ZMSH sản xuất các vòng cố định bằng thạch anh nung chảy theo yêu cầu dành cho thiết bị chế biến bán dẫn, hệ thống xử lý nhiệt tấm wafer và các ứng dụng khác đòi hỏi nhiệt độ cao và độ sạch cao.
Bộ phận này bao gồm một thân thạch anh hình vòng lớn có lỗ mở ở giữa và nhiều gân đỡ hướng tâm. Cấu trúc có gân được thiết kế nhằm tăng cường độ cứng và phân bổ tải trọng cơ học, đồng thời vẫn duy trì cấu trúc bên trong thông thoáng. Đường kính ngoài, đường kính trong, độ dày tổng thể, bố trí các gân, lỗ lắp đặt và các đặc điểm định vị có thể được sản xuất theo bản vẽ của khách hàng.
Mỗi thiết bị đều được kiểm tra kỹ lưỡng dựa trên nhiệt độ hoạt động, chu kỳ nhiệt, điều kiện tải, giao diện thiết bị và các yêu cầu về độ sạch trước khi đưa vào sản xuất.
Thông số kỹ thuật sản phẩm
| Mặt hàng | Thông số kỹ thuật hiện có |
|---|---|
| Tên sản phẩm | Vòng đế đèn bằng thạch anh nung chảy |
| Thương hiệu | ZMSH |
| Chất liệu | Thạch anh hợp kim |
| Cấu trúc | Vòng hình khuyên có các gân đỡ hướng tâm |
| Đường kính ngoài | Tùy chỉnh |
| Đường kính trong | Tùy chỉnh |
| Độ dày tổng thể | Tùy chỉnh |
| Số lượng xương sườn | Theo bản vẽ của khách hàng |
| Kích thước xương sườn | Có thể tùy chỉnh chiều rộng, chiều cao và vị trí |
| Tình trạng bề mặt | Trong suốt, mờ hoặc có hiệu ứng mờ sương |
| Xử lý mép | Mặt phẳng, vát cạnh, bo tròn hoặc đánh bóng |
| Các tính năng bổ sung | Lỗ lắp, lỗ định vị, khe, rãnh và bậc |
| Độ phẳng | Theo bản vẽ và đơn đăng ký |
| Dung sai kích thước | Tùy theo kích thước linh kiện và các yêu cầu kỹ thuật |
| Các phương pháp sản xuất | Đúc thạch anh, hàn, mài và gia công chính xác |
| Kiểm tra | Kiểm tra kích thước, hình thức và độ sạch |
| Bao bì | Bao bì bảo vệ riêng lẻ hoặc bao bì sạch |
| Số lượng đặt hàng tối thiểu (MOQ) | Thông thường là 50 chiếc; số lượng sản xuất thử cần được xác nhận |
| Thời gian thực hiện | Khoảng 2–4 tuần |
| Điều khoản thanh toán | Chuyển khoản (T/T) |
| Nơi xuất xứ | Thượng Hải, Trung Quốc |
Các thông số kỹ thuật cuối cùng được xác định sau khi xem xét bản vẽ chi tiết và các điều kiện vận hành.
Các tính năng chính của sản phẩm
Cấu trúc hình vòng có cốt thép hướng tâm
Lỗ mở lớn ở giữa và bố trí các thanh gia cố hình tia tạo nên một cấu trúc thiết thực cho các giá đỡ thiết bị cần có khu vực xử lý mở. Số lượng, chiều rộng, chiều cao và khoảng cách giữa các thanh gia cố có thể được điều chỉnh tùy theo các điểm chịu lực cần thiết và cách phân bố tải trọng.
Hiệu suất cơ học thực tế phụ thuộc vào kích thước của bộ phận, phương pháp gia cố, nhiệt độ làm việc và tải trọng tác dụng.
Hệ số giãn nở nhiệt thấp
Thạch anh nung kết có hệ số giãn nở nhiệt thấp, giúp thiết bị duy trì độ ổn định kích thước trong các chu kỳ gia nhiệt và làm mát. Tính chất này rất hữu ích trong các quy trình nhiệt của ngành bán dẫn, nơi có thể xảy ra những biến đổi nhiệt độ lặp đi lặp lại.
Khả năng tương thích với quy trình nhiệt độ cao
Thạch anh nung chảy được sử dụng rộng rãi trong các lò nung bán dẫn và thiết bị xử lý nhiệt vì nó duy trì được độ ổn định tốt ở nhiệt độ cao.
Nhiệt độ hoạt động tối đa phù hợp phụ thuộc vào loại thạch anh, hình dạng của bộ phận cố định, tải trọng tác dụng, môi trường quá trình và chu kỳ nhiệt.
Khả năng chịu hóa chất
Thạch anh nung chảy có khả năng chống lại nhiều loại axit và hóa chất công nghệ được sử dụng trong môi trường sản xuất bán dẫn và phòng thí nghiệm. Tuy nhiên, vẫn cần phải kiểm tra tính tương thích hóa học với các loại khí, chất lỏng và hóa chất tẩy rửa thực tế được sử dụng trong quy trình.
Khả năng gây ô nhiễm thấp
Thạch anh thường được lựa chọn cho thiết bị bán dẫn vì loại vật liệu này có thể được cung cấp với chất lượng được kiểm soát chặt chẽ và bề mặt sạch. Phương pháp làm sạch và mức độ đóng gói có thể được quy định cụ thể tùy theo quy trình dự kiến.
Tùy chỉnh dựa trên bản vẽ
Khác với các vòng thạch anh tiêu chuẩn, bộ phận này có thể được chế tạo sao cho phù hợp với giao diện của thiết bị. Thân vòng, các gân, lỗ, rãnh, mép và bề mặt đều có thể được điều chỉnh theo thiết kế của khách hàng.
Các tùy chọn thiết kế theo yêu cầu
| Khu vực thiết kế | Các tham số có thể tùy chỉnh |
| Thân vòng | Đường kính ngoài, đường kính trong và độ dày tổng thể |
| Các gân xuyên tâm | Số lượng, chiều rộng, chiều cao, chiều dài, góc và khoảng cách |
| Kết nối xương sườn | Vị trí nối, bán kính chuyển tiếp và hình học mối nối |
| Giao diện lắp đặt | Lỗ bắt vít, lỗ định vị, rãnh và khía |
| Bề mặt đỡ | Diện tích tiếp xúc, chiều cao bậc thang và vị trí điểm tựa |
| Kiểm soát kích thước | Độ phẳng, độ tròn, độ đồng tâm và dung sai vị trí |
| Thiết kế cạnh | Mép vát, mép nghiêng, mép bo tròn hoặc mép được đánh bóng |
| Tình trạng bề mặt | Trong suốt, mờ, mài nhẵn hoặc mờ đục |
| Vật liệu thạch anh | Loại thạch anh được lựa chọn dựa trên các yêu cầu của quy trình |
| Vệ sinh | Yêu cầu vệ sinh tiêu chuẩn hoặc yêu cầu vệ sinh dành riêng cho dự án |
| Bao bì | Bảo vệ từng sản phẩm, bao bì sạch hoặc bao bì xuất khẩu |
Nên tránh các góc trong sắc nhọn và sự thay đổi độ dày đột ngột nếu có thể, vì chúng có thể làm tăng ứng suất cục bộ trong quá trình gia nhiệt, xử lý hoặc lắp ráp.
Ứng dụng điển hình
Các vòng đệm bằng thạch anh nung kết theo yêu cầu có thể được xem xét sử dụng trong:
- Thiết bị chế tạo bán dẫn
- Hệ thống xử lý nhiệt tấm wafer
- Lò khuếch tán
- Lò oxy hóa
- Thiết bị lắng đọng hóa học từ pha hơi
- Các cụm lò nung thạch anh
- Hệ thống đỡ và định vị tấm wafer
- Buồng xử lý nhiệt độ cao
- Thiết bị xử lý nhiệt trong phòng thí nghiệm
- Gia công vật liệu quang học và điện tử
- Dụng cụ sản xuất bán dẫn được thiết kế theo yêu cầu
Phải xác nhận tính phù hợp dựa trên nhiệt độ hoạt động, môi trường quá trình, tải trọng chịu được, chu kỳ nhiệt và cấu trúc thiết bị.
Quy trình sản xuất
1. Xem xét bản vẽ và hồ sơ đăng ký
Bản vẽ chi tiết, kích thước, cách bố trí các gân, dung sai và điều kiện vận hành sẽ được rà soát trước khi lập báo giá. Các khu vực chịu ứng suất nhiệt hoặc cơ học cao có thể được xác định trong giai đoạn này.
2. Lựa chọn vật liệu và quy trình
Loại vật liệu thạch anh và quy trình sản xuất được lựa chọn dựa trên kích thước, cấu trúc và các yêu cầu về độ sạch của khuôn.
Tùy thuộc vào thiết kế, quá trình sản xuất có thể bao gồm các công đoạn như tạo hình thạch anh, lắp ráp hàn, mài và gia công chính xác.
3. Gia công kết cấu
Thân hình vòng, các gân hướng tâm và các chi tiết lắp đặt bổ sung được sản xuất theo bản vẽ đã được phê duyệt. Vị trí của các gân và hình học kết nối được kiểm soát để đảm bảo cấu trúc theo yêu cầu.
4. Hoàn thiện cạnh và bề mặt
Các cạnh có thể được mài, vát, bo tròn hoặc đánh bóng. Tình trạng bề mặt có thể trong suốt, bán trong suốt hoặc mờ tùy theo mục đích sử dụng.
5. Kiểm tra và đóng gói
Các chi tiết hoàn thiện được kiểm tra so với bản vẽ đã thỏa thuận và các tiêu chí nghiệm thu trước khi tiến hành làm sạch và đóng gói bảo vệ.
Kiểm tra chất lượng
Các hạng mục kiểm tra có sẵn bao gồm:
- Đường kính ngoài
- Đường kính trong
- Độ dày tổng thể
- Độ tròn của vòng
- Độ đồng tâm
- Độ phẳng
- Số lượng và vị trí các xương sườn
- Chiều rộng và chiều cao của xương sườn
- Đường kính và vị trí lỗ
- Kích thước rãnh và khe
- Điều kiện biên
- Vết xước bề mặt
- Vết nứt và vết rạn
- Hình thức mối hàn
- Sự gọn gàng về mặt thị giác
- Tình trạng bao bì
Các báo cáo kiểm tra kích thước, tài liệu về vật liệu và ảnh sản phẩm có thể được cung cấp nếu được nêu rõ trong yêu cầu đặt hàng.
Thông tin cần thiết để lập báo giá
Để nhận được báo giá chính xác và đánh giá khả năng sản xuất, vui lòng cung cấp:
| Thông tin bắt buộc | Mô tả |
| Bản vẽ kỹ thuật | PDF, DXF, DWG, STEP hoặc định dạng khác có sẵn |
| Các kích thước chính | Đường kính ngoài, đường kính trong và độ dày tổng cộng |
| Cấu trúc xương sườn | Số lượng xương sườn, chiều rộng, chiều cao, chiều dài và vị trí góc |
| Các tính năng lắp đặt | Chi tiết về lỗ, khe, rãnh và điểm định vị |
| Dung sai kích thước | Kích thước quan trọng và dung sai vị trí |
| Dung sai hình học | Độ phẳng, độ tròn, độ đồng tâm và độ song song |
| Yêu cầu về bề mặt | Trong suốt, mờ, mài nhẵn hoặc mờ đục |
| Xử lý mép | Mép vát, bán kính, mép nghiêng hoặc mép được đánh bóng |
| Nhiệt độ hoạt động | Nhiệt độ quá trình liên tục và nhiệt độ đỉnh |
| Chu trình nhiệt | Điều kiện sưởi ấm và làm mát |
| Điều kiện tải | Trọng lượng chịu được, hướng tải và các điểm tiếp xúc |
| Môi trường xử lý | Điều kiện khí, hóa chất, chân không hoặc áp suất khí quyển |
| Loại thiết bị | Lò nung, hệ thống lắng đọng, buồng xử lý hoặc các thiết bị khác |
| Số lượng đặt hàng | Số lượng thử nghiệm và nhu cầu ước tính cho từng lô |
| Yêu cầu về chất lượng | Báo cáo kiểm tra, chứng chỉ vật liệu và tiêu chuẩn đóng gói |
Việc cung cấp các điều kiện vận hành bên cạnh bản vẽ sẽ giúp đánh giá xem bố trí các gân, độ dày thành và cấu trúc kết nối có phù hợp với quy trình dự kiến hay không.
Tại sao nên chọn các linh kiện thạch anh tùy chỉnh của ZMSH?
ZMSH hỗ trợ sản xuất các linh kiện thạch anh theo bản vẽ cho thiết bị bán dẫn, hệ thống phòng thí nghiệm và các ứng dụng công nghiệp nhiệt độ cao.
Dòng sản phẩm thạch anh tùy chỉnh của chúng tôi bao gồm:
- Vòng cố định bằng thạch anh
- Vòng đệm bằng thạch anh
- Dụng cụ mài thạch anh
- Tấm và đĩa thạch anh
- Khay đựng tấm thạch anh
- Thuyền làm bằng thạch anh
- Ống lò thạch anh
- Mặt bích thạch anh
- Buồng thạch anh
- Các cụm linh kiện hàn bằng thạch anh
- Các linh kiện thạch anh bán dẫn tùy chỉnh khác
Trong quá trình lập báo giá, chúng tôi có thể xem xét bản vẽ, quy trình sản xuất, các yêu cầu về kích thước, phương pháp kiểm tra và các yêu cầu về đóng gói.
Câu hỏi thường gặp
Có thể tùy chỉnh đường kính ngoài và đường kính trong không?
Đúng vậy. Đường kính ngoài, đường kính trong, độ dày và hình dạng tổng thể của vòng có thể được gia công theo bản vẽ và thông số kỹ thuật kết nối thiết bị của khách hàng.
Có thể thay đổi số lượng và kích thước của các gân xuyên tâm không?
Đúng vậy. Số lượng, chiều rộng, chiều cao, khoảng cách và vị trí góc của các thanh gia cố đều có thể được tùy chỉnh. Thiết kế cần được xem xét kỹ lưỡng cùng với tải trọng dự kiến và nhiệt độ hoạt động.
Quý vị có thể sản xuất khuôn mẫu dựa trên mẫu thực tế không?
Có thể thực hiện việc tái tạo dựa trên mẫu. Tuy nhiên, chúng tôi khuyến nghị mạnh mẽ nên sử dụng bản vẽ kỹ thuật để xác định chính xác các kích thước quan trọng, dung sai và vị trí các gân.
Chi tiết này được sản xuất dưới dạng một khối liền hay là một cụm hàn?
Quy trình sản xuất phụ thuộc vào kích thước vòng, cấu trúc gân, dung sai và khả năng thực hiện trong sản xuất. Các cấu trúc được tạo hình, gia công và hàn có thể được đánh giá trong quá trình rà soát bản vẽ.
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.