12-дюймовая стеклянная подложка для передовых применений в области полупроводников и МЭМС

12-дюймовая (300 мм) стеклянная пластина представляет собой высококачественную подложку, предназначенную для производства современных полупроводников, устройств MEMS, оптических систем и упаковки на уровне пластины (WLP / FOWLP). По мере того как степень интеграции устройств продолжает расти, а конструкции корпусов становятся всё более сложными, стеклянные пластины большого диаметра становятся важной альтернативой традиционным кремниевым подложкам.

По сравнению с пластинками меньшего размера 12-дюймовые стеклянные пластинки обеспечивают значительно более высокую эффективность производства, лучшую масштабируемость для массового производства, а также совместимость с передовыми технологиями литографии и монтажа. Они широко используются в электронных системах нового поколения, для которых требуются высокая стабильность размеров, низкие диэлектрические потери, превосходная оптическая прозрачность и сверхгладкая поверхность.

Эти пластины изготавливаются из материалов высокой чистоты, таких как боросиликатное стекло, плавленый кремнезем, кварц и бещатное стекло, в зависимости от требований конкретного применения. Каждая пластина проходит процессы прецизионной резки, шлифования, полировки и очистки, что обеспечивает строгий контроль за плоскостностью, равномерностью толщины и шероховатостью поверхности.

Доступные типы материалов для 12-дюймовых стеклянных пластин

Боросиликатное стекло (12-дюймовая подложка)

• Превосходное совпадение коэффициентов теплового расширения с кремнием (~3,2 ppm/K)
• Идеально подходит для анодного соединения
• Высокая химическая стойкость
• Стабильные механические свойства при термоциклировании
• Широко применяется в MEMS и конструкциях корпусов

Кварцевое стекло (12-дюймовая подложка)

• Чрезвычайно высокая оптическая пропускаемость (в диапазоне от УФ до ИК)
• Очень низкое содержание примесей и групп OH
• Термостойкость
• Шероховатость поверхности до Ra ≤ 0,5 нм
• Подходит для оптических MEMS и фотоники

Плавленое кварцевое стекло (12-дюймовая подложка)

• Сверхнизкое тепловое расширение (~0,5 ppm/K)
• Синтетический материал высокой чистоты
• Превосходная термоударная стойкость
• Оптическая пропускаемость >90% (диапазон 200–2000 нм)
• Идеально подходит для высокотехнологичных оптических и полупроводниковых систем

Стекло без щелочи (12-дюймовая пластина)

• Не содержит примесей тяжелых металлов (As, Sb, Ba, галогениды)
• Низкий уровень флуоресцентного фона
• Высокая диэлектрическая стабильность
• Совместимость с передовыми технологиями производства полупроводников
• Превосходная химическая стойкость

Основные технические характеристики (12-дюймовая стеклянная пластина)

Размерные параметры

• Диаметр пластины: 300 мм (12 дюймов)
• Диапазон толщины: 500 мкм – 2000 мкм (по заказу)
• Допуск по толщине: от ±5 мкм до ±20 мкм
• Общее отклонение по толщине (TTV): ≤ 10–15 мкм (класс высокой точности)

Качество поверхности

• Шероховатость поверхности (Ra): ≤ 1,0 нм (стандарт)
• Вариант с ультраполированной поверхностью: Ra ≤ 0,5 нм
• Ровность поверхности: ≤ λ/10 (дополнительная спецификация повышенной точности)
• Обработка кромок: скошенная / закругленная / индивидуальный профиль
• Доступны варианты с двусторонней полировкой (DSP) или односторонней полировкой (SSP)

Характеристики материала (справочные значения)

Производственные возможности

Наши 12-дюймовые стеклянные пластины производятся в условиях высокотехнологичного прецизионного производства:

• Высокоточная формовка и нарезка с ЧПУ
• Химико-механическая полировка (CMP)
• Технология субнанометровой обработки поверхностей
• Очистка и осмотр в условиях, соответствующих стандартам чистых помещений
• Контроль толщины и плоскостности
• Соответствие стандартам SEMI / JEIDA (если применимо)

Мы обеспечиваем как разработку прототипов, так и крупномасштабное серийное производство.

Области применения 12-дюймовых стеклянных пластин

12-дюймовые стеклянные пластины широко используются в передовых отраслях промышленности нового поколения:

• Пакетная сборка полупроводников на уровне пластин (WLP / FOWLP)
• MEMS-датчики и приводы
• Фотонные интегральные схемы (PIC)
• Модули оптической связи
• Передовые технологии отображения (OLED / MicroLED)
• Автомобильные сенсорные системы (LiDAR, радар, системы визуального мониторинга)
• Биочипы и медицинские диагностические приборы
• Высокочастотные радиочастотные и микроволновые компоненты
• Высокоточные оптические системы и литографические платформы

Преимущества 12-дюймовой стеклянной пластины

• Полная совместимость с производственными линиями по выпуску полупроводников с шагом 300 мм
• Превосходная стабильность размеров при обработке деталей большой площади
• Сверхнизкая шероховатость поверхности (<1 нм Ra)
• Высокая оптическая прозрачность (в зависимости от типа материала)
• Превосходные электроизоляционные свойства
• Высокая химическая и термическая стойкость
• Подходит для производственных сред с большими объёмами выпуска
• Возможность индивидуальной настройки толщины, материала и вида поверхности

FAQ (Часто задаваемые вопросы)

Вопрос 1: Могут ли 12-дюймовые стеклянные пластины заменить кремниевые пластины в полупроводниковой промышленности?

12-дюймовые стеклянные пластины не могут полностью заменить кремниевые пластины в производстве активных устройств, однако они широко используются в качестве передовые материалы для подложек или носителей в области монтажа полупроводников, МЭМС и фотонных систем. Стеклянные подложки обладают превосходной электрической изоляцией, оптической прозрачностью и более низкими диэлектрическими потерями, что делает их идеальным выбором для монтажа на уровне подложки (WLP), монтажа WLP с разветвлением выводов (FOWLP) и задач оптической интеграции, где кремний не требуется в качестве активного полупроводникового слоя.

Вопрос 2: Какой уровень плоскостности и качества поверхности вы можете обеспечить для 12-дюймовых стеклянных пластин?

В отношении высокоточных 12-дюймовых стеклянных пластин мы можем обеспечить чрезвычайно строгий контроль качества поверхности. Типичные технические характеристики включают:

• Шероховатость поверхности (Ra): ≤ 1,0 нм (стандартный класс), до ≤ 0,5 нм (ультраполированный класс)
• Общее отклонение по толщине (TTV): ≤ 10–15 мкм в зависимости от материала и толщины
• Ровность поверхности: до λ/10 (дополнительная спецификация высшего класса)

Эти параметры обеспечивают отличную совместимость с современными процессами литографии, склеивания и нанесения тонких пленок.

Вопрос 3: Можно ли адаптировать 12-дюймовые стеклянные пластины под конкретные области применения или технологические требования?

Да. 12-дюймовые стеклянные пластины можно в значительной степени адаптировать к конкретным требованиям. Мы можем настроить ряд параметров в соответствии с требованиями вашего технологического процесса, в том числе:

• Тип материала (боросиликат, кварц, плавленый кварц, безщелочное стекло)
• Толщина (от 500 мкм до 2 мм и более)
• Обработка поверхности (полировка по методу SSP или DSP)
• Профиль кромки (скошенная, закругленная или нестандартная форма кромки)
• Уровень плоскостности, TTV и шероховатости поверхности
• Специальные узоры, ориентировочные метки или лазерная гравировка

Индивидуальная настройка особенно важна для MEMS, оптических систем и передовых решений в области корпусирования, где совместимость технологических процессов имеет решающее значение.