Máy cắt dây kim cương đơn dây / đa dây dùng trong gia công tấm bán dẫn

Máy cưa dây kim cương một dây/nhiều dây hai trạm là thiết bị chính xác cao cấp được thiết kế để gia công các vật liệu cứng và giòn. Máy sử dụng công nghệ dây kim cương mạ điện và được trang bị hai trạm làm việc độc lập, cho phép chuyển đổi linh hoạt giữa chế độ gia công chính xác một dây và chế độ sản xuất hàng loạt nhiều dây.

Máy cưa dây kim cương một dây/nhiều dây hai trạm là thiết bị chính xác cao cấp được thiết kế để gia công các vật liệu cứng và giòn. Máy sử dụng công nghệ dây kim cương mạ điện và được trang bị hai trạm làm việc độc lập, cho phép chuyển đổi linh hoạt giữa chế độ gia công chính xác một dây và chế độ sản xuất hàng loạt nhiều dây.

Được trang bị hệ thống điều khiển chuyển động chính xác cao, hệ thống điều chỉnh độ căng thông minh và công nghệ làm mát thích ứng, thiết bị này là lựa chọn lý tưởng cho việc cắt chính xác các tấm wafer bán dẫn, tấm wafer silicon quang điện và các linh kiện quang học.

Thông số kỹ thuật

Tham số Thông số kỹ thuật
Dự án Máy cưa dây đơn/đa dây
Kích thước tối đa của phôi ø320×430 mm
Đường kính trục lăn chính ø210×450mm (5 trục lăn chính)
Tốc độ di chuyển của dây 1000 (MIX) m/phút
Đường kính dây kim cương 0,2–0,37 mm
Dung lượng lưu trữ theo dòng 20 km (đường kính dây 0,25 mm)
Phạm vi độ dày cắt 1,5–80 mm
Độ chính xác khi cắt ±0,01 mm
Hành trình nâng dọc của trạm làm việc 350 mm
Phương pháp cắt Bàn làm việc xoay lên trên, dây kim cương vẫn giữ nguyên vị trí
Tốc độ tiến dao 0,01–10 mm/phút
Máy trạm 2
Bể chứa nước 300 lít
Dung dịch làm mát Dung dịch cắt gọt chống gỉ hiệu suất cao
Góc xoay ±8°
Tốc độ vung gậy 0,83°/s
Lực căng cắt tối đa 100N (đơn vị nhỏ nhất 0,1N)
Độ sâu cắt 430 mm
Nguồn điện Dòng điện xoay chiều ba pha năm dây, 380 V/50 Hz
Tổng công suất ≤52 kW
Động cơ chính 7,5 × 3 kW
Lắp đặt hệ thống dây điện cho động cơ 0,75 × 2 kW
Động cơ xoay bàn làm việc 1,3 × 2 kW
Động cơ điều khiển độ căng 4,4 × 2 kW
Động cơ giải phóng và thu hồi dây 5,5 × 2 kW
Kích thước bên ngoài 2310 × 2660 × 2893 mm
Trọng lượng máy 6.000 kg

Nguyên lý hoạt động

  1. Hệ thống cắt

    • Dây kim cương di chuyển theo quỹ đạo khép kín, được điều khiển bởi động cơ servo (tốc độ có thể điều chỉnh từ 0,5–3 m/s)

    • Độ căng dây được theo dõi theo thời gian thực thông qua các cảm biến có độ chính xác cao (20–50N)

    • Bàn làm việc được trang bị động cơ tuyến tính đảm bảo độ chính xác định vị ±1 μm

  2. Phối hợp hai trạm

    • Trạm A: Chế độ dây đơn (đường kính tối thiểu 0,1 mm) dành cho gia công chính xác cao

    • Trạm B: Chế độ nhiều dây (tối đa 200 dây) dành cho sản xuất hàng loạt

    • Cả hai trạm đều có thể hoạt động đồng bộ với hệ thống chuyển phôi tự động thông qua cánh tay robot

  3. Hệ thống điều khiển

    • Kiến trúc PLC + PC hỗ trợ lập trình mã G

    • Hệ thống định vị bằng thị giác máy với độ lặp lại 5 μm

    • Giám sát theo thời gian thực hơn 20 thông số quá trình, bao gồm lực cắt và nhiệt độ

Các tính năng chính

  1. Gia công chính xác cao

    • Độ chính xác dưới micromet nhờ trục chính sử dụng ổ trục khí nén và hệ thống truyền động bằng động cơ tuyến tính

    • Kiểm soát lực căng thích ứng để cắt ổn định

    • Hệ thống làm mát tiên tiến để kiểm soát nhiệt độ xử lý

  2. Các phương thức sản xuất linh hoạt

    • Chế độ độ chính xác cao một trạm dành cho nghiên cứu và phát triển (R&D) cũng như nhu cầu sản xuất số lượng nhỏ

    • Xử lý song song đa trạm để đạt hiệu quả cao

    • Chức năng thay đổi nhanh để đáp ứng các yêu cầu sản xuất đa dạng

  3. Hệ thống điều khiển thông minh

    • Giao diện người dùng (HMI) tiên tiến cho thao tác dễ dàng

    • Giám sát thời gian thực và tối ưu hóa tự động các thông số chính

    • Khả năng chẩn đoán và bảo trì từ xa

  4. Thiết kế chắc chắn và bền bỉ

    • Vật liệu có độ bền cao và chống mài mòn dành cho các bộ phận quan trọng

    • Cấu trúc mô-đun giúp việc bảo trì trở nên dễ dàng hơn

    • Hệ thống bảo vệ toàn diện giúp kéo dài tuổi thọ thiết bị

Ứng dụng

  1. Sản xuất tấm bán dẫn

    • Cắt tấm wafer thiết bị công suất SiC/GaN cho xe điện và 5G

    • Chất nền sapphire cho đèn LED và thiết bị điện tử tiêu dùng

    • Cắt miếng chip cảm biến MEMS

  2. Sản xuất pin quang điện

    • Cắt lát tấm silicon đơn tinh thể cỡ lớn

    • Quy trình chế tạo pin mặt trời kết hợp dị chất

    • Cắt tấm silicon siêu mỏng (<120 μm)

  3. Chế tạo linh kiện quang học

    • Các thành phần quang học bằng thủy tinh thạch anh

    • Tinh thể laser (YAG, sapphire)

    • Cửa sổ quang học hồng ngoại

  4. Chế biến vật liệu đặc biệt

    • Chất nền gốm AlN / Al₂O₃

    • Vật liệu composite cacbua silic

    • Vật liệu siêu cứng (kim cương CVD)

  5. Nghiên cứu & Ứng dụng đặc biệt

    • Làm mẫu thử các vật liệu bán dẫn mới

    • Phát triển thiết bị vi mô

    • Chuẩn bị mẫu theo hình dạng tùy chỉnh

Ưu điểm kỹ thuật

  • Chất lượng sản xuất ổn định với hiệu suất >99,51%

  • Có thể ứng dụng cho nhiều loại vật liệu cứng/dễ vỡ

  • Năng suất cao hơn đáng kể so với các phương pháp truyền thống

  • Vận hành đơn giản và chi phí sở hữu tổng thể (TCO) thấp

  • Có sẵn các giải pháp tùy chỉnh, bao gồm các phiên bản dành cho phòng sạch và các kích thước đặc biệt

Câu hỏi thường gặp

Hỏi: Ưu điểm chính của máy cưa dây kim cương hai trạm là gì?
A: Cho phép cắt chính xác từng sợi và xử lý hàng loạt nhiều sợi cùng lúc, giúp tăng năng suất lên 50% so với các máy hoạt động ở chế độ đơn.

Hỏi: Những loại vật liệu nào có thể được cắt bằng máy cưa dây kim cương hai trạm?
A: Các vật liệu cứng và giòn như silicon, SiC, GaN, ngọc bích, thạch anh và gốm sứ, với độ chính xác lên đến ±0,01 mm.

Đánh giá

Chưa có đánh giá nào.

Hãy là người đầu tiên nhận xét “Diamond Wire Single / Multiple Wire Saw Machine for Semiconductor Wafer Processing”

Email của bạn sẽ không được hiển thị công khai. Các trường bắt buộc được đánh dấu *