Op maat gemaakte ring voor een armatuur van gesmolten kwarts met radiale steunribben

ZMSH produceert op maat gemaakte bevestigingsringen van gesmolten kwarts voor halfgeleiderprocesapparatuur, warmtebehandelingssystemen voor wafers en andere toepassingen waarbij hoge temperaturen en een hoge mate van reinheid vereist zijn.

Het onderdeel bestaat uit een groot ringvormig kwartslichaam met een opening in het midden en meerdere radiale steunribben. De geribbelde structuur is ontworpen om de stijfheid te vergroten en mechanische belastingen te verdelen, terwijl de interne configuratie open blijft. De buitendiameter, binnendiameter, totale dikte, ribindeling, bevestigingsgaten en positioneringskenmerken kunnen worden vervaardigd volgens de tekeningen van de klant.

Elk onderdeel wordt vóór de productie beoordeeld op basis van de bedrijfstemperatuur, de thermische cyclus, de belastingsomstandigheden, de aansluiting op andere apparatuur en de reinheidseisen.

Productspecificaties

Item	Beschikbare specificaties
Productnaam	Armatuurring van gesmolten kwarts
Merk	ZMSH
Materiaal	Gesmolten kwarts
Structuur	Ringvormige ring met radiale steunribben
Buitendiameter	Op maat gemaakt
Binnendiameter	Op maat gemaakt
Totale dikte	Op maat gemaakt
Aantal ribben	Volgens de tekening van de klant
Afmetingen van de ribben	Breedte, hoogte en positie naar wens aan te passen
Toestand van het oppervlak	Doorzichtig, doorschijnend of mat
Randafwerking	Geslepen, afgeschuind, afgerond of gepolijst
Extra functies	Bevestigingsgaten, positioneringsgaten, sleuven, groeven en treden
Vlakheid	Volgens tekening en aanvraag
Maattolerantie	Afhankelijk van de afmetingen van de onderdelen en de technische vereisten
Productiemethoden	Kwartsbewerking, lassen, slijpen en precisiebewerking
Inspectie	Controle van afmetingen, uiterlijk en reinheid
Verpakking	Individuele beschermende of schone verpakking
Minimale bestelhoeveelheid	Normaal gesproken 50 stuks; ontwikkelingshoeveelheden onder voorbehoud van bevestiging
Levertijd	Ongeveer 2–4 weken
Betalingsvoorwaarden	T/T
Plaats van herkomst	Shanghai, China

De definitieve specificaties worden vastgesteld na bestudering van de componenttekening en de bedrijfsomstandigheden.

Belangrijkste productkenmerken

Ringvormige structuur met radiale versterking

De grote centrale opening en de radiale ribbenopstelling zorgen voor een praktische constructie voor apparatuurbevestigingen waarbij een open procesruimte nodig is. Het aantal ribben, de breedte, de hoogte en de onderlinge afstand kunnen worden aangepast aan de vereiste steunpunten en de gewenste belastingsverdeling.

De daadwerkelijke mechanische prestaties zijn afhankelijk van de afmetingen van de onderdelen, de bevestigingswijze, de bedrijfstemperatuur en de uitgeoefende belasting.

Lage thermische uitzetting

Gesmolten kwarts heeft een lage thermische uitzettingscoëfficiënt, waardoor de armatuur zijn vormvastheid behoudt tijdens verwarmings- en afkoelingscycli. Deze eigenschap is nuttig bij thermische processen in de halfgeleiderindustrie, waar herhaaldelijke temperatuurschommelingen kunnen optreden.

Geschiktheid voor processen bij hoge temperaturen

Gesmolten kwarts wordt op grote schaal gebruikt in halfgeleiderovens en apparatuur voor thermische bewerking, omdat het bij hoge temperaturen een goede stabiliteit behoudt.

De maximale geschikte bedrijfstemperatuur is afhankelijk van de kwartssoort, de geometrie van de houder, de uitgeoefende belasting, de procesatmosfeer en de thermische cyclus.

Chemische weerstand

Gesmolten kwarts is bestand tegen talrijke zuren en proceschemicaliën die in halfgeleider- en laboratoriumomgevingen worden gebruikt. De chemische compatibiliteit moet echter worden getoetst aan de hand van de daadwerkelijk gebruikte procesgassen, vloeistoffen en reinigingsmiddelen.

Laag verontreinigingsrisico

Kwarts wordt vaak gekozen voor halfgeleiderapparatuur omdat het kan worden geleverd met een gecontroleerde materiaalkwaliteit en een schoon oppervlak. De reinigingsmethode en het verpakkingsniveau kunnen worden afgestemd op het beoogde proces.

Aanpassing op basis van tekeningen

In tegenstelling tot standaard kwartsringen kan deze houder rond de interface van de apparatuur worden vervaardigd. Het ringlichaam, de ribben, de gaten, de sleuven, de randen en de oppervlakteafwerking kunnen allemaal worden aangepast aan het ontwerp van de klant.

Opties voor maatwerkontwerpen

Ontwerpgebied	Aanpasbare parameters
Ringlichaam	Buitendiameter, binnendiameter en totale dikte
Radiale ribben	Aantal, breedte, hoogte, lengte, hoek en afstand
Ribverbindingen	Aansluitpositie, overgangsradius en aansluitgeometrie
Bevestigingsinterface	Schroefgaten, positioneringsgaten, sleuven en inkepingen
Draagvlak	Contactoppervlak, tredehoogte en plaats van het steunpunt
Maatcontrole	Vlakheid, rondheid, concentriciteit en positietolerantie
Randontwerp	Afschuining, schuine kant, afronding of gepolijste rand
Toestand van het oppervlak	Doorzichtig, doorschijnend, geslepen of mat
Kwarts	Kwarts van een kwaliteit die is geselecteerd op basis van de procesvereisten
Schoonmaken	Standaardreinigingsvereisten of projectspecifieke reinigingsvereisten
Verpakking	Individuele bescherming, schone verpakking of exportverpakking

Scherpe binnenhoeken en abrupte dikteveranderingen moeten waar mogelijk worden vermeden, omdat deze tijdens het verwarmen, hanteren of monteren tot een toename van de lokale spanning kunnen leiden.

Typische toepassingen

Op maat gemaakte bevestigingsringen van gesmolten kwarts kunnen worden beoordeeld voor gebruik in:

• Apparatuur voor halfgeleiderproductieprocessen
• Systemen voor de warmtebehandeling van wafers
• Diffusieovens
• Oxidatieovens
• Apparatuur voor chemische dampafzetting
• Kwartsovenopstellingen
• Systemen voor het ondersteunen en positioneren van wafers
• Proceskamers voor hoge temperaturen
• Apparatuur voor thermische bewerking in laboratoria
• Optische en elektronische materiaalbewerking
• Op maat gemaakte productietools voor halfgeleiders

De geschiktheid moet worden gecontroleerd op basis van de bedrijfstemperatuur, de procesatmosfeer, de te dragen belasting, de thermische cyclus en de constructie van de apparatuur.

Productieproces

1. Beoordeling van tekeningen en aanvragen

De componenttekening, afmetingen, ribbenopstelling, toleranties en bedrijfsomstandigheden worden vóór het opstellen van de offerte gecontroleerd. In deze fase kunnen gebieden met hoge thermische of mechanische belasting worden geïdentificeerd.

2. Keuze van materiaal en proces

De kwaliteit van het kwarts en het productieproces worden gekozen op basis van de afmetingen, de structuur en de reinheidseisen van de opspanning.

Afhankelijk van het ontwerp kan de productie bestaan uit het vormen van kwarts, het lassen van onderdelen, slijpen en precisiebewerking.

3. Constructiebouw

Het ringvormige lichaam, de radiale ribben en de aanvullende bevestigingselementen worden vervaardigd volgens de goedgekeurde tekening. De positie van de ribben en de geometrie van de verbindingen worden gecontroleerd om de vereiste structuur te waarborgen.

4. Afwerking van randen en oppervlakken

Randen kunnen worden geslepen, afgeschuind, afgerond of gepolijst. De oppervlakteafwerking kan, afhankelijk van de toepassing, transparant, doorschijnend of mat zijn.

5. Controle en verpakking

De afgewerkte onderdelen worden gecontroleerd aan de hand van de overeengekomen tekening en de acceptatiecriteria, voordat ze worden gereinigd en in beschermende verpakking worden verpakt.

Kwaliteitscontrole

Tot de beschikbare inspectiepunten behoren:

• Buitendiameter
• Binnendiameter
• Totale dikte
• Rondheid van de ring
• Concentriciteit
• Vlakheid
• Aantal en positie van de ribben
• Breedte en hoogte van de ribben
• Diameter en positie van het gat
• Afmetingen van sleuven en groeven
• Randvoorwaarde
• Krasjes op het oppervlak
• Schilfers en scheuren
• Uiterlijk van de lasnaad
• Visuele netheid
• Verpakkingsstaat

Maatinspectierapporten, materiaaldocumentatie en productfoto’s kunnen worden verstrekt indien dit in de bestelvoorwaarden is opgenomen.

Benodigde gegevens voor een offerte

Voor een nauwkeurige offerte en een beoordeling van de produceerbaarheid verzoeken wij u het volgende te verstrekken:

Vereiste gegevens	Beschrijving
Technische tekening	PDF, DXF, DWG, STEP of een ander beschikbaar formaat
Belangrijkste afmetingen	Buitendiameter, binnendiameter en totale dikte
Ribstructuur	Aantal ribben, breedte, hoogte, lengte en hoekpositie
Montagemogelijkheden	Details van gaten, sleuven, inkepingen en positioneringspunten
Maattoleranties	Kritische afmetingen en positietoleranties
Geometrische toleranties	Vlakheid, rondheid, concentriciteit en parallelliteit
Vereisten voor het oppervlak	Doorzichtig, doorschijnend, geslepen of mat
Randafwerking	Afschuining, afronding, schuine kant of gepolijste rand
Bedrijfstemperatuur	Continue en piekproces temperatuur
Thermische cyclus	Verwarmings- en koelingsomstandigheden
Laadvoorwaarden	Draagvermogen, belastingsrichting en contactpunten
Procesomgeving	Gas-, chemische, vacuüm- of atmosferische omstandigheden
Type apparatuur	Oven, afzettingssysteem, proceskamer of andere apparatuur
Bestelhoeveelheid	Proefhoeveelheid en geschatte vraag per batch
Kwaliteitseisen	Inspectierapport, materiaalcertificaat en verpakkingsnorm

Door naast de tekening ook de bedrijfsomstandigheden te vermelden, kan beter worden beoordeeld of de ribindeling, de wanddikte en de verbindingsconstructie geschikt zijn voor het beoogde proces.

Waarom kiezen voor op maat gemaakte kwartscomponenten van ZMSH?

ZMSH ondersteunt de productie van op tekeningen gebaseerde kwartscomponenten voor halfgeleiderapparatuur, laboratoriumsystemen en industriële toepassingen bij hoge temperaturen.

Ons assortiment op maat gemaakte kwartsproducten omvat:

• Kwartsbevestigingsringen
• Kwarts-steunringen
• Kwartsmalletjes
• Kwartsplaten en -schijven
• Kwartswaferhouders
• Kwarts boten
• Kwartsovenbuizen
• Kwartsflenzen
• Kwartskamers
• Assemblages met kwartslasverbindingen
• Overige op maat gemaakte halfgeleidercomponenten van kwarts

In het kader van het offerteproces kunnen we de tekening, het productieproces, de maatvoeringseisen, de inspectiemethode en de verpakkingsvereisten beoordelen.

Veelgestelde vragen

Kunnen de buiten- en binnendiameters op maat worden gemaakt?

Ja. De buitendiameter, de binnendiameter, de dikte en de algehele geometrie van de ring kunnen worden vervaardigd volgens de tekening van de klant en de aansluiting op de apparatuur.

Kunnen het aantal en de afmetingen van de radiale ribben worden aangepast?

Ja. Het aantal ribben, de breedte, de hoogte, de onderlinge afstand en de hoekpositie kunnen op maat worden aangepast. Het ontwerp moet worden beoordeeld in samenhang met de verwachte belasting en de bedrijfstemperatuur.

Kunt u de armatuur vervaardigen op basis van een fysiek monster?

Reproductie op basis van een monster is wellicht mogelijk. Het wordt echter ten zeerste aanbevolen om een technische tekening te maken om de kritische afmetingen, toleranties en ribposities nauwkeurig vast te leggen.

Is het onderdeel uit één stuk vervaardigd of als een gelast geheel?

De productiemethode hangt af van de ringmaat, de ribbenconstructie, de toleranties en de haalbaarheid van de productie. Gedrukte, bewerkte en gelaste constructies kunnen tijdens de beoordeling van de tekening worden geëvalueerd.