2-Zoll-Quarz-Wafer DSP/SSP Polierte Substrate für MEMS, Halbleiter und optische Anwendungen

Der 2-Zoll-Quarz-Wafer ist ein Halbleitersubstrat aus hochreinem Siliziumdioxid (SiO₂). Durch Präzisionsbearbeitungstechniken wie CNC-Schneiden und Laserpolieren wird eine Ebenheit im Mikrometerbereich erreicht. Diese Wafer entsprechen den SEMI-Normen und können in Bezug auf Abmessungen und Dicke (±0,02 mm Toleranz) individuell angepasst werden, so dass sie sich für die Optoelektronik, MEMS (mikroelektromechanische Systeme) und das Halbleitergehäuse eignen.

Produktübersicht

2-Zoll-Quarz-Wafer DSP/SSP Polierte Substrate für MEMS, Halbleiter und optische AnwendungenDer 2-Zoll-Quarz-Wafer ist ein Halbleitersubstrat aus hochreinem Siliziumdioxid (SiO₂). Durch Präzisionsbearbeitungstechniken wie CNC-Schneiden und Laserpolieren wird eine Ebenheit im Mikrometerbereich erreicht. Diese Wafer entsprechen den SEMI-Normen und können in Bezug auf Abmessungen und Dicke (±0,02 mm Toleranz) individuell angepasst werden, so dass sie sich für die Optoelektronik, MEMS (mikroelektromechanische Systeme) und das Halbleitergehäuse eignen.

Fuyao bietet eine kundenspezifische Produktion für nicht standardisierte Geometrien, einschließlich Freiformflächen, abgestufte Dicken und fortschrittliche Oberflächenbehandlungen wie Antireflexionsbeschichtungen (AR) und hydrophobe Folien. Die vollständige Qualitätskontrolle des Prozesses gewährleistet eine Gesamtdickenabweichung (TTV) <0,005 mm und eine Oberflächenrauhigkeit Ra <1,5 nm. Für zeitkritische Projekte sind Prototyping in Kleinserien (mindestens 10 Stück) und schnelle Lieferoptionen verfügbar.

Spezifikationen

Parameter Spezifikation
Durchmesser 2 Zoll (50,8 mm)
Dickenbereich 0,1 mm - 1,0 mm
Materielle Reinheit ≥99.99%
Oberflächenrauhigkeit (Ra) ≤5 nm
Variation der Gesamtdicke ≤10 μm
Durchlässigkeit (@193 nm) >90%
Wärmeausdehnungskoeffizient ~0.55×10-⁶/°C
Erweichungspunkt ~1665°C
Verpackung 100-Level-Reinraum
Wesentliche Merkmale

1 Optische Exzellenz

  • Breitspektrum-Durchlässigkeit: >90% im ultravioletten Bereich (185-3500 nm), mit hervorragender Leistung im kurzwelligen UV-Bereich (185 nm).2 Zoll Quarzglaswafer dsp ssp Durchmesser 50,8mm

  • Geringe thermische Ausdehnung: CTE ~0,52×10-⁶/°C (5-35°C), kann Langzeittemperaturen bis 1100°C und Kurzzeittemperaturen bis 1450°C standhalten.

2 Mechanische und chemische Beständigkeit

  • Hohe Festigkeit: Biegefestigkeit 2-3x höher als Standardglas, Mohs-Härte 7.

  • Korrosionsbeständigkeit: 30x höhere Säurebeständigkeit als Keramik, geeignet für raue chemische Umgebungen.

3 Elektrische Isolierung

  • Widerstand von über 10¹⁸ Ω-cm mit geringem dielektrischen Verlust bei hohen Frequenzen, ideal für HF-Schaltungen und Sensoren.

Primäre Anwendungen

1 Halbleiterherstellung

  • Substrate für CMOS-Bildsensoren und RFID-Chips, die das Wafer-Level-Packaging (WLP) für eine höhere Integration unterstützen.

  • Substrate für MEMS-Geräte (z. B. Drucksensoren, Beschleunigungsmesser), die die strukturelle Stabilität von Mikrokomponenten gewährleisten.

2 Optoelektronische Systeme

  • UV-Laserfenster und faseroptische Kommunikationskoppler, die eine hervorragende UV-Transmission aufweisen.

  • Optische Fenster für die Luft- und Raumfahrt, die gegen Strahlung und Temperaturschwankungen resistent sind.

3 Medizin und Forschung

  • Optische Hochtemperaturkomponenten für endoskopische Bildgebungssysteme.

  • Hitzebeständige Beobachtungsfenster für Laborreaktoren.

4 spezialisierte Quarzfensterplatten

  • Freiformflächen, asymmetrische Öffnungen, abgestufte Dicke.

  • Schräg geschnittene Fenster zur Minimierung von Reflexionsverlusten.

  • Fenster mit Durchgangsbohrungen für die Integration mehrerer Sensoren.

  • Schnelle Herstellung von Prototypen: 3-5 Tage für Muster, Kleinserien <500 Stück, optionale Vakuumbeschichtungen (AR oder reflektierende Beschichtungen) für Forschung und militärische Anwendungen.

FAQ

1 Warum 2-Zoll-Quarz-Wafer?
2-Zoll-Quarz-Wafer sind Halbleitersubstrate, die aus hochreinem Siliziumdioxid (SiO₂) hergestellt werden. Durch präzises CNC-Schneiden und Laserpolieren erreichen sie eine Ebenheit im Mikrometerbereich. Diese Wafer können in Bezug auf Abmessungen und Dicke (±0,02 mm) individuell angepasst werden und entsprechen den SEMI-Normen, was sie ideal für Optoelektronik, MEMS und Halbleitergehäuse macht.

2 Was sind die Hauptanwendungen von 2-Zoll-Quarzscheiben?
Sie werden hauptsächlich in der Halbleiterfertigung (CMOS-Bildsensoren, RFID-Chip-Verpackung), für UV-Laserfenster, Glasfaserkoppler und optische Komponenten für die Luft- und Raumfahrt verwendet. Kundenspezifische Oberflächenbehandlungen wie Antireflexionsbeschichtungen verbessern die Leistung von Hochpräzisionssystemen.

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