Máquina de serra de fio diamantado de fio simples/múltiplo para processamento de bolacha semicondutora

A máquina de serra de fio diamantado de estação dupla de fio simples/múltiplo é um equipamento de precisão de alta qualidade concebido para processar materiais duros e frágeis. Utiliza a tecnologia de fio diamantado galvanizado e possui duas estações de trabalho independentes, permitindo uma comutação flexível entre o modo de precisão de fio único e o modo de produção em lote de vários fios.

A máquina de serra de fio diamantado de estação dupla de fio simples/múltiplo é um equipamento de precisão de alta qualidade concebido para processar materiais duros e frágeis. Utiliza a tecnologia de fio diamantado galvanizado e possui duas estações de trabalho independentes, permitindo uma comutação flexível entre o modo de precisão de fio único e o modo de produção em lote de vários fios.

Equipada com controlo de movimento de alta precisão, sistemas de tensão inteligentes e tecnologia de arrefecimento adaptável, é ideal para o corte de precisão de bolachas semicondutoras, bolachas de silício fotovoltaico e componentes ópticos.

Especificações técnicas

Parâmetro Especificação
Projeto Serra de fio simples/múltiplo
Tamanho máximo da peça de trabalho ø320×430mm
Diâmetro do revestimento do rolo principal ø210×450mm (5 rolos principais)
Velocidade de funcionamento do fio 1000 (MIX) m/min
Diâmetro do fio diamantado 0,2-0,37 mm
Capacidade de armazenamento da linha 20 km (diâmetro do fio de 0,25 mm)
Gama de espessuras de corte 1,5-80mm
Precisão de corte ±0,01mm
Curso de elevação vertical da estação de trabalho 350 mm
Método de corte A bancada de trabalho oscila para cima, o cordão diamantado permanece fixo
Velocidade de alimentação de corte 0,01-10mm/min
Estação de trabalho 2
Tanque de água 300L
Fluido de corte Fluido de corte anti-ferrugem de alta eficiência
Ângulo de oscilação ±8°
Velocidade de oscilação 0.83°/s
Tensão máxima de corte 100N (unidade mínima 0,1N)
Profundidade de corte 430 mm
Fonte de alimentação Trifásico de cinco fios AC380V/50Hz
Potência total ≤52kW
Motor principal 7,5×3kW
Motor de cablagem 0,75×2kW
Motor de balanço da bancada de trabalho 1,3×2kW
Motor de controlo da tensão 4,4×2kW
Motor de libertação e recolha de arame 5,5×2kW
Dimensões externas 2310×2660×2893mm
Peso da máquina 6000kg

Princípio de funcionamento

  1. Sistema de corte

    • O fio diamantado forma um movimento em circuito fechado acionado por servomotores (ajustável 0,5-3 m/s)

    • Tensão do fio monitorizada em tempo real através de sensores de alta precisão (20-50N)

    • A mesa de trabalho com acionamento por motor linear garante uma precisão de posicionamento de ±1 μm

  2. Coordenação de estação dupla

    • Estação A: Modo de fio único (diâmetro mínimo de 0,1 mm) para processamento de alta precisão

    • Estação B: Modo multi-fios (até 200 fios) para produção em massa

    • Ambas as estações podem funcionar em sincronia com a transferência automática de peças de trabalho através de um braço robótico

  3. Sistema de controlo

    • Arquitetura PLC + PC que suporta programação em código G

    • Sistema de posicionamento de visão artificial com repetibilidade de 5 μm

    • Monitorização em tempo real de mais de 20 parâmetros de processo, incluindo força de corte e temperatura

Caraterísticas principais

  1. Processamento de alta precisão

    • Precisão submicrónica com fuso de rolamento de ar e acionamento por motor linear

    • Controlo de tensão adaptável para um corte estável

    • Sistema de arrefecimento avançado para controlar a temperatura de processamento

  2. Modos de produção flexíveis

    • Modo de alta precisão de estação única para I&D e necessidades de pequenos lotes

    • Processamento paralelo de várias estações para uma elevada eficiência

    • Funcionalidade de troca rápida para diversos requisitos de produção

  3. Sistema de controlo inteligente

    • HMI avançada para um funcionamento fácil

    • Monitorização em tempo real e otimização automática dos parâmetros-chave

    • Diagnóstico remoto e capacidades de manutenção

  4. Design robusto e duradouro

    • Materiais de alta resistência e resistentes ao desgaste para componentes críticos

    • A estrutura modular facilita a manutenção

    • Sistemas de proteção abrangentes prolongam a vida útil do equipamento

Aplicações

  1. Fabrico de bolachas semicondutoras

    • Corte de bolachas de dispositivos de potência SiC/GaN para veículos eléctricos e 5G

    • Substratos de safira para LEDs e eletrónica de consumo

    • Corte de chips de sensores MEMS

  2. Produção fotovoltaica

    • Corte de bolachas de silício monocristalino de grandes dimensões

    • Processamento de células solares de heterojunção

    • Corte de bolachas de silício ultra-finas (<120 μm)

  3. Processamento de componentes ópticos

    • Elementos ópticos de vidro de quartzo

    • Cristais laser (YAG, safira)

    • Janelas ópticas de infravermelhos

  4. Processamento de materiais especiais

    • Substratos cerâmicos de AlN / Al₂O₃

    • Compósitos de carboneto de silício

    • Materiais ultra-duros (diamante CVD)

  5. Investigação e aplicações especiais

    • Prototipagem de novos materiais semicondutores

    • Desenvolvimento de microdispositivos

    • Preparação de amostras com formato personalizado

Vantagens técnicas

  • Qualidade de processamento estável com rendimento >99,5%

  • Adaptável a vários materiais duros/frágeis

  • Produtividade significativamente mais elevada do que os métodos convencionais

  • Fácil operação e baixo custo total de propriedade (TCO)

  • Soluções personalizadas disponíveis, incluindo versões para salas limpas e dimensões especiais

FAQ

P: Qual é a principal vantagem de uma serra de cordão diamantado de estação dupla?
A: Permite o corte de precisão simultâneo de um fio e o processamento de lotes de vários fios, aumentando a produtividade em 50% em comparação com as máquinas de modo único.

P: Que materiais podem ser cortados com serras de dupla estação com fio diamantado?
A: Materiais duros e frágeis, como silício, SiC, GaN, safira, quartzo e cerâmica, com precisão até ±0,01 mm.

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