แผ่นเวเฟอร์ควอตซ์หลอมรวมขนาด 8 นิ้ว เป็นวัสดุฐานควอตซ์สังเคราะห์คุณภาพสูง (SiO₂ ≥99.99%) ที่ออกแบบมาสำหรับการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำสูงในเซมิคอนดักเตอร์, MEMS, ระบบออปติคอล และเลเซอร์การขยายตัวทางความร้อนต่ำเป็นพิเศษ การส่งผ่านรังสี UV-IR ที่ยอดเยี่ยม และความทนทานต่อสารเคมีที่ดีเยี่ยม ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่ต้องการความแม่นยำสูง เช่น การพิมพ์ลายด้วยแสง (photolithography) การกัดกร่อน (etching) การเคลือบฟิล์มบาง (thin-film deposition) และการผลิตเซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำสูง.
แผ่นเวเฟอร์แต่ละแผ่นได้รับการผลิตอย่างพิถีพิถันภายใต้การควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวดในห้องปลอดเชื้อ เพื่อให้ได้ความเรียบเนียน ความละเอียดของผิว และความบริสุทธิ์ในระดับสูง ซึ่งรับประกันประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้สำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมสำคัญ การวิจัย และอวกาศ.
คุณสมบัติเด่นและข้อได้เปรียบ
-
ความบริสุทธิ์สูงพิเศษ (≥99.99%): ลดการปนเปื้อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และกระบวนการทางแสง.
-
ความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม: จุดอ่อนตัว ~1683°C, ทนต่ออุณหภูมิสูงได้ชั่วคราวถึง 1450°C สำหรับกระบวนการที่มีอุณหภูมิสูง.
-
การขยายตัวทางความร้อนต่ำพิเศษ (0.55 × 10⁻⁶/K): ทำให้เกิดความเสถียรทางมิติภายใต้ความเครียดทางความร้อน.
-
การส่งผ่านแสงที่เหนือกว่า: ช่วง UV-IR 185 nm–2.5 µm, เหมาะสำหรับโฟโตลิโธกราฟี, เลเซอร์ออปติกส์, และเซ็นเซอร์ UV.
-
คุณภาพสูงของผิวหน้า: Ra ≤1.0 nm และ TTV ≤10 µm สำหรับการเคลือบฟิล์มบางอย่างสม่ำเสมอและการรวมเซ็นเซอร์ที่แม่นยำ.
-
ความต้านทานต่อสารเคมี: ทนต่อกรดส่วนใหญ่ (ยกเว้น HF) และด่าง เหมาะสำหรับการกัดกร่อนแบบเปียกและสภาพแวดล้อมที่รุนแรง.
-
ความต้านทานรังสี & ความเสถียรทางไดอิเล็กทริก: สนับสนุนการใช้งานด้านอวกาศและฟิสิกส์พลังงานสูง.
-
รูปทรงและขนาดที่ปรับแต่งได้: แผ่นเวเฟอร์ทรงกลม สี่เหลี่ยม วงแหวน หรือรูปส่วนโค้ง พร้อมตัวเลือกการขัดเงา การเคลือบ AR/IR/DLC และการผลิตระดับไมโคร.
การประยุกต์ใช้
| อุตสาหกรรม | การสมัคร | ประโยชน์ |
|---|---|---|
| สารกึ่งตัวนำ | แผ่นรองหน้ากากโฟโต้, แผ่นรองสำหรับการกัด, แผ่นขัด CMP | ความเสถียรที่อุณหภูมิสูง, ข้อบกพร่องต่ำมาก, รับประกันความแม่นยำในการผลิตชิป |
| โฟโตโวลตาอิกส์ | แผ่นเวเฟอร์กระบวนการ PECVD, วัสดุรองรับการเคลือบฟิล์มบาง | ทนต่อความร้อนฉับพลัน, เพิ่มประสิทธิภาพของเซลล์แสงอาทิตย์ |
| ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ | แผ่นรองรับ LED/LD, หน้าต่างเลเซอร์, เซ็นเซอร์ออปติคอล | การส่งผ่านรังสี UV-IR สูง, อัตโนมัติฟลูออเรสเซนซ์ต่ำ, เพิ่มประสิทธิภาพของอุปกรณ์ |
| ออปติกส์ความแม่นยำสูง | วัสดุพื้นฐานของเลนส์, ปริซึม, ตัวแยกแสง, หน้าต่างอินฟราเรด | การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ความสม่ำเสมอสูง รับประกันความเสถียรทางแสง |
| การวิจัยและห้องปฏิบัติการ | รังสีซินโครตรอน, การทดลอง VUV, เครื่องตรวจจับพลังงานสูง | ทนต่อรังสี, ทนต่อสภาวะสุดขั้ว |
| อวกาศและอากาศยาน | หน้าต่างออปติคัลสำหรับดาวเทียม แผงสังเกตการณ์ทนอุณหภูมิสูง | ความทนทานต่อความช็อกทางความร้อน, ความน่าเชื่อถือระดับอวกาศ |
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| พารามิเตอร์ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| วัสดุ | ควอตซ์สังเคราะห์หลอมรวม (SiO₂ ≥99.99%) |
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 200 มม. (8 นิ้ว) |
| ช่วงความหนา | 100 ไมโครเมตร – 3000 ไมโครเมตร (ปรับแต่งได้) |
| ความแปรผันของความหนาทั้งหมด (TTV) | ≤10 ไมโครเมตร |
| ความหยาบผิว (Ra) | ≤1.0 นาโนเมตร |
| ปริมาณสิ่งเจือปนทั้งหมด | ≤2.0 ไมโครกรัม/กรัม |
| สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน | 0.55 × 10⁻⁶/K (20–300°C) |
| ความต้านทานต่ออุณหภูมิ | จุดอ่อนตัว 1683°C, ระยะสั้นสูงสุดถึง 1450°C |
| การส่งผ่านรังสีอัลตราไวโอเลต | >90% (200–260 nm) |
| ความเรียบของผิว | ความแม่นยำสูง, TTV ≤10 µm |
| ตัวเลือกการปรับรูปทรง | กลม (มาตรฐาน), รูปทรงพิเศษตามสั่ง |
| การรับรอง | RoHS, ISO9001 |
คำถามที่พบบ่อย
-
ถาม: ความหนามาตรฐานของแผ่นควอตซ์ขนาด 8 นิ้วคือเท่าไร?
A: ความหนามาตรฐานคือ 0.5–1.0 มม. โดยมีตัวเลือกแบบกำหนดเองได้สูงสุดถึง 10 มม. สำหรับการใช้งานเฉพาะทางในเซมิคอนดักเตอร์และออปติก. -
ถาม: ทำไมถึงเลือกแผ่นควอตซ์หลอมแทนแผ่นซิลิคอน?
A: แผ่นควอตซ์หลอมรวมให้ความโปร่งใสต่อรังสียูวีที่เหนือกว่า มีความเสถียรทางความร้อนสูง (สูงสุด 1730°C) ทนต่อสารเคมี และมีความคงรูปทางมิติ ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการพิมพ์ลิโธกราฟีที่มีความแม่นยำสูงและกระบวนการที่รุนแรง. -
ถาม: FUYAO สามารถจัดหาแผ่นเวเฟอร์ในรูปทรงเฉพาะและการเคลือบผิวได้หรือไม่?
A: ใช่ ตัวเลือกประกอบด้วยแผ่นเวเฟอร์ทรงกลม ทรงสี่เหลี่ยม ทรงแหวน ทรงเซกเตอร์ พร้อมการตกแต่งผิว เช่น การขัดผิวด้วยแสง การเคลือบ AR/IR/DLC การเจาะ และการเซาะร่อง.
Request a Quote for 8-Inch High-Purity Fused Quartz Wafer (200mm) for Precision Sensors and Optical Applications
Tell us your required specifications, dimensions, quantity, application and technical requirements. You can also provide drawings or additional project information. Our technical team will review your requirements and reply as soon as possible.
รีวิว
ยังไม่มีบทวิจารณ์