Tấm nền thạch anh 2 inch đã được đánh bóng DSP/SSP dành cho ứng dụng MEMS, bán dẫn và quang học

Tấm thạch anh 2 inch là một chất nền cấp bán dẫn được chế tạo từ silicon dioxide (SiO₂) có độ tinh khiết cao. Sản phẩm đạt được độ phẳng ở mức micromet nhờ các kỹ thuật gia công chính xác như cắt CNC và đánh bóng bằng laser. Các tấm wafer này tuân thủ các tiêu chuẩn SEMI và hỗ trợ tùy chỉnh về kích thước và độ dày (dung sai ±0,02 mm), khiến chúng phù hợp cho các ứng dụng trong lĩnh vực quang điện tử, MEMS (Hệ thống vi cơ điện tử) và đóng gói bán dẫn.

Tổng quan về sản phẩm

Tấm nền thạch anh 2 inch đã được đánh bóng DSP/SSP dành cho ứng dụng MEMS, bán dẫn và quang họcTấm thạch anh 2 inch là một chất nền cấp bán dẫn được chế tạo từ silicon dioxide (SiO₂) có độ tinh khiết cao. Sản phẩm đạt được độ phẳng ở mức micromet nhờ các kỹ thuật gia công chính xác như cắt CNC và đánh bóng bằng laser. Các tấm wafer này tuân thủ các tiêu chuẩn SEMI và hỗ trợ tùy chỉnh về kích thước và độ dày (dung sai ±0,02 mm), khiến chúng phù hợp cho các ứng dụng trong lĩnh vực quang điện tử, MEMS (Hệ thống vi cơ điện tử) và đóng gói bán dẫn.

Fuyao cung cấp dịch vụ sản xuất theo yêu cầu cho các hình dạng không tiêu chuẩn, bao gồm hình dạng tự do, độ dày biến đổi và các phương pháp xử lý bề mặt tiên tiến như lớp phủ chống phản xạ (AR) và màng chống thấm nước. Kiểm soát chất lượng toàn bộ quy trình đảm bảo độ lệch độ dày tổng thể (TTV) <0,005 mm và độ nhám bề mặt Ra <1,5 nm. Dịch vụ sản xuất mẫu thử với số lượng nhỏ (tối thiểu 10 đơn vị) và các tùy chọn giao hàng nhanh có sẵn cho các dự án cần gấp.

Thông số kỹ thuật

Tham số Thông số kỹ thuật
Đường kính 2 inch (50,8 mm)
Phạm vi độ dày 0,1 mm – 1,0 mm
Độ tinh khiết của vật liệu ≥99,991 TP3T
Độ nhám bề mặt (Ra) ≤5 nm
Độ dao động tổng thể về độ dày ≤10 μm
Hệ số truyền qua (@193 nm) >90%
Hệ số giãn nở nhiệt ~0,55 × 10⁻⁶/°C
Điểm nóng chảy ~1.665°C
Bao bì Phòng sạch cấp 100
Các đặc điểm chính

1. Chất lượng quang học vượt trội

  • Độ truyền qua phổ rộng: >90% trong dải tia cực tím (185–3500 nm), với hiệu suất vượt trội đối với tia cực tím sóng ngắn (185 nm).Tấm wafer thủy tinh thạch anh 2 inch, loại DSP và SSP, đường kính 50,8 mm

  • Hệ số giãn nở nhiệt thấp: CTE ~0,52×10⁻⁶/°C (5–35°C), có thể chịu được nhiệt độ lên đến 1100°C trong thời gian dài và tiếp xúc ngắn hạn với nhiệt độ 1450°C.

2. Tính ổn định cơ học và hóa học

  • Độ bền cao: Độ bền uốn cao gấp 2–3 lần so với kính thông thường, độ cứng theo thang Mohs là 7.

  • Khả năng chống ăn mòn: Khả năng chống axit cao gấp 30 lần so với gốm sứ, phù hợp với các môi trường hóa chất khắc nghiệt.

3. Cách điện

  • Điện trở suất vượt quá 10¹⁸ Ω·cm cùng với tổn thất điện môi thấp ở tần số cao, lý tưởng cho các mạch RF và cảm biến.

Các ứng dụng chính

1 Sản xuất chất bán dẫn

  • Chất nền cho cảm biến hình ảnh CMOS và đóng gói chip RFID, hỗ trợ công nghệ đóng gói cấp tấm wafer (WLP) nhằm đạt mức độ tích hợp cao hơn.

  • Chất nền cho các thiết bị MEMS (ví dụ: cảm biến áp suất, cảm biến gia tốc) đảm bảo tính ổn định cấu trúc cho các linh kiện vi mô.

2 Hệ thống quang điện tử

  • Cửa sổ laser tia cực tím và bộ ghép tín hiệu truyền thông sợi quang, tận dụng khả năng truyền dẫn tia cực tím vượt trội.

  • Cửa sổ quang học hàng không vũ trụ có khả năng chống bức xạ và chu kỳ nhiệt.

3 Y tế và Nghiên cứu

  • Các bộ phận quang học chịu nhiệt độ cao dành cho hệ thống hình ảnh nội soi.

  • Cửa sổ quan sát chịu nhiệt cho các bình phản ứng trong phòng thí nghiệm.

4 tấm kính thạch anh chuyên dụng

  • Bề mặt tự do, lỗ hở không đối xứng, độ dày thay đổi.

  • Cửa sổ cắt nghiêng để giảm thiểu tổn thất do phản xạ.

  • Cửa sổ lỗ xuyên qua để tích hợp nhiều cảm biến.

  • Sản xuất mẫu nhanh: 3–5 ngày cho mẫu thử, các lô nhỏ dưới 500 đơn vị, có thể lựa chọn phủ chân không (phủ chống phản xạ hoặc phủ phản xạ) cho các ứng dụng nghiên cứu và quân sự.

Câu hỏi thường gặp

1 Tại sao nên chọn tấm thạch anh 2 inch?
Tấm thạch anh 2 inch là các chất nền cấp bán dẫn được chế tạo từ silicon dioxide (SiO₂) có độ tinh khiết cao. Chúng đạt được độ phẳng ở mức micromet nhờ công nghệ cắt CNC chính xác và đánh bóng bằng laser. Các tấm thạch anh này hỗ trợ tùy chỉnh về kích thước và độ dày (±0,02 mm) và tuân thủ các tiêu chuẩn SEMI, khiến chúng trở thành lựa chọn lý tưởng cho các ứng dụng trong lĩnh vực quang điện tử, MEMS và đóng gói bán dẫn.

2. Các ứng dụng chính của tấm thạch anh 2 inch là gì?
Chúng chủ yếu được sử dụng trong sản xuất bán dẫn (cảm biến hình ảnh CMOS, đóng gói chip RFID), cửa sổ laser tia cực tím, bộ ghép nối truyền thông sợi quang và các linh kiện quang học trong ngành hàng không vũ trụ. Các phương pháp xử lý bề mặt theo yêu cầu, chẳng hạn như lớp phủ chống phản xạ, giúp nâng cao hiệu suất trong các hệ thống có độ chính xác cao.

Đánh giá

Chưa có đánh giá nào.

Hãy là người đầu tiên nhận xét “2-inch Quartz Wafer DSP/SSP Polished Substrate for MEMS, Semiconductor & Optical Use”

Email của bạn sẽ không được hiển thị công khai. Các trường bắt buộc được đánh dấu *