WG-1281 Tam Otomatik Gofret Arkası Taşlama Makinesi, yüksek hassasiyetli yarı iletken üretimi için tasarlanmış gelişmiş bir gofret inceltme çözümüdür. Güç elektroniği ve gelişmiş paketlemede daha ince gofretlere yönelik artan talebi karşılamak için tasarlanan bu sistem, hassas mekaniği, akıllı otomasyonu ve kontaminasyon kontrollü tasarımı bir araya getirir.
WG-1281, 12 inç'e kadar gofretleri desteklemesiyle, kalınlık homojenliği, düşük stres ve minimum kırılmanın nihai cihaz performansı için kritik öneme sahip olduğu IGBT gofret inceltme işlemleri için özellikle uygundur. Çift milli, üç mandrenli konfigürasyonu, mükemmel proses stabilitesini korurken yüksek verim sağlar.
Modern yarı iletken üretiminde yonga plakası inceltme, cihaz güvenilirliğini, termal performansı ve paketleme verimliliğini doğrudan etkileyen çok önemli bir adımdır. WG-1281, hassasiyet, tekrarlanabilirlik ve verim iyileştirmeye odaklanarak bu zorlukların üstesinden gelmek için üretilmiştir.
Teknik Özellikler
1. Gelişmiş X Ekseni İş Mili Hareketi
WG-1281, esnek taşlama yolu kontrolü sağlayan yenilikçi bir X ekseni iş mili hareket sistemine sahiptir. Bu özellik, özellikle IGBT cihazları gibi karmaşık yonga plakası yapıları için proses uyarlanabilirliğini artırır ve yonga plakası yüzeyi boyunca eşit malzeme kaldırma sağlar.
2. Yüksek Hassasiyetli Temassız CCD Hizalama
Temassız CCD tabanlı yonga plakası hizalama sistemi ile donatılmış olan makine, yonga plakası konumlandırmasını doğru bir şekilde algılar ve taşlama yollarını optimize eder. Bu, insan müdahalesini en aza indirirken hizalama hassasiyetini ve genel süreç tutarlılığını önemli ölçüde artırır.
3. Otomatik Ayna Eğim Telafisi
Sistem, yonga plakası yanlış hizalamasını telafi etmek için aynanın eğim açısını otomatik olarak ayarlar. Bu, kalibrasyon süresini azaltır, arıza süresini kısaltır ve uzun üretim döngüleri boyunca istikrarlı taşlama kalitesi sağlar.
4. Düşük Stresli Taşlama Mekanizması
Geleneksel taşlama sistemlerinin aksine, WG-1281 işleme sırasında yonga plakası kenarına harici basınç uygulamaktan kaçınır. Bu düşük stresli yaklaşım, yonga plakası çarpılmasını etkili bir şekilde azaltır, mikro çatlakları önler ve özellikle ince ve kırılgan yonga plakaları için önemli olan mekanik mukavemeti artırır.
5. Anti-Metal Kirlenme Tasarımı
Ekipman, katı yarı iletken temizlik standartlarını karşılamak için metalik partikül oluşumunu en aza indiren kontaminasyon kontrollü bir yapıya sahiptir. Bu tasarım, cihaz veriminin ve güvenilirliğinin artmasına doğrudan katkıda bulunur.
6. Tam Otomatik Operasyon
WG-1281, otomatik gofret transfer ve temizleme sistemlerini entegre ederek otomatik üretim hatlarında sorunsuz çalışma sağlar. Modern fabrika ortamlarıyla uyumludur ve yüksek hacimli üretim gereksinimlerini destekler.
Uygulamalar
WG-1281, yarı iletken arka uç işlemede yaygın olarak kullanılır ve özellikle aşağıdakiler için uygundur:
- IGBT wafer inceltme (≤ 12 inç)
- Güç yarı iletken cihaz üretimi
- Silikon (Si) gofret inceltme
- Silisyum karbür (SiC) yonga plakası işleme
- Gelişmiş paketleme ve 3D entegrasyon süreçleri
Çok yönlülüğü, onu hem geleneksel silikon tabanlı cihazlar hem de yeni ortaya çıkan geniş bant aralıklı yarı iletken malzemeler için ideal bir çözüm haline getirmektedir.
Teknik Özellikler
| Parametre | Şartname |
|---|---|
| Yapı | 2 İş Mili / 3 Ayna / 1 İş İstasyonu / Otomatik Transfer ve Temizleme Sistemi |
| Gofret Boyutu | 8 inç / 12 inç |
| İş Mili Gücü | 5,5 kW / 9 kW (Opsiyonel) |
| İş Mili Hızı | 1000 - 6000 rpm |
| Z ekseni Stroku | 120 mm |
| Z Ekseni Çözünürlüğü | 0,1 μm |
| Ayna Tipi | Gözenekli Seramik Vakum Aynası |
| Chuck Miktarı | 3 Set |
| Chuck Speed | 0 - 300 rpm |
| Kalınlık Değişimi (TTV) | ≤ 4 μm |
| Yüzey Pürüzlülüğü (Ra) | ≤ 0,02 μm |
| Boyutlar (G×D×Y) | 1450 × 3800 × 1900 mm |
| Ağırlık | Yaklaşık 4700 kg |
Performans Avantajları
WG-1281, temel yarı iletken üretim metriklerinde ölçülebilir iyileştirmeler sağlar:
- Yüksek Kalınlık Düzgünlüğü
Tutarlı yonga plakası kalınlığı sağlayarak aşağı akış proses stabilitesini artırır. - Azaltılmış Kırılma Oranı
Düşük gerilimli taşlama, kenar ufalanmasını ve gofret çatlamasını en aza indirir. - Geliştirilmiş Verim
Kontaminasyon önleyici tasarım ve hassas kontrol, daha yüksek cihaz verimine katkıda bulunur. - Geliştirilmiş Süreç Verimliliği
Otomasyon manuel elleçlemeyi azaltır ve verimi artırır. - Mükemmel Yüzey Kalitesi
Ultra düşük yüzey pürüzlülüğü elde ederek yüksek performanslı cihaz üretimini destekler.
Mühendislik Güvenilirliği ve Sektörel Uygunluk
Güç elektroniği ve elektrikli araç teknolojilerinin hızla gelişmesiyle birlikte, yüksek kaliteli yonga plakası inceltme ekipmanlarına olan talep artmaya devam etmektedir. WG-1281, gerçek endüstri gereksinimlerine göre geliştirilmiştir ve şunlara odaklanmaktadır:
- Sürekli çalışma altında kararlılık
- Yüksek hacimli üretim ile uyumluluk
- SiC gibi gelişmiş malzemelere uyarlanabilirlik
- Toplam sahip olma maliyetinin (TCO) azaltılması
Tasarımı, yarı iletken proses zorluklarının derinlemesine anlaşılmasıyla birlikte pratik mühendislik deneyimini yansıtır ve uzun vadeli performans arayan üreticiler için güvenilir bir seçimdir.
SSS
1. WG-1281 ne tür gofretleri işleyebilir?
WG-1281, silikon (Si), silikon karbür (SiC) ve 12 inç'e kadar diğer yarı iletken alt tabakalar dahil olmak üzere çeşitli yonga plakası malzemelerini destekler.
2. Makine IGBT wafer inceltme için uygun mu?
Evet, WG-1281, IGBT taşlama işlemleri için özel olarak optimize edilmiştir ve düşük stres, yüksek hassasiyet ve minimum yonga plakası hasarı sağlar.
3. Makine gofret kırılmasını nasıl azaltıyor?
Hassas hizalama ve kararlı ayna kontrolü ile birlikte gofret kenarına basınç uygulanmasını önleyen düşük gerilimli bir taşlama yöntemi kullanır.
4. Ekipman otomatik üretim hatlarını destekliyor mu?
Evet, otomatik yonga plakası aktarma ve temizleme sistemleri içerir, bu da onu modern otomatik yarı iletken fabrikalarıyla tamamen uyumlu hale getirir.
5. Taşlamadan sonra elde edilebilecek yüzey kalitesi nedir?
WG-1281, ≤ 0,02 μm yüzey pürüzlülüğü elde ederek üst düzey yarı iletken üretim gereksinimlerini karşılayabilir.







Değerlendirmeler
Henüz değerlendirme yapılmadı.