Sustrato pulido DSP/SSP de oblea de cuarzo de 2 pulgadas para MEMS, semiconductores y uso óptico

La oblea de cuarzo de 2 pulgadas es un sustrato semiconductor fabricado con dióxido de silicio (SiO₂) de gran pureza. Alcanza una planitud micrométrica gracias a técnicas de procesamiento de precisión como el corte CNC y el pulido por láser. Estas obleas cumplen las normas SEMI y admiten la personalización de dimensiones y grosor (tolerancia de ±0,02 mm), lo que las hace adecuadas para optoelectrónica, MEMS (sistemas microelectromecánicos) y envasado de semiconductores.

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Sustrato pulido DSP/SSP de oblea de cuarzo de 2 pulgadas para MEMS, semiconductores y uso ópticoLa oblea de cuarzo de 2 pulgadas es un sustrato semiconductor fabricado con dióxido de silicio (SiO₂) de gran pureza. Alcanza una planitud micrométrica gracias a técnicas de procesamiento de precisión como el corte CNC y el pulido por láser. Estas obleas cumplen las normas SEMI y admiten la personalización de dimensiones y grosor (tolerancia de ±0,02 mm), lo que las hace adecuadas para optoelectrónica, MEMS (sistemas microelectromecánicos) y envasado de semiconductores.

Fuyao ofrece producción personalizada para geometrías no estándar, incluidas formas libres, espesores graduados y tratamientos superficiales avanzados como revestimientos antirreflejos (AR) y películas hidrófobas. El control de calidad de todo el proceso garantiza una variación total del espesor (TTV) <0,005 mm y una rugosidad superficial Ra <1,5 nm. Para proyectos urgentes, se ofrecen opciones de creación de prototipos en lotes pequeños (mínimo 10 unidades) y entrega rápida.

Especificaciones

Parámetro Especificación
Diámetro 2 pulgadas (50,8 mm)
Gama de espesores 0,1 mm - 1,0 mm
Pureza del material ≥99.99%
Rugosidad superficial (Ra) ≤5 nm
Variación del espesor total ≤10 μm
Transmitancia (@193 nm) >90%
Coeficiente de dilatación térmica ~0.55×10-⁶/°C
Punto de ablandamiento ~1665°C
Embalaje Sala blanca de nivel 100
Características principales

1 Excelencia óptica

  • Transmitancia de amplio espectro: >90% en la gama ultravioleta (185-3500 nm), con un rendimiento superior en UV de onda corta (185 nm).oblea de cristal de cuarzo de 2 pulgadas dsp ssp diámetro 50,8mm

  • Baja expansión térmica: CTE ~0,52×10-⁶/°C (5-35°C), puede soportar temperaturas a largo plazo de hasta 1100°C y a corto plazo de hasta 1450°C.

2 Estabilidad mecánica y química

  • Alta resistencia: Resistencia a la flexión 2-3 veces superior a la del vidrio estándar, dureza Mohs 7.

  • Resistencia a la corrosión: Resistencia a los ácidos 30 veces superior a la cerámica, adecuada para entornos químicos agresivos.

3 Aislamiento eléctrico

  • Resistividad superior a 10¹⁸ Ω-cm con baja pérdida dieléctrica a altas frecuencias, ideal para circuitos de RF y sensores.

Aplicaciones primarias

1 Fabricación de semiconductores

  • Sustratos para sensores de imagen CMOS y embalaje de chips RFID, compatibles con el embalaje a nivel de oblea (WLP) para una mayor integración.

  • Sustratos de dispositivos MEMS (por ejemplo, sensores de presión, acelerómetros) que garantizan la estabilidad estructural de los microcomponentes.

2 Sistemas optoelectrónicos

  • Ventanas láser UV y acopladores de comunicación de fibra óptica, que aprovechan la excelente transmisión UV.

  • Ventanas ópticas aeroespaciales resistentes a la radiación y a los ciclos térmicos.

3 Medicina e investigación

  • Componentes ópticos de alta temperatura para sistemas de imagen endoscópica.

  • Ventanas de observación resistentes al calor para reactores de laboratorio.

4 Placas de ventana de cuarzo especializadas

  • Superficies de forma libre, aberturas asimétricas, grosor graduado.

  • Ventanas cortadas en ángulo para minimizar las pérdidas por reflexión.

  • Ventanas pasantes para la integración de multisensores.

  • Creación rápida de prototipos: 3-5 días para muestras, lotes pequeños de <500 unidades, revestimientos al vacío opcionales (AR o revestimientos reflectantes) para investigación y aplicaciones militares.

PREGUNTAS FRECUENTES

1 ¿Por qué elegir obleas de cuarzo de 2 pulgadas?
Las obleas de cuarzo de 2 pulgadas son sustratos semiconductores fabricados con dióxido de silicio (SiO₂) de gran pureza. Consiguen una planitud micrométrica mediante corte CNC de precisión y pulido láser. Estas obleas admiten la personalización de dimensiones y grosor (±0,02 mm) y cumplen las normas SEMI, lo que las hace ideales para optoelectrónica, MEMS y envasado de semiconductores.

2 ¿Cuáles son las principales aplicaciones de las obleas de cuarzo de 2 pulgadas?
Se utilizan principalmente en la fabricación de semiconductores (sensores de imagen CMOS, embalaje de chips RFID), ventanas de láser UV, acopladores de comunicación por fibra óptica y componentes ópticos aeroespaciales. Los tratamientos superficiales personalizados, como los revestimientos antirreflectantes, mejoran el rendimiento en sistemas de alta precisión.

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