تمثل رقاقة الرقاقة الفوقية المصنوعة من SiC مقاس 8 بوصة أحدث تقدم في تكنولوجيا أشباه الموصلات ذات فجوة النطاق العريض. صُممت هذه الرقاقة على ركيزة SiC مقاس 200 مم بطبقة فوقية عالية الجودة، وهي مصممة لدعم تصنيع أجهزة الطاقة عالية الكفاءة والقابلة للتطوير.
بالمقارنة مع أحجام الرقاقات الأصغر، تزيد رقاقات SiC مقاس 8 بوصة من المساحة القابلة للاستخدام بشكل كبير، مما يتيح إنتاج أجهزة أعلى لكل رقاقة ويقلل من تكلفة الرقاقة الواحدة. وهذا يجعلها حلاً بالغ الأهمية للصناعات التي تنتقل إلى إنتاج أجهزة طاقة كربيد السيليكون على نطاق واسع.
تجمع رقاقات SiC الفوقية بين المزايا الجوهرية لكربيد السيليكون، بما في ذلك فجوة النطاق العريضة، ومجال كهربائي عالي الانهيار، وموصلية حرارية ممتازة، مع طبقات فوقية يتم التحكم فيها بدقة مصممة خصيصًا لتصنيع الأجهزة. تُستخدم هذه الرقاقات على نطاق واسع في الجيل التالي من رقائق MOSFETs وصمامات Schottky الثنائية ووحدات الطاقة المتكاملة.
المواصفات الرئيسية
| المعلمة | القيمة |
|---|---|
| القطر | 200 ± 0.5 مم |
| متعدد الأنواع | 4H-SiC |
| نوع الموصلية | النوع N |
| السُمك | 700 ± 50 ميكرومتر |
| تشطيب السطح | مزدوج الجانب CMP مصقول |
| التوجيه | 4.0 درجة خارج المحور ± 0.5 درجة |
| الشق | اتجاه الشق القياسي |
| ملف تعريف الحافة | شطب / حافة مستديرة |
| خشونة السطح | مستوى النانومتر الفرعي |
| التعبئة والتغليف | حاوية كاسيت أو حاوية رقاقة واحدة |
المقاومة النموذجية:
- النوع N 0.015 - 0.028 Ω-سم
- شبه عازل: ≥1E7 Ω-سم
الدرجات المتاحة:
- درجة صفر درجة MPD
- درجة الإنتاج
- درجة البحث
- الصف الوهمي
قدرات الطبقة فوق اللمسية
تُزرع الطبقة الفوقية باستخدام تقنية متقدمة لترسيب البخار الكيميائي (CVD)، مما يتيح التحكم الدقيق في السماكة وتركيز المنشطات والتوحيد.
يتضمن التخصيص المتاح ما يلي:
- الطبقات الفوقية من النوع N أو النوع P
- سُمك الأدرينالين القابل للتعديل لمختلف هياكل الأجهزة
- ملامح تخدير موحدة عبر الرقاقة الكاملة
- كثافة عيوب منخفضة لإنتاجية عالية للجهاز
تُعد الأبرتاكس عالية الجودة أمرًا ضروريًا لتحقيق أداء كهربائي مستقر وموثوقية طويلة الأجل في أجهزة الطاقة.
عملية التصنيع
تحضير الركيزة
يتم إنتاج ركائز SiC أحادية الكريستال عالية النقاء باستخدام طرق نمو عالية الحرارة وصقلها لتحقيق خشونة سطح منخفضة للغاية.
النمو فوق اللمعان
يتم ترسيب الطبقة الفوقية عند درجة حرارة عالية باستخدام أنظمة التفريغ القابل للتحويل إلى الحالة القلبية الوسيطة (CVD)، مما يضمن سمكًا موحدًا وخصائص مادة متناسقة عبر الرقاقة مقاس 200 مم.
مراقبة المنشطات
يتم تطبيق التطعيم الدقيق أثناء النمو الفوقي لتلبية متطلبات بنيات الأجهزة المختلفة.
القياس والفحص
وتخضع كل رقاقة لاختبارات شاملة، بما في ذلك تحليل السطح ورسم خرائط العيوب والتوصيف الكهربائي لضمان اتساق الجودة.
المزايا
التصنيع القابل للتطوير
يزيد حجم الرقاقة مقاس 8 بوصة من إنتاج الرقاقة الواحدة بشكل كبير، مما يحسن كفاءة الإنتاج ويقلل من تكلفة الجهاز الواحد.
أداء عالي الكفاءة
تتيح خصائص مادة SiC خفض خسائر التحويل وزيادة كثافة الطاقة وتحسين كفاءة الطاقة.
إدارة حرارية ممتازة
تدعم الموصلية الحرارية العالية التشغيل المستقر في ظروف الطاقة العالية وتقلل من متطلبات التبريد.
كثافة العيوب المنخفضة
تضمن عمليات النمو البلوري المتقدمة والعمليات الفوقية المتقدمة إنتاجية عالية وأداءً موثوقًا للأجهزة.
منصة جاهزة للمستقبل
تتماشى رقاقات SiC مقاس 8 بوصة مع اتجاه صناعة أشباه الموصلات نحو تنسيقات رقائق أكبر وإنتاج كميات كبيرة مؤتمتة.
التطبيقات
السيارات الكهربائية
تُستخدم في محولات الجر والشواحن المدمجة ومحولات التيار المستمر - التيار المستمر. يدعم حجم الرقاقة الأكبر إنتاج كميات كبيرة من أجهزة الطاقة عالية الكفاءة لمنصات السيارات الكهربائية.
أنظمة الطاقة المتجددة
يتم تطبيقها في محولات الطاقة الشمسية ومحولات طاقة الرياح، حيث تكون الكفاءة والموثوقية أمرًا بالغ الأهمية للتشغيل على المدى الطويل.
إلكترونيات الطاقة الصناعية
يدعم محركات المحركات وأنظمة التشغيل الآلي والمعدات عالية الطاقة التي تتطلب تحويل الطاقة بشكل مستقر وفعال.
5G والبنية التحتية للترددات اللاسلكية
تمكّن مكونات الترددات اللاسلكية عالية التردد والطاقة العالية المستخدمة في أنظمة الاتصالات والمحطات القاعدية.
إلكترونيات الطاقة الاستهلاكية
تُستخدم في إمدادات الطاقة المدمجة عالية الكفاءة وأنظمة الشحن السريع.
الأسئلة الشائعة
س1: ما الميزة الرئيسية لرقائق SiC مقاس 8 بوصة؟
يؤدي حجم الرقاقة الأكبر إلى زيادة عدد الرقائق لكل رقاقة، مما يقلل بشكل كبير من تكلفة التصنيع لكل جهاز ويحسن كفاءة الإنتاج.
س2: هل تقنية SiC مقاس 8 بوصة ناضجة؟
وهي تنتقل حاليًا من الإنتاج التجريبي إلى الإنتاج الضخم في مراحله الأولى، مع زيادة الاعتماد عليها في تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة.
س3: هل يمكن تخصيص الطبقات الفوقية؟
نعم، يمكن تصميم نوع المنشطات وسماكتها وخصائصها الكهربائية لتلبية متطلبات الجهاز المحددة.
س4: هل خطوط الإنتاج الحالية متوافقة مع الرقائق مقاس 8 بوصة؟
قد تكون هناك حاجة إلى بعض التحديثات في المعدات، ولكن العديد من المصانع الحديثة تستعد بالفعل لمعالجة السيليكون سيليكون 200 مم.
المراجعات
لا توجد مراجعات بعد.