8palcová destička z taveného křemene je prémiový substrát z vysoce čistého syntetického křemene (SiO₂ ≥99,99%) určený pro vysoce přesné aplikace v polovodičových, optických a laserových systémech. Jeho ultra nízká tepelná roztažnost, výjimečná propustnost UV-IR záření a vynikající chemická odolnost z něj činí ideální materiál pro náročná prostředí, jako je fotolitografie, leptání, nanášení tenkých vrstev a výroba vysoce přesných senzorů.
Každý plátek je pečlivě vyráběn pod přísnou kontrolou kvality v čistých prostorách, aby byla zajištěna vynikající rovinnost, povrchová úprava a čistota. To zaručuje spolehlivý výkon pro kritické průmyslové, výzkumné a letecké aplikace.
Klíčové vlastnosti a výhody
-
Velmi vysoká čistota (≥99,99%): Minimalizuje kontaminaci v polovodičových a optických procesech.
-
Výjimečná tepelná stabilita: Bod měknutí ~1683 °C, krátkodobá tolerance až 1450 °C pro vysokoteplotní procesy.

-
Velmi nízká tepelná roztažnost (0,55 × 10-⁶/K): Zajišťuje rozměrovou stabilitu při tepelném namáhání.
-
Vynikající optický přenos: UV-IR rozsah 185 nm-2,5 µm, ideální pro fotolitografii, laserovou optiku a UV senzory.
-
Vysoká kvalita povrchu: Ra ≤1,0 nm a TTV ≤10 µm pro rovnoměrné nanášení tenkých vrstev a přesnou integraci senzoru.
-
Chemická odolnost: Odolný vůči většině kyselin (kromě HF) a louhů, vhodný pro mokré leptání a drsné prostředí.
-
Odolnost proti záření a dielektrická stabilita: Podporuje aplikace pro letecký průmysl a fyziku vysokých energií.
-
Přizpůsobitelné tvary a velikosti: Kulaté, čtvercové, prstencové nebo sektorové destičky s volitelným leštěním, AR/IR/DLC povlaky a mikrofabrikací.
Aplikace
| Průmysl | Aplikace | Benefit |
|---|---|---|
| Polovodiče | Substráty pro fotomasky, leptací nosiče, lešticí podložky pro CMP | Vysokoteplotní stabilita, velmi nízká úroveň defektů, přesnost výroby čipů |
| Fotovoltaika | Desky pro proces PECVD, substráty pro nanášení tenkých vrstev | Odolnost proti teplotním šokům, zvyšuje účinnost solárních článků |
| Optoelektronika | LED/LD substráty, laserová okna, optické senzory | Vysoká UV-IR propustnost, nízká autofluorescence, zvyšuje výkon zařízení |
| Přesná optika | Substráty čoček, hranoly, děliče paprsků, IR okna | Nízká tepelná roztažnost, vysoká homogenita, optická stabilita |
| Výzkum a laboratoř | Synchrotronové záření, VUV experimenty, vysokoenergetické detektory | Odolnost vůči záření, odolnost vůči extrémním podmínkám |
| Letectví a kosmonautika | Satelitní optická okna, vysokoteplotní pozorovací panely | Odolnost proti teplotním šokům, spolehlivost na vesmírné úrovni |
Technické specifikace
| Parametr | Specifikace |
|---|---|
| Materiál | Syntetický tavený křemen (SiO₂ ≥99.99%) |
| Průměr | 200 mm (8 palců) |
| Rozsah tloušťky | 100 µm - 3000 µm (přizpůsobitelné) |
| Celková odchylka tloušťky (TTV) | ≤10 µm |
| Drsnost povrchu (Ra) | ≤1,0 nm |
| Celkový obsah nečistot | ≤2,0 µg/g |
| Koeficient tepelné roztažnosti | 0,55 × 10-⁶/K (20-300 °C) |
| Teplotní odolnost | Bod měknutí 1683 °C, krátkodobě až 1450 °C |
| Propustnost UV záření | >90% (200-260 nm) |
| Rovinnost povrchu | Vysoká přesnost, TTV ≤10 µm |
| Možnosti tvaru | Kulaté (standardní), k dispozici jsou i tvary na zakázku |
| Certifikace | RoHS, ISO9001 |
ČASTO KLADENÉ DOTAZY
-
Otázka: Jaká je standardní tloušťka 8palcového křemenného plátku?
A: Standardní tloušťka je 0,5-1,0 mm, přičemž pro specializované polovodičové a optické aplikace lze zvolit až 10 mm. -
Otázka: Proč si vybrat tavené křemenné destičky místo křemíkových?
A: Tavené křemenné destičky poskytují vynikající UV průhlednost, vyšší tepelnou stabilitu (až do 1730 °C), chemickou odolnost a rozměrovou stálost, takže jsou ideální pro vysoce přesnou litografii a náročné procesy. -
Otázka: Může společnost FUYAO poskytovat vlastní tvary destiček a povrchové úpravy?
A: Ano. Na výběr jsou destičky kulaté, čtvercové, prstencové, sektorové, s povrchovou úpravou, jako je optické leštění, povlaky AR/IR/DLC, vrtání a drážkování.





Recenze
Zatím zde nejsou žádné recenze.