Dvanáctipalcový safírový plátek je vysoce výkonný monokrystalický substrát z oxidu hlinitého (Al₂O₃) určený pro pokročilé polovodičové, optoelektronické a vysokoteplotní aplikace. Vyrábí se z ultračistého krystalu safíru s úrovní čistoty ≥99,99%, což zajišťuje vynikající strukturní uniformitu a nízkou hustotu defektů.
Safír je všeobecně uznáván pro svou výjimečnou mechanickou tvrdost, chemickou stabilitu a optickou průhlednost, což z něj činí jeden z nejspolehlivějších substrátových materiálů pro extrémní prostředí. Dvanáctipalcový formát představuje špičkovou průmyslovou velikost destiček určenou pro hromadnou výrobu epitaxiálních vrstev LED a pokročilých elektronických zařízení.
Na rozdíl od křemíku je safír elektrickým izolantem, a proto je obzvláště vhodný pro aplikace vyžadující vysokofrekvenční izolaci, tepelnou stabilitu a optickou průhlednost.
Charakteristika materiálu
Safír (α-Al₂O₃) je monokrystalický materiál s jedinečnou kombinací fyzikálních vlastností:
- Extrémně vysoká tvrdost (Mohs 9)
- Vynikající odolnost vůči teplotním šokům a vysokým teplotám.
- Vynikající chemická inertnost vůči kyselinám a zásadám
- Široký rozsah optické propustnosti (od UV až po střední infračervenou oblast po vyleštění)
- Vysoká dielektrická pevnost a elektrická izolace
Díky těmto vlastnostem jsou safírové destičky preferovanou volbou při výrobě LED, VF zařízení, laserových systémů a elektroniky pro letecký průmysl.
Leštění a kvalita povrchu
Tento produkt podporuje procesy DSP (oboustranné leštění) i SSP (jednostranné leštění), což zajišťuje flexibilitu pro různé výrobní požadavky.
- Přední plocha: Přední strana: leštění Epi-ready (Ra < 0,3 nm)
- Zadní povrch: Lapped nebo pololeštěné v závislosti na specifikaci
- Čistota povrchu: Zpracování v čistých prostorách třídy 100
- Kontrola kontaminace: velmi nízké hladiny částic a zbytků kovů
Tyto vlastnosti povrchu jsou rozhodující pro epitaxní růstové procesy, jako jsou MOCVD, MBE a PECVD, kde rovnoměrnost povrchu na atomární úrovni přímo ovlivňuje výkon zařízení.
Technické specifikace
| Parametr | Specifikace |
|---|---|
| Materiál | Monokrystalický safír (Al₂O₃ ≥ 99,99%) |
| Průměr | 2” - 12” (lze přizpůsobit) |
| Tloušťka 12” | 3000 ± 20 μm |
| Orientace | rovina C (0001), rovina A, rovina M, rovina R |
| DSP / SSP | Dostupné na |
| Orientace OF | rovina a 0 ± 0,3° |
| TTV | ≤ 15 μm (12 palců) |
| BOW | -25 ~ 0 μm (12 palců) |
| Warp | ≤ 30 μm |
| Přední povrch | Epi-ready (Ra < 0,3 nm) |
| Zadní povrch | Lapped (Ra 0,6-1,2 μm) |
| Balení | Vakuové balení v čistých prostorách |
Klíčové vlastnosti
- Velmi velký 12palcový safírový substrát pro polovodiče
- Vysoce čistý monokrystal Al₂O₃ (≥99,99%)
- Podporuje možnosti leštění DSP a SSP
- K dispozici je více krystalografických orientací
- Vynikající tepelná stabilita a mechanická odolnost
- Zpracování v čistých prostorách s velmi nízkou kontaminací
- Vhodné pro špičkový epitaxní růst a výzkumné aplikace
Aplikace
Výroba LED a optoelektroniky
Safírové destičky v rovině C se široce používají jako substráty pro výrobu LED na bázi GaN, včetně modrých, bílých, UV a hlubokých UV zařízení.
Epitaxní růst polovodičů
Podporuje pokročilé epitaxní procesy, jako jsou:
- MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)
- MBE (Molecular Beam Epitaxy)
- PECVD (CVD s plazmovým zesílením)
RF a vysokofrekvenční zařízení
Používá se v heteropřechodových bipolárních tranzistorech (HBT), laserových diodách (LD) a vysokofrekvenčních komunikačních součástkách.
UV a laserové aplikace
Safírové substráty jsou vhodné pro UV detektory, laserová okna a fotonické integrační systémy.
Vysokoteplotní elektronika
Používají se jako tepelně odolné izolační substráty ve vysoce výkonných a vysokofrekvenčních prostředích.
Možnosti přizpůsobení
Poskytujeme flexibilní služby přizpůsobení pro potřeby výzkumu a průmyslové výroby:
- Průměr: 1”, 2”, 3”, 4”, 6”, 8”, 12”.”
- Orientace na krystaly: C-rovina / A-rovina / M-rovina / R-rovina
- Možnost nastavení úhlu
- Možnosti povrchové úpravy DSP / SSP
- Optimalizace tloušťky a TTV
- Tvarování a zkosení hran
- Vlastní balení (jednotlivé plátky / kazety)
Každý plátek je sledovatelný pomocí jedinečného sériového čísla, aby byla zajištěna kontrola kvality a sledovatelnost výroby.
ČASTO KLADENÉ DOTAZY
Otázka 1: Jaká je hlavní výhoda safírových destiček oproti křemíkovým?
Safír je průhledný a elektricky izolující, takže je ideální pro LED a optické aplikace, zatímco křemík se používá hlavně pro elektronické obvody.
Otázka 2: Proč je 12palcový safírový plátek důležitý?
Podporuje rozsáhlou průmyslovou výrobu LED a polovodičů, zlepšuje efektivitu a snižuje náklady na jednotku při hromadné výrobě.
Otázka 3: Co znamená DSP a SSP?
DSP znamená oboustranné leštění, zatímco SSP znamená jednostranné leštění. Ty ovlivňují kvalitu povrchu a vhodnost použití.
Otázka 4: Lze safírové destičky použít přímo pro zařízení?
Používají se jako substráty a před finální výrobou zařízení vyžadují epitaxní růst nebo další zpracování.
Otázka 5: Proč se safír používá v LED diodách?
Poskytuje totiž stabilní mřížkovou strukturu pro růst GaN a vynikající tepelné a optické vlastnosti.
Recenze
Zatím zde nejsou žádné recenze.