12-tuumainen safiirikiekko on erittäin suorituskykyinen yksikiteinen alumiinioksidialusta (Al₂O₃), joka on suunniteltu kehittyneisiin puolijohde-, optoelektroniikka- ja korkean lämpötilan sovelluksiin. Se valmistetaan erittäin puhtaasta safiirikiteestä, jonka puhtausaste on ≥99,99%, mikä takaa erinomaisen rakenteellisen tasalaatuisuuden ja alhaisen vikatiheyden.
Safiiri on laajalti tunnettu poikkeuksellisesta mekaanisesta kovuudestaan, kemiallisesta vakaudestaan ja optisesta läpinäkyvyydestään, mikä tekee siitä yhden luotettavimmista substraattimateriaaleista äärimmäisissä ympäristöissä. 12-tuumainen formaatti edustaa huippuluokan teollisen mittakaavan kiekkokokoa, joka on suunniteltu LED-epitaksikerrosten ja kehittyneiden elektroniikkalaitteiden massatuotantoon.
Toisin kuin pii, safiiri on sähköinen eriste, minkä vuoksi se soveltuu erityisen hyvin sovelluksiin, joissa tarvitaan suurtaajuuseristystä, lämpöstabiilisuutta ja optista läpinäkyvyyttä.
Materiaalin ominaisuudet
Safiiri (α-Al₂O₃) on yksikiteinen materiaali, jolla on ainutlaatuinen yhdistelmä fysikaalisia ominaisuuksia:
- Erittäin korkea kovuus (Mohs 9)
- Erinomainen lämpöshokkien ja korkeiden lämpötilojen kestävyys
- Erinomainen kemiallinen kestävyys happoja ja emäksiä vastaan.
- Laaja optinen läpäisyalue (UV:stä keski-infrapuna-alueelle kiillotuksen jälkeen).
- Korkea dielektrinen lujuus ja sähköinen eristys
Näiden ominaisuuksien ansiosta safiirikiekot ovat ensisijainen valinta LEDien valmistuksessa, RF-laitteissa, laserjärjestelmissä ja ilmailu- ja avaruuselektroniikassa.
Kiillotus & pinnan laatu
Tämä tuote tukee sekä DSP- (Double-Side Polishing) että SSP-prosesseja (Single-Side Polishing), mikä takaa joustavuuden erilaisiin valmistusvaatimuksiin.
- Etupinta: (Ra < 0,3 nm): Epi-ready-kiillotus (Ra < 0,3 nm).
- Takapinta: Kiillotettu tai puolikiillotettu spesifikaatiosta riippuen.
- Pinnan puhtaus: Luokan 100 puhdastilakäsittely
- Kontaminaation hallinta: erittäin alhaiset hiukkas- ja metallijäämätasot.
Nämä pinnan ominaisuudet ovat kriittisiä epitaksiaalisissa kasvuprosesseissa, kuten MOCVD-, MBE- ja PECVD-menetelmissä, joissa atomitason pinnan tasaisuus vaikuttaa suoraan laitteen suorituskykyyn.
Tekniset tiedot
| Parametri | Tekniset tiedot |
|---|---|
| Materiaali | Yksikiteinen safiiri (Al₂O₃ ≥ 99,99%). |
| Halkaisija | 2” - 12” (muokattavissa) |
| 12” paksuus | 3000 ± 20 μm |
| Orientaatio | C-taso (0001), A-taso, M-taso, R-taso. |
| DSP / SSP | Saatavilla |
| OF Orientation | a-taso 0 ± 0,3° |
| TTV | ≤ 15 μm (12 tuumaa) |
| BOW | -25 ~ 0 μm (12 tuumaa) |
| Warp | ≤ 30 μm |
| Etupinta | Epi-valmis (Ra < 0,3 nm) |
| Takapinta | Laipoitettu (Ra 0,6-1,2 μm) |
| Pakkaus | Puhdastilan tyhjiöpakkaukset |
Tärkeimmät ominaisuudet
- Erittäin suuri 12-tuumainen puolijohdekäyttöön tarkoitettu safiirialusta
- Erittäin puhdas yksikiteinen Al₂O₃ (≥99,99%)
- Tukee DSP- ja SSP-kiillotusvaihtoehtoja
- Useita kiteellisiä orientaatioita saatavilla
- Erinomainen lämmönkestävyys ja mekaaninen kestävyys
- Erittäin vähäisen kontaminaation puhdastilakäsittely
- Soveltuu huippuluokan epitaksikasvatukseen ja tutkimussovelluksiin.
Sovellukset
LED- ja optoelektroniikan valmistus
C-tason safiirikiekkoja käytetään laajalti substraatteina GaN-pohjaisten LEDien tuotannossa, mukaan lukien siniset, valkoiset, UV- ja syvä-UV-laitteet.
Puolijohteiden epitaksiaalinen kasvu
Tukee kehittyneitä epitaksiaaliprosesseja, kuten:
- MOCVD (metalli-orgaaninen kemiallinen höyrystys)
- MBE (Molecular Beam Epitaxy)
- PECVD (Plasma-Enhanced CVD)
RF- ja suurtaajuuslaitteet
Käytetään heterojunktion bipolaaritransistoreissa (HBT), laserdiodeissa (LD) ja suurtaajuusviestintäkomponenteissa.
UV- ja lasersovellukset
Safiirialustat soveltuvat UV-ilmaisimiin, laserikkunoihin ja fotonisiin integrointijärjestelmiin.
Korkean lämpötilan elektroniikka
Käytetään lämmönkestävinä eristysalustoina suuritehoisissa ja korkeataajuisissa ympäristöissä.
Mukauttamisvaihtoehdot
Tarjoamme joustavia räätälöintipalveluja tutkimuksen ja teollisen tuotannon tarpeisiin:
- Halkaisija: 1”, 2”, 3”, 4”, 6”, 8”, 12”.”
- Kristallien suuntautuminen: Taso: C-taso / A-taso / M-taso / R-taso.
- Off-kulman säätö käytettävissä
- DSP / SSP pintakäsittelyvaihtoehdot
- Paksuuden ja TTV:n optimointi
- Reunojen muotoilu ja viistäminen
- Räätälöidyt pakkaukset (yksittäinen kiekko / kasetti)
Jokainen kiekko on jäljitettävissä yksilöllisellä sarjanumerolla laadunvalvonnan ja tuotannon jäljitettävyyden varmistamiseksi.
FAQ
Q1: Mikä on safiirikiekkojen tärkein etu piikiekkoihin verrattuna?
Safiiri on läpinäkyvää ja sähköisesti eristävää, joten se sopii erinomaisesti LED- ja optisiin sovelluksiin, kun taas piitä käytetään pääasiassa elektronisissa piireissä.
Q2: Miksi 12-tuumainen safiirikiekko on tärkeä?
Se tukee laajamittaista teollista LED- ja puolijohdetuotantoa, parantaa tehokkuutta ja alentaa yksikkökohtaisia kustannuksia massatuotannossa.
Q3: Mitä DSP ja SSP tarkoittavat?
DSP tarkoittaa kaksoispuolen kiillotusta, kun taas SSP tarkoittaa yhden puolen kiillotusta. Nämä vaikuttavat pinnan laatuun ja sovelluskelpoisuuteen.
Kysymys 4: Voidaanko safiirikiekkoja käyttää suoraan laitteisiin?
Niitä käytetään substraatteina, ja ne vaativat epitaksiaalista kasvua tai lisäkäsittelyä ennen laitteen lopullista valmistusta.
Q5: Miksi safiiria käytetään LEDeissä?
Koska se tarjoaa vakaan ristikkorakenteen GaN:n kasvulle ja erinomaisen lämpö- ja optisen suorituskyvyn.
Arviot
Tuotearvioita ei vielä ole.