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웨이퍼
장비 검증, 공정 디버깅, 웨이퍼 워밍업 및 생산 웨이퍼 보호를 위한 SiC 더미 웨이퍼
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결정 성장로
6-12인치 실리콘 카바이드 결정 생산을 위한 SiC 성장로(PVT 방식)
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본딩 머신
기포 없는 웨이퍼 및 SiC 시드 어셈블리를 위한 SiC 정밀 본딩 머신
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결정 성장로
PVT, Lely 및 TSSG 방법을 사용하는 6인치 및 8인치 결정을 위한 SiC 단결정 성장로
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결정 성장로
6인치, 8인치 및 12인치 웨이퍼 생산을 위한 SiC 단결정 저항 가열 성장로(PVT 방식)
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에피택시 장비
6”/8” 에피 웨이퍼용 분할형 수직 기류 SiC 에피택시 장비
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웨이퍼
MEMS 마이크로일렉트로닉스 전도성 기판용 티타늄/구리 금속 코팅 실리콘 웨이퍼 티타늄 구리 스퍼터링 웨이퍼
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연삭기
Si SiC 및 4~12인치 반도체 웨이퍼용 웨이퍼 박막화 시스템 정밀 백 그라인딩 장비
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연마기
300mm 웨이퍼 응력 완화 및 후면 처리를 위한 WDP-1240 시리즈 건식 연마기
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연삭기
WG-1261 시리즈 전자동 웨이퍼 박막화 장비
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연삭기
WG-1281 전자동 웨이퍼 후면 연삭기
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연삭기
WGP-1271 전자동 웨이퍼 박막화 및 연마 통합 머신
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