Maßgefertigter Ring aus geschmolzenem Quarz mit radialen Stützrippen

ZMSH fertigt maßgeschneiderte Halteringe aus Quarzglas für Halbleiterprozessanlagen, Wafer-Wärmebehandlungssysteme und andere hochtemperaturbehaftete, reinheitsempfindliche Anwendungen.

Das Bauteil besteht aus einem großen, ringförmigen Quarzkörper mit einer zentralen Öffnung und mehreren radialen Stützrippen. Die gerippte Struktur dient dazu, die Steifigkeit zu verbessern und mechanische Belastungen zu verteilen, während gleichzeitig eine offene Innenkonfiguration erhalten bleibt. Außendurchmesser, Innendurchmesser, Gesamtdicke, Anordnung der Rippen, Befestigungslöcher und Positionierungsmerkmale können gemäß den Zeichnungen des Kunden gefertigt werden.

Jede Leuchte wird vor der Fertigung hinsichtlich ihrer Betriebstemperatur, ihres Temperaturzyklus, ihrer Belastungsbedingungen, ihrer Anbindung an andere Geräte sowie der Reinheitsanforderungen geprüft.

Produktspezifikationen

Artikel	Verfügbare Spezifikationen
Produktname	Befestigungsring aus geschmolzenem Quarz
Marke	ZMSH
Material	Quarzglas
Struktur	Ring mit radialen Stützrippen
Außendurchmesser	Maßgeschneidert
Innendurchmesser	Maßgeschneidert
Gesamtdicke	Maßgeschneidert
Anzahl der Rippen	Gemäß Kundenzeichnung
Rippenabmessungen	Breite, Höhe und Position individuell anpassbar
Oberflächenbeschaffenheit	Transparent, durchscheinend oder matt
Kantenbearbeitung	geschliffen, gefast, abgerundet oder poliert
Weitere Funktionen	Befestigungslöcher, Positionierungslöcher, Schlitze, Nuten und Stufen
Ebenheit	Gemäß Zeichnung und Antrag
Maßtoleranz	Je nach Bauteilgröße und technischen Anforderungen
Fertigungsverfahren	Quarzformung, Schweißen, Schleifen und Präzisionsbearbeitung
Prüfung	Maß-, Sicht- und Sauberkeitsprüfung
Verpackung	Einzelverpackung oder saubere Verpackung
Mindestbestellmenge	In der Regel 50 Stück; Entwicklungsmengen vorbehaltlich einer Bestätigung
Lieferzeit	Etwa 2–4 Wochen
Zahlungsbedingungen	T/T
Herkunftsort	Shanghai, China

Die endgültigen Spezifikationen werden nach Prüfung der Bauteilzeichnung und der Betriebsbedingungen festgelegt.

Wichtigste Produktmerkmale

Ringförmige Struktur mit radialer Verstärkung

Die große zentrale Öffnung und die Anordnung der radialen Rippen bieten eine praktische Konstruktion für Gerätehalterungen, die einen offenen Prozessbereich erfordern. Anzahl, Breite, Höhe und Abstand der Rippen lassen sich entsprechend den erforderlichen Auflagepunkten und der Lastverteilung anpassen.

Die tatsächliche mechanische Leistung hängt von den Abmessungen der Bauteile, der Befestigungsart, der Betriebstemperatur und der aufgebrachten Belastung ab.

Geringe Wärmeausdehnung

Quarzglas weist einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf, wodurch die Vorrichtung ihre Formstabilität während der Aufheiz- und Abkühlzyklen beibehält. Diese Eigenschaft ist bei thermischen Prozessen in der Halbleiterindustrie von Nutzen, bei denen es zu wiederholten Temperaturschwankungen kommen kann.

Verträglichkeit mit Hochtemperaturprozessen

Quarzglas findet breite Anwendung in Halbleiteröfen und Anlagen zur thermischen Bearbeitung, da es bei erhöhten Temperaturen eine gute Stabilität aufweist.

Die maximal zulässige Betriebstemperatur hängt von der Quarzsorte, der Geometrie der Halterung, der aufgebrachten Belastung, der Prozessatmosphäre und dem Temperaturzyklus ab.

Chemische Beständigkeit

Geschmolzenes Quarz ist beständig gegen viele Säuren und Prozesschemikalien, die in Halbleiter- und Laborumgebungen zum Einsatz kommen. Die chemische Verträglichkeit sollte dennoch anhand der tatsächlich verwendeten Prozessgase, Flüssigkeiten und Reinigungschemikalien überprüft werden.

Geringes Kontaminationspotenzial

Quarz wird häufig für Halbleiterausrüstung ausgewählt, da es in kontrollierter Materialqualität und mit sauberen Oberflächen geliefert werden kann. Reinigungsverfahren und Verpackungsstandard können je nach dem vorgesehenen Prozess festgelegt werden.

Anpassung anhand von Zeichnungen

Im Gegensatz zu herkömmlichen Quarzringen kann diese Halterung passgenau an die Schnittstelle des Geräts angepasst gefertigt werden. Der Ringkörper, die Rippen, Bohrungen, Schlitze, Kanten und die Oberflächenbeschaffenheit können vollständig an die Vorgaben des Kunden angepasst werden.

Individuelle Gestaltungsmöglichkeiten

Gestaltungsbereich	Anpassbare Parameter
Ringkörper	Außendurchmesser, Innendurchmesser und Gesamtdicke
Radiale Rippen	Anzahl, Breite, Höhe, Länge, Winkel und Abstand
Rippenverbindungen	Verbindungsposition, Übergangsradius und Verbindungsgeometrie
Befestigungsschnittstelle	Schraubenlöcher, Passlöcher, Schlitze und Kerben
Auflagefläche	Aufstandsfläche, Stufenhöhe und Lage der Auflagepunkte
Maßkontrolle	Ebenheit, Rundheit, Konzentrizität und Lagetoleranz
Kantengestaltung	Fase, Abschrägung, Rundung oder polierte Kante
Oberflächenbeschaffenheit	Transparent, durchscheinend, geschliffen oder mattiert
Quarzmaterial	Quarzqualität entsprechend den Prozessanforderungen ausgewählt
Reinigung	Standardreinigung oder projektspezifische Reinigungsanforderungen
Verpackung	Einzelschutz, saubere Verpackung oder Exportverpackung

Scharfe Innenecken und abrupte Wanddickenänderungen sollten nach Möglichkeit vermieden werden, da sie beim Erwärmen, bei der Handhabung oder bei der Montage zu einer erhöhten lokalen Belastung führen können.

Typische Anwendungen

Maßgefertigte Halteringe aus Quarzglas können für den Einsatz in folgenden Bereichen geprüft werden:

• Halbleiter-Prozessanlagen
• Wafer-Wärmebehandlungsanlagen
• Diffusionsöfen
• Oxidationsöfen
• Anlagen zur chemischen Gasphasenabscheidung
• Quarzofen-Baugruppen
• Systeme zur Halterung und Positionierung von Wafern
• Hochtemperatur-Prozesskammern
• Laborgeräte für die thermische Verarbeitung
• Optische und elektronische Materialbearbeitung
• Maßgeschneiderte Vorrichtungen für die Halbleiterfertigung

Die Eignung muss unter Berücksichtigung der Betriebstemperatur, der Prozessatmosphäre, der zu tragenden Last, der Temperaturwechsel und der Anlagenstruktur überprüft werden.

Herstellungsprozess

1. Prüfung der Zeichnung und des Antrags

Vor der Angebotserstellung werden die Bauteilzeichnung, die Maße, die Anordnung der Rippen, die Toleranzen und die Betriebsbedingungen geprüft. In dieser Phase lassen sich Bereiche mit hoher thermischer oder mechanischer Beanspruchung identifizieren.

2. Material- und Verfahrensauswahl

Die Wahl der Quarzsorte und des Herstellungsverfahrens richtet sich nach der Größe der Halterung, ihrer Struktur und den Anforderungen an die Reinheit.

Je nach Konstruktion kann die Fertigung Quarzformung, Schweißmontage, Schleifen und Präzisionsbearbeitung umfassen.

3. Stahlbau

Der Ringkörper, die Radialrippen und die zusätzlichen Befestigungselemente werden gemäß der genehmigten Zeichnung gefertigt. Die Position der Rippen und die Anschlussgeometrie werden so gesteuert, dass die erforderliche Struktur gewährleistet ist.

4. Kanten- und Oberflächenbearbeitung

Kanten können geschliffen, abgeschrägt, abgerundet oder poliert werden. Je nach Anwendungszweck kann die Oberfläche transparent, durchscheinend oder matt sein.

5. Prüfung und Verpackung

Die fertigen Bauteile werden vor der Reinigung und der Schutzverpackung anhand der vereinbarten Zeichnung und der Abnahmekriterien geprüft.

Qualitätsprüfung

Zu den verfügbaren Prüfpunkten gehören:

• Außendurchmesser
• Innendurchmesser
• Gesamtdicke
• Rundheit des Rings
• Rundlaufgenauigkeit
• Ebenheit
• Anzahl und Lage der Rippen
• Rippenbreite und -höhe
• Bohrungsdurchmesser und -position
• Abmessungen von Nut und Feder
• Randbedingung
• Oberflächenkratzer
• Absplitterungen und Risse
• Aussehen der Schweißnaht
• Optische Sauberkeit
• Verpackungszustand

Maßprüfberichte, Materialunterlagen und Produktfotos können bereitgestellt werden, sofern dies in den Auftragsanforderungen vorgesehen ist.

Für die Angebotserstellung erforderliche Angaben

Für ein genaues Angebot und eine Prüfung der Herstellbarkeit bitten wir Sie um folgende Angaben:

Erforderliche Angaben	Beschreibung
Technische Zeichnung	PDF, DXF, DWG, STEP oder ein anderes verfügbares Format
Hauptabmessungen	Außendurchmesser, Innendurchmesser und Gesamtdicke
Rippenstruktur	Anzahl, Breite, Höhe, Länge und Winkelposition der Rippen
Befestigungsmerkmale	Angaben zu Bohrungen, Schlitzen, Kerben und Positionierungspunkten
Maßtoleranzen	Kritische Maße und Lagetoleranzen
Geometrische Toleranzen	Ebenheit, Rundheit, Konzentrizität und Parallelität
Anforderungen an die Oberfläche	Transparent, durchscheinend, geschliffen oder mattiert
Kantenbearbeitung	Fase, Radius, Abschrägung oder polierte Kante
Betriebstemperatur	Kontinuierliche und Spitzenprozesstemperatur
Temperaturzyklus	Heiz- und Kühlbedingungen
Ladebedingungen	Tragkraft, Belastungsrichtung und Auflagepunkte
Prozessumgebung	Gas-, chemische, Vakuum- oder atmosphärische Bedingungen
Gerätetyp	Ofen, Abscheidungsanlage, Prozesskammer oder andere Anlagen
Bestellmenge	Probemenge und geschätzter Chargenbedarf
Qualitätsanforderungen	Prüfbericht, Materialzertifikat und Verpackungsnorm

Die Angabe der Betriebsbedingungen zusätzlich zur Zeichnung hilft bei der Beurteilung, ob die Anordnung der Rippen, die Wandstärke und die Verbindungsstruktur für den vorgesehenen Prozess geeignet sind.

Warum sollten Sie sich für maßgefertigte Quarzkomponenten von ZMSH entscheiden?

ZMSH unterstützt die Fertigung von Quarzbauteilen nach Zeichnung für Halbleiterausrüstung, Laborsysteme und industrielle Hochtemperaturanwendungen.

Unser Sortiment an maßgefertigten Quarzprodukten umfasst:

• Quarz-Befestigungsringe
• Quarz-Stützringe
• Quarz-Lehren
• Quarzplatten und -scheiben
• Quarzwafer-Träger
• Quarzboote
• Quarzofenrohre
• Quarzflansche
• Quarzkammern
• Quarz-Schweißbaugruppen
• Sonstige kundenspezifische Halbleiter-Quarz-Komponenten

Im Rahmen des Angebotsverfahrens können wir die Zeichnung, den Fertigungsablauf, die Maßanforderungen, die Prüfverfahren und die Verpackungsanforderungen prüfen.

Häufig gestellte Fragen

Können der Außen- und der Innendurchmesser individuell angepasst werden?

Ja. Außendurchmesser, Innendurchmesser, Wandstärke und die gesamte Ringgeometrie können gemäß der Kundenzeichnung und der Anbindung an die Anlage gefertigt werden.

Können die Anzahl und die Abmessungen der radialen Rippen geändert werden?

Ja. Die Anzahl, Breite, Höhe, der Abstand und die Winkelposition der Rippen können individuell angepasst werden. Die Konstruktion sollte unter Berücksichtigung der zu erwartenden Belastung und der Betriebstemperatur geprüft werden.

Können Sie die Vorrichtung anhand eines physischen Musters fertigen?

Eine Nachbildung anhand eines Musters ist unter Umständen möglich. Es wird jedoch dringend empfohlen, eine technische Zeichnung zu erstellen, um kritische Maße, Toleranzen und die Positionen der Rippen genau festzulegen.

Wird die Halterung aus einem Stück gefertigt oder als Schweißkonstruktion hergestellt?

Das Fertigungsverfahren hängt von der Ringgröße, der Rippenstruktur, den Toleranzen und der Fertigungsdurchführbarkeit ab. Geformte, bearbeitete und geschweißte Konstruktionen können im Rahmen der Zeichnungsprüfung bewertet werden.