精密研削盤WP-4300は、壊れやすい半導体材料の精密平面研削と琢磨のために設計された高性能システムです。特に4インチと6インチの基板を加工するように設計されており、実験室規模の研究と少量生産の両方の環境に適しています。.
本装置は、CdZnTe (CZT)、HgCdTe (MCT)、GaAs、InP、InSbなど、赤外線検出、オプトエレクトロニクス、先端半導体デバイスに一般的に適用される材料に広く使用されています。最適化された構造設計とインテリジェントな動作制御により、WP-4300は均一な材料除去、優れた表面平坦性、最小限の表面下損傷を保証します。.
わずか0.75m²のコンパクトな設置面積は、高精度と操作の柔軟性を維持しながら、限られたスペースしかない施設に理想的なソリューションとなっている。.
主な特徴と利点
壊れやすい半導体材料用に設計
WP-4300は軟質・脆性材料に最適化されており、クラックや過度の応力を発生させることなく安定した加工を実現します。.
フレキシブル・フィクスチャー・システム
4インチと6インチのキャリアを備え、複数のウェーハサイズに対応します：
- 確実な保持のための真空吸着
- 圧力調整可能（0.2～6.5 kg）
これにより、ウェーハ表面全体にわたって均一な研削が保証される。.
独立スイングアーム制御
この機械は、精密制御のスイングアームを備えており、自動位置決めにより独立して動作することができる。フィクスチャーは固定軸に沿って回転することも、スイングアームに追従してセクターモーションを行うことも可能で、表面の均一性を向上させる複雑なモーションパスを実現します。.
安定した低速研削システム
- プレート速度範囲0-150 rpm
- 補助回転0-100 rpm
これらのパラメータは、高精度アプリケーションに不可欠な制御された材料除去を保証します。.
先進のスラリー供給システム
一体型ダイヤフラムポンプが提供する
- 流量0.07～1481 ml/分
- 安定した調整可能なスラリー供給
これにより、安定した研削条件と再現性のある結果が保証される。.
磁気攪拌システム
機械は5Lタンク容量の磁気懸濁液の撹拌システムを採用し、均一なスラリーの混合および安定したプロセス性能を保障する。.
技術仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ワークサイズ | 4インチ（3インチ対応）／6インチ |
| プレート直径 | Φ420 mm |
| プレートスピード | 0 - 150 rpm |
| 冷却方法 | 水冷 |
| 備品数量 | 2（4インチ）／1（6インチ） |
| 取り付け方法 | 真空吸着 |
| 圧力範囲 | 0.2 - 5 kg / 0.2 - 6.5 kg |
| スイング・レンジ | -13° ~ +6° / -2° ~ -7° |
| 補助速度 | 0 - 100 rpm |
| ポンプ流量 | 0.07～1481ml/分 |
| ドライブタイプ | DCブラシレスモーター |
| 攪拌方法 | 磁気攪拌 |
| タンク容量 | 5 L |
| マシンサイズ | 960 × 765 × 1601 mm |
| 重量 | 約600kg |
動作原理
スイングアームの動きと治具の回転を組み合わせることで、接触圧力と研磨作用の均一な分布が保証されます。この多方向モーションは、以下を達成するのに役立ちます：
- 高い表面平坦性
- エッジ効果の低減
- 地下へのダメージは最小限
スラリーシステムは研磨粒子を連続的に供給し、磁気攪拌システムはプロセス全体を通して一貫したスラリー組成を維持します。.
アプリケーション
WP-4300精密研削盤は、広くで使用されています：
- 赤外線材料（CZT、MCT）加工
- 化合物半導体（GaAs、InP、InSb）
- 光電子基板
- 研究所とパイロット生産ライン
- 壊れやすい材料の精密研磨
特に6インチ以下の基板、特に高い表面品質と正確な厚み制御を必要とする用途に適している。.
コアの利点
- 高精度研削
優れた表面平坦性と均一性を確保 - コンパクト設計
わずか0.75m²の設置面積、ラボ環境に最適 - 柔軟な処理能力
複数のウェーハサイズと材料に対応 - 安定したプロセス制御
高度なモーションとスラリーシステムで再現性を確保 - 壊れやすい素材に最適化
ひび割れを抑え、歩留まりを向上
よくあるご質問
Q1: WP-4300はどのような材料を加工できますか？
A: CZT、MCT、GaAs、InP、InSbなどの壊れやすい半導体材料や、その他の柔らかく脆い基板用に設計されています。.
Q2: どのようなウェーハサイズに対応していますか？
A：本装置は4インチおよび6インチウェーハに対応しており、3インチ基板にも対応しています。.
Q3: この機械は実験室での使用に適していますか？
A: はい。WP-4300はコンパクトな設置面積と柔軟な構成で、研究開発ラボや小規模生産に最適です。.
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