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ウエハー
8インチ高純度石英ウェーハ（200mm）精密センサーおよび光学用途向け
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イオン注入装置
Ai200HC.D 6/8インチシリコンウェーハ加工およびスマートカットアプリケーション用高ビームイオン注入装置
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イオン注入装置
Ai250 (ミディアムビーム) 6-8インチシリコンウェーハ用室温イオン注入装置
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イオン注入装置
Ai300（ミディアムビーム）12インチウェーハ用高温イオン注入装置
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イオン注入装置
Ai350HT 6/8インチSiCおよびシリコンウェーハ用中ビーム高温イオン注入システム
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ウェハー洗浄機
半導体ウェハー実装・前処理用セラミックディスク洗浄・ワックス塗布一体型装置
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研磨機
大型光学面用CNCロボット研磨機
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レーザー穴あけ機
超微細穴加工とマルチマテリアル対応の小型高精度レーザー微細穴加工機
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レーザー穴あけ機
カスタマイズ可能な超硬高温材料用レーザーマイクロドリルマシン
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半導体消耗品
半導体プラズマ装置用CVD炭化ケイ素（SiC）電極
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半導体消耗品
半導体プラズマエッチング用CVD炭化ケイ素SiCリング
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ワイヤーソー
サファイア/SiC材料加工用ダイヤモンドワイヤーマルチワイヤー・デュアルステーション切断機
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