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레이저 커팅기
사파이어, 석영 및 광학 유리를 위한 적외선 피코초 듀얼 플랫폼 레이저 커팅 시스템
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에피택시 장비
6”/8” 에피 웨이퍼용 통합 수직 기류 SiC 에피택시 장비
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반도체 제조에서 Si SiO2 및 금속 재료용 이온 빔 에칭 기계
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레이저 드릴링 머신
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반도체 소모품
반도체 플라즈마 에칭용 정밀 실리콘 링(단결정/다결정)
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결정 성장로
키로풀로스(KY) 방법을 사용한 80-400kg 결정용 사파이어 결정 성장로
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사파이어 웨이퍼 블랭크 - 정밀 가공을 위한 고순도 원시 사파이어 기판
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반도체 응용 분야의 정밀 접착제 증착을 위한 SiC 코팅 기계
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고품질 실리콘 카바이드 단결정 생산을 위한 SiC 결정 성장로(PVT/LPE/HT-CVD)
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