Diamantový drátový pilový stroj s jedním / více dráty pro zpracování polovodičových destiček

Diamantová jedno-/vícedrátová dvoustaniční drátová pila je špičkové přesné zařízení určené pro zpracování tvrdých a křehkých materiálů. Využívá technologii galvanicky pokoveného diamantového drátu a je vybaven dvěma nezávislými pracovními stanicemi, které umožňují flexibilní přepínání mezi přesným režimem s jedním drátem a režimem sériové výroby s více dráty.

Diamantová jedno-/vícedrátová dvoustaniční drátová pila je špičkové přesné zařízení určené pro zpracování tvrdých a křehkých materiálů. Využívá technologii galvanicky pokoveného diamantového drátu a je vybaven dvěma nezávislými pracovními stanicemi, které umožňují flexibilní přepínání mezi přesným režimem s jedním drátem a režimem sériové výroby s více dráty.

Je vybaven vysoce přesným řízením pohybu, inteligentními napínacími systémy a technologií adaptivního chlazení a je ideální pro přesné řezání polovodičových destiček, fotovoltaických křemíkových destiček a optických součástek.

Technické specifikace

Parametr Specifikace
Projekt Jednonásobná/vícenásobná drátová pila
Maximální velikost obrobku ø320 × 430 mm
Průměr povlaku hlavního válce ø210 × 450 mm (5 hlavních válců)
Rychlost běhu drátu 1000 (MIX) m/min
Průměr diamantového drátu 0,2-0,37 mm
Kapacita úložiště linky 20 km (průměr drátu 0,25 mm)
Rozsah tloušťky řezu 1,5-80 mm
Přesnost řezání ±0,01 mm
Vertikální zdvih pracovní stanice 350 mm
Metoda řezání Pracovní stůl se vyklopí nahoru, diamantový drát zůstane nehybný.
Rychlost posuvu při řezání 0,01-10 mm/min
Pracovní stanice 2
Nádrž na vodu 300L
Řezná kapalina Vysoce účinná řezná kapalina proti korozi
Úhel kývání ±8°
Rychlost švihu 0.83°/s
Maximální řezné napětí 100 N (min. jednotka 0,1 N)
Hloubka řezu 430 mm
Napájení Třífázový pětivodič AC380V/50Hz
Celkový výkon ≤52kW
Hlavní motor 7,5×3 kW
Zapojení motoru 0,75×2 kW
Výkyvný motor pracovního stolu 1,3×2 kW
Motor pro regulaci napětí 4,4×2 kW
Motor pro uvolnění a sběr drátů 5,5×2 kW
Vnější rozměry 2310 × 2660 × 2893 mm
Hmotnost stroje 6000 kg

Princip fungování

  1. Řezací systém

    • Diamantové lanko vytváří uzavřenou pohybovou smyčku poháněnou servomotory (nastavitelná rychlost 0,5-3 m/s).

    • Napětí drátu sledované v reálném čase pomocí vysoce přesných senzorů (20-50 N)

    • Pracovní stůl s lineárním motorovým pohonem zajišťuje přesnost polohování ±1 μm.

  2. Koordinace dvou stanic

    • Stanice A: Jednovodičový režim (min. průměr 0,1 mm) pro vysoce přesné zpracování

    • Stanice B: Vícedrátový režim (až 200 vodičů) pro hromadnou výrobu

    • Obě stanice mohou pracovat synchronně s automatickým přenosem obrobků pomocí robotického ramene.

  3. Řídicí systém

    • Architektura PLC + PC podporující programování v G-kódu

    • Polohovací systém strojového vidění s opakovatelností 5 μm

    • Monitorování více než 20 procesních parametrů v reálném čase včetně řezné síly a teploty

Základní funkce

  1. Vysoce přesné zpracování

    • Submikronová přesnost díky vřetenu se vzduchovým ložiskem a pohonu lineárním motorem

    • Adaptivní regulace napětí pro stabilní řezání

    • Pokročilý chladicí systém pro kontrolu teploty zpracování

  2. Flexibilní výrobní režimy

    • Vysoce přesný režim jedné stanice pro potřeby výzkumu a vývoje a malých sérií

    • Paralelní zpracování na více stanicích pro vysokou efektivitu

    • Funkce rychlé výměny pro různé výrobní požadavky

  3. Inteligentní řídicí systém

    • Pokročilé rozhraní HMI pro uživatelsky přívětivé ovládání

    • Monitorování a automatická optimalizace klíčových parametrů v reálném čase

    • Možnosti vzdálené diagnostiky a údržby

  4. Robustní a odolný design

    • Vysoce pevné materiály odolné proti opotřebení pro kritické součásti

    • Modulární struktura usnadňuje údržbu

    • Komplexní ochranné systémy prodlužují životnost zařízení

Aplikace

  1. Výroba polovodičových destiček

    • Řezání výkonových zařízení SiC/GaN pro elektromobily a 5G

    • Safírové substráty pro LED a spotřební elektroniku

    • Čipování senzorových čipů MEMS

  2. Výroba fotovoltaiky

    • Řezání velkých monokrystalických křemíkových plátků

    • Zpracování heteropřechodových solárních článků

    • Řezání ultratenkých křemíkových destiček (<120 μm)

  3. Zpracování optických komponent

    • Optické prvky z křemenného skla

    • Laserové krystaly (YAG, safír)

    • Infračervená optická okna

  4. Zpracování speciálních materiálů

    • AlN / Al₂O₃ keramické substráty

    • Kompozity karbidu křemíku

    • Velmi tvrdé materiály (CVD diamant)

  5. Výzkum a speciální aplikace

    • Vytváření prototypů nových polovodičových materiálů

    • Vývoj mikrozařízení

    • Příprava vzorku na míru

Technické výhody

  • Stabilní kvalita zpracování s výtěžností >99,5%

  • Přizpůsobení různým tvrdým/křehkým materiálům

  • Výrazně vyšší produktivita než u konvenčních metod

  • Snadné ovládání a nízké celkové náklady na vlastnictví (TCO)

  • K dispozici jsou řešení na zakázku, včetně verzí pro čisté prostory a speciálních rozměrů.

ČASTO KLADENÉ DOTAZY

Otázka: Jaká je hlavní výhoda dvoustaniční diamantové lanové pily?
A: Umožňuje současné přesné řezání jedním drátem a dávkové zpracování více drátů, což zvyšuje produktivitu o 50% ve srovnání s jednorežimovými stroji.

Otázka: Které materiály lze řezat dvoustanicovými pilami s diamantovým drátem?
A: Tvrdé a křehké materiály, jako je křemík, SiC, GaN, safír, křemen a keramika, s přesností až ±0,01 mm.

Recenze

Zatím zde nejsou žádné recenze.

Buďte první, kdo ohodnotí „Diamond Wire Single / Multiple Wire Saw Machine for Semiconductor Wafer Processing“

Vaše e-mailová adresa nebude zveřejněna. Vyžadované informace jsou označeny *