MEMS, 반도체 및 광학용 2인치 쿼츠 웨이퍼 DSP/SSP 광택 기판

2인치 쿼츠 웨이퍼는 고순도 이산화규소(SiO₂)로 만든 반도체 등급 기판입니다. CNC 절단 및 레이저 연마와 같은 정밀 가공 기술을 통해 미크론 수준의 평탄도를 달성합니다. 이 웨이퍼는 SEMI 표준을 준수하며 크기와 두께(허용 오차 ±0.02mm)의 맞춤화를 지원하므로 광전자, MEMS(미세 전자 기계 시스템) 및 반도체 패키징에 적합합니다.

제품 개요

MEMS, 반도체 및 광학용 2인치 쿼츠 웨이퍼 DSP/SSP 광택 기판2인치 쿼츠 웨이퍼는 고순도 이산화규소(SiO₂)로 만든 반도체 등급 기판입니다. CNC 절단 및 레이저 연마와 같은 정밀 가공 기술을 통해 미크론 수준의 평탄도를 달성합니다. 이 웨이퍼는 SEMI 표준을 준수하며 크기와 두께(허용 오차 ±0.02mm)의 맞춤화를 지원하므로 광전자, MEMS(미세 전자 기계 시스템) 및 반도체 패키징에 적합합니다.

Fuyao는 자유형 형상, 등급별 두께, 반사 방지(AR) 코팅 및 소수성 필름과 같은 고급 표면 처리 등 비표준 형상에 대한 맞춤형 생산을 제공합니다. 전체 공정 품질 관리를 통해 총 두께 변화(TTV)가 0.005mm 미만이고 표면 거칠기 Ra가 1.5nm 미만이 되도록 보장합니다. 시간에 민감한 프로젝트를 위해 소량 프로토타입 제작(최소 10개 단위)과 신속한 배송 옵션을 제공합니다.

사양

매개변수 사양
지름 2인치(50.8mm)
두께 범위 0.1mm - 1.0mm
재료 순도 ≥99.99%
표면 거칠기(Ra) ≤5nm
총 두께 변화 ≤10 μm
투과율(@193nm) >90%
열팽창 계수 ~0.55×10-⁶/°C
연화 포인트 ~1665°C
패키징 100레벨 클린룸
주요 특징

1 광학 우수성

  • 광범위한 스펙트럼 투과율: >자외선 범위(185~3500nm)에서 90% 이상, 단파 UV 성능(185nm)이 우수합니다.2인치 쿼츠 유리 웨이퍼 DSP SPS 직경 50.8mm

  • 낮은 열 팽창: CTE ~0.52×10-⁶/°C(5-35°C), 최대 1100°C의 장기 온도와 1450°C의 단기 노출을 견딜 수 있습니다.

2 기계적 및 화학적 안정성

  • 높은 강도: 표준 유리보다 2~3배 높은 굴곡 강도, 모스 경도 7.

  • 내식성: 세라믹보다 30배 높은 내산성으로 혹독한 화학 환경에 적합합니다.

3 전기 절연

  • 고주파에서 유전체 손실이 적고 10¹⁸ Ω-cm를 초과하는 저항으로 RF 회로 및 센서에 이상적입니다.

주요 애플리케이션

1 반도체 제조

  • 더 높은 집적도를 위해 웨이퍼 레벨 패키징(WLP)을 지원하는 CMOS 이미지 센서 및 RFID 칩 패키징용 기판입니다.

  • 마이크로 부품의 구조적 안정성을 보장하는 MEMS 디바이스 기판(예: 압력 센서, 가속도계).

2 광전자 시스템

  • UV 레이저 창과 광섬유 통신 커플러로 뛰어난 UV 투과율을 활용합니다.

  • 방사선 및 열 순환에 강한 항공우주용 광학 창.

3 의료 및 연구

  • 내시경 이미징 시스템용 고온 광학 부품.

  • 실험실 원자로용 내열성 관찰 창입니다.

특수 석영 창 플레이트 4개

  • 자유형 표면, 비대칭 조리개, 등급별 두께.

  • 반사 손실을 최소화하는 각진 컷 창.

  • 다중 센서 통합을 위한 스루홀 창.

  • 신속한 프로토타이핑: 샘플의 경우 3~5일, 500개 미만의 소량 배치, 연구 및 군용 애플리케이션을 위한 진공 코팅(AR 또는 반사 코팅) 옵션.

자주 묻는 질문

1 왜 2인치 쿼츠 웨이퍼를 선택해야 하나요?
2인치 쿼츠 웨이퍼는 고순도 이산화규소(SiO₂)로 만든 반도체 등급 기판입니다. 정밀 CNC 절단 및 레이저 연마를 통해 미크론 수준의 평탄도를 달성합니다. 이 웨이퍼는 크기와 두께(±0.02mm)의 맞춤화를 지원하고 SEMI 표준을 준수하므로 광전자, MEMS 및 반도체 패키징에 이상적입니다.

2 2인치 쿼츠 웨이퍼의 주요 응용 분야는 무엇입니까?
주로 반도체 제조(CMOS 이미지 센서, RFID 칩 패키징), UV 레이저 윈도우, 광섬유 통신 커플러 및 항공우주 광학 부품에 사용됩니다. 반사 방지 코팅과 같은 맞춤형 표면 처리는 고정밀 시스템의 성능을 향상시킵니다.

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