سلسلة ماكينات الصقل الجاف WDP-1240 عبارة عن نظام دقيق متقدم تم تطويره لتخفيف الضغط على الرقاقة من الجانب الخلفي وإزالة الطبقة التالفة في تصنيع أشباه الموصلات. تستخدم هذه الماكينة المصممة خصيصًا لمعالجة الرقاقات مقاس 300 مم، عملية تلميع جاف لتحقيق تشطيب سطحي عالي الجودة مع تقليل التأثير البيئي إلى أدنى حد ممكن.
يعد هذا النظام مناسبًا بشكل خاص لتطبيقات التغليف المتقدمة، حيث يكون ترقق الرقاقة والتحكم في الإجهاد أمرًا بالغ الأهمية. يساعد WDP-1240 على تحسين سلامة الرقاقة وتقليل الالتواء وتعزيز القوة الميكانيكية من خلال إزالة طبقات التلف تحت السطح الناجمة أثناء عمليات الطحن بفعالية.
بالمقارنة مع أنظمة التلميع الرطب التقليدية، فإن العملية الجافة تقضي على التلوث المرتبط بالطين وتقلل من متطلبات معالجة النفايات، مما يجعلها حلاً أكثر صداقة للبيئة وأكثر فعالية من حيث التكلفة.
الميزات الرئيسية والمزايا التقنية
تقنية التلميع الجاف ذات التأثير البيئي المنخفض
يعتمد WDP-1240 على عملية صقل جافة بالكامل، مما يلغي الحاجة إلى الملاط الكيميائي. وهذا يقلل بشكل كبير من الحمل البيئي ويبسط الصيانة ويقلل من تكاليف التشغيل.
تخفيف التوتر وإزالة الأضرار بكفاءة وفعالية
صُمم النظام لإزالة طبقة التلف الخلفية بعد طحن الرقاقة، وهو مصمم لإزالة طبقة التلف الخلفية بعد طحن الرقاقة، ويحرر النظام الإجهاد الداخلي بفعالية، مما يضمن تحسين تسطيح الرقاقة واستقرار هيكلها.
تعزيز إنتاجية الرقاقات الرقيقة
من خلال تقليل تركيز الضغط إلى الحد الأدنى، تساعد الماكينة على منع:
- تكسير الرقاقة
- تقطيع الحواف
- واربج
وهذا يؤدي إلى معدل إنتاجية أعلى، خاصةً بالنسبة للرقاقات الكبيرة الحجم والرقيقة للغاية.
التكامل السلس مع أنظمة التخفيف
يمكن دمج WDP-1240 مع المعدات الأولية مثل طاحونة الرقاقات الأوتوماتيكية WG1251، مما يتيح خطوط إنتاج مؤتمتة بالكامل مع نقل الرقاقات بأمان وثبات بين العمليات.
هيكل ميكانيكي مستقر وقوي
تتميز المعدات بتكوين مغزل واحد وظرف ظرف واحد ووحدة تلبيس واحدة، مما يضمن أداء صقل متسق واستقرار تشغيلي طويل الأجل.
المواصفات الفنية
| البند | المواصفات |
|---|---|
| الهيكل | عمود الدوران ×1 / طاولة ظرف الظرف ×1 / وحدة التسريح ×1 |
| طاقة عمود الدوران | 7.5 كيلوواط / 11 كيلوواط |
| حجم الرقاقة | حتى 12 بوصة (300 مم) |
| نوع العملية | التلميع الجاف |
| أبعاد الماكينة | 1450 × 3380 × 1900 مم |
مبدأ العمل
يعمل WDP-1240 من خلال تطبيق الصقل الميكانيكي المتحكم فيه على الجانب الخلفي للرقاقة باستخدام مغزل عالي السرعة ونظام ظرف دقيق.
بعد ترقق الرقاقة، غالبًا ما تبقى طبقة تالفة تحت السطح، مما يؤدي إلى حدوث إجهاد داخلي. تزيل عملية الصقل الجاف هذه الطبقة مع الحفاظ على التحكم الصارم في الضغط ومعدل إزالة المواد. وينتج عن ذلك:
- جودة سطح موحدة
- انخفاض الإجهاد المتبقي
- تسطيح الرقاقة المحسّن
تضمن وحدة التلبيس المدمجة أن تحافظ أدوات الصقل على أداء ثابت طوال العملية.
نطاق التطبيق
تُستخدم سلسلة WDP-1240 على نطاق واسع في:
- معالجة الجانب الخلفي لرقاقة أشباه الموصلات
- تغليف متقدم (WLCSP، تغليف مروحة خارجي)
- تلميع رقاقة السيليكون (Si)
- معالجة رقاقة كربيد السيليكون (SiC)
- تطبيقات تخفيف الضغط على الرقاقة الرقيقة
وهي تدعم الرقاقات مقاس 12 بوصة وما دون، مما يجعلها مناسبة لكل من إنتاج أشباه الموصلات السائدة وتقنيات التغليف المتقدمة الناشئة.
المزايا الأساسية
- تأثير بيئي منخفض
تقضي العملية الجافة على الطين وتقلل من النفايات - تحسين العائد المرتفع
يقلل من التشقق والالتواء في الرقائق الرقيقة - استقرار عالٍ في المعالجة
هيكلية قوية تضمن نتائج متسقة - تكامل خط الإنتاج
متوافق مع أنظمة ترقق الرقائق الآلية - مُحسَّن للتغليف المتقدم
مصممة لعمليات الجيل التالي من أشباه الموصلات
الأسئلة الشائعة
السؤال 1: ما هي الميزة الرئيسية للتلميع الجاف مقارنة بالتلميع الرطب؟
ج: يستغني الصقل الجاف عن استخدام الطين، مما يقلل من التأثير البيئي ويبسط الصيانة ويخفض تكاليف التشغيل مع الحفاظ على جودة السطح العالية.
س2: ما هي أحجام الرقاقات المدعومة؟
ج: يدعم WDP-1240 رقاقات يصل حجمها إلى 12 بوصة (300 مم)، بما في ذلك مواد Si وSiC.
س3: هل يمكن دمج هذه الماكينة في خط إنتاج؟
ج: نعم. يمكن توصيلها بسلاسة مع معدات ترقق الرقاقات مثل WG1251، مما يتيح النقل الآلي للرقاقة والمعالجة المستمرة.
المراجعات
لا توجد مراجعات بعد.