn aikana yhdensuuntaisena alemman levyn kanssa. Tämä parantaa merkittävästi kiekon tasaisuutta ja vähentää paksuusvaihtelua.

Tekniset tiedot

Toimintaperiaate

WP-301D toimii planeettamekanismilla, jossa kiekot asetetaan ylä- ja alalevyjen väliin sijoitettuihin kannattimiin.

Käytön aikana:

• Alempi levy pyörii jatkuvasti
• Aurinkovaihde pyörittää kantolaitteita
• Kehäpyörästö ohjaa pyörimisliikettä

Tämä yhdistelmä luo monimutkaisen suhteellisen liikkeen kiekon ja kiillotuslevyjen välille, mikä takaa tasaisen materiaalin poiston molemmilla pinnoilla.

Samanaikaisesti paineen säätöjärjestelmä ylläpitää tasaista voimaa, kun taas kelluva ylälevy mukautuu dynaamisesti säilyttääkseen yhdensuuntaisen kosketuksen. Tämä johtaa seuraaviin tuloksiin:

• Korkea tasaisuus
• Tasainen paksuus
• Vähäiset pinnanalaiset vauriot

Sovellukset

WP-301D-kaksoispuolen hiomakone on laajalti käytössä:

• Yhdistettyjen puolijohdekiekkojen käsittely
• Infrapunamateriaalit (CZT, MCT)
• III-V-materiaalit (GaAs, InP, InSb)
• Optiset substraatit ja tarkkuuskomponentit
• Tutkimuslaboratoriot ja erätuotanto

Se soveltuu erityisen hyvin 6 tuuman ja sitä pienempien hauraiden materiaalien työstöön, kun tarkkuus ja pinnan eheys ovat kriittisiä.

Keskeiset edut

• Korkea hyötysuhde
  Kaksipuolinen työstö lyhentää kokonaiskoneistusaikaa
• Korkea tarkkuus
  Varmistaa erinomaisen tasaisuuden ja yhdensuuntaisuuden
• Prosessin vakaus
  Suljetun silmukan paineensäätö parantaa johdonmukaisuutta
• Joustava toiminta
  Itsenäinen tai synkronoitu vaihteen ohjaus
• Optimoitu hauraille materiaaleille
  Minimoi jännityksen ja estää halkeilua

FAQ

Q1: Mikä on kaksipuolisen hionnan tärkein etu?
V: Se mahdollistaa molempien kiekkopintojen samanaikaisen käsittelyn, mikä parantaa tasaisuutta, yhdensuuntaisuutta ja tehokkuutta verrattuna yksipuoliseen hiontaan.

Q2: Mitä materiaaleja voidaan käsitellä?
V: Kone soveltuu CZT, MCT, GaAs, InP, InSb ja muille pehmeille ja hauraille puolijohdemateriaaleille.

Q3: Mitä kiekkokokoa WP-301D tukee?
V: Se tukee enintään 150 mm:n (6 tuuman) kiekkoja.