Categoria: Ion Implantation Equipment
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Equipamento de implantação de iões
Sistema de implantação de iões Ai250 (feixe médio) à temperatura ambiente para processamento de bolachas de silício de 6-8 polegadas
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Equipamento de implantação de iões
Sistema de implantação de iões de alta temperatura Ai300 (feixe médio) para processamento de bolachas de 12 polegadas
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Equipamento de implantação de iões
Sistema de implantação de iões de alta temperatura de feixe médio Ai350HT para processamento de pastilhas de silício e SiC de 6/8 polegadas
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Equipamento de implantação de iões
Equipamento de implantação de iões Ai80HC (feixe elevado) de elevada eficiência para dopagem avançada de bolachas de silício
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