12-дюймовая стеклянная подложка для передовых применений в области полупроводников и МЭМС

12-дюймовая (300 мм) стеклянная пластина представляет собой высококачественную подложку, предназначенную для производства современных полупроводников, устройств MEMS, оптических систем и упаковки на уровне пластины (WLP / FOWLP). По мере того как степень интеграции устройств продолжает расти, а конструкции корпусов становятся всё более сложными, стеклянные пластины большого диаметра становятся важной альтернативой традиционным кремниевым подложкам.

По сравнению с пластинками меньшего размера 12-дюймовые стеклянные пластинки обеспечивают значительно более высокую эффективность производства, лучшую масштабируемость для массового производства, а также совместимость с передовыми технологиями литографии и монтажа. Они широко используются в электронных системах нового поколения, для которых требуются высокая стабильность размеров, низкие диэлектрические потери, превосходная оптическая прозрачность и сверхгладкая поверхность.

Эти пластины изготавливаются из материалов высокой чистоты, таких как боросиликатное стекло, плавленый кремнезем, кварц и бещатное стекло, в зависимости от требований конкретного применения. Каждая пластина проходит процессы прецизионной резки, шлифования, полировки и очистки, что обеспечивает строгий контроль за плоскостностью, равномерностью толщины и шероховатостью поверхности.

Доступные типы материалов для 12-дюймовых стеклянных пластин

Боросиликатное стекло (12-дюймовая подложка)

• Превосходное совпадение коэффициентов теплового расширения с кремнием (~3,2 ppm/K)
• Идеально подходит для анодного соединения
• Высокая химическая стойкость
• Стабильные механические свойства при термоциклировании
• Широко применяется в MEMS и конструкциях корпусов

Кварцевое стекло (12-дюймовая подложка)

• Чрезвычайно высокая оптическая пропускаемость (в диапазоне от УФ до ИК)
• Очень низкое содержание примесей и групп OH
• Термостойкость
• Шероховатость поверхности до Ra ≤ 0,5 нм
• Подходит для оптических MEMS и фотоники

Плавленое кварцевое стекло (12-дюймовая подложка)

• Сверхнизкое тепловое расширение (~0,5 ppm/K)
• Синтетический материал высокой чистоты
• Превосходная термоударная стойкость
• Оптическая пропускаемость >90% (диапазон 200–2000 нм)
• Идеально подходит для высокотехнологичных оптических и полупроводниковых систем

Стекло без щелочи (12-дюймовая пластина)

• Не содержит примесей тяжелых металлов (As, Sb, Ba, галогениды)
• Низкий уровень флуоресцентного фона
• Высокая диэлектрическая стабильность
• Совместимость с передовыми технологиями производства полупроводников
• Превосходная химическая стойкость

Основные технические характеристики (12-дюймовая стеклянная пластина)

Размерные параметры

• Диаметр пластины: 300 мм (12 дюймов)
• Диапазон толщины: 500 мкм – 2000 мкм (по заказу)
• Допуск по толщине: от ±5 мкм до ±20 мкм
• Общее отклонение по толщине (TTV): ≤ 10–15 мкм (класс высокой точности)

Качество поверхности

• Шероховатость поверхности (Ra): ≤ 1,0 нм (стандарт)
• Вариант с ультраполированной поверхностью: Ra ≤ 0,5 нм
• Ровность поверхности: ≤ λ/10 (дополнительная спецификация повышенной точности)
• Обработка кромок: скошенная / закругленная / индивидуальный профиль
• Доступны варианты с двусторонней полировкой (DSP) или односторонней полировкой (SSP)

Характеристики материала (справочные значения)

Производственные возможности

Наши 12-дюймовые стеклянные пластины производятся в условиях высокотехнологичного прецизионного производства:

• Высокоточная формовка и нарезка с ЧПУ
• Химико-механическая полировка (CMP)
• Технология субнанометровой обработки поверхностей
• Очистка и осмотр в условиях, соответствующих стандартам чистых помещений
• Контроль толщины и плоскостности
• Соответствие стандартам SEMI / JEIDA (если применимо)

Мы обеспечиваем как разработку прототипов, так и крупномасштабное серийное производство.

Области применения 12-дюймовых стеклянных пластин

12-дюймовые стеклянные пластины широко используются в передовых отраслях промышленности нового поколения:

• Пакетная сборка полупроводников на уровне пластин (WLP / FOWLP)
• MEMS-датчики и приводы
• Фотонные интегральные схемы (PIC)
• Модули оптической связи
• Передовые технологии отображения (OLED / MicroLED)
• Автомобильные сенсорные системы (LiDAR, радар, системы визуального мониторинга)
• Биочипы и медицинские диагностические приборы
• Высокочастотные радиочастотные и микроволновые компоненты
• Высокоточные оптические системы и литографические платформы

Преимущества 12-дюймовой стеклянной пластины

• Полная совместимость с производственными линиями по выпуску полупроводников с шагом 300 мм
• Превосходная стабильность размеров при обработке деталей большой площади
• Сверхнизкая шероховатость поверхности (<1 нм Ra)
• Высокая оптическая прозрачность (в зависимости от типа материала)
• Превосходные электроизоляционные свойства
• Высокая химическая и термическая стойкость
• Подходит для производственных сред с большими объёмами выпуска
• Возможность индивидуальной настройки толщины, материала и вида поверхности

FAQ (Часто задаваемые вопросы)

Вопрос 1: Могут ли 12-дюймовые стеклянные пластины заменить кремниевые пластины в полупроводниковой промышленности?

12-дюймовые стеклянные пластины не могут полностью заменить кремниевые пластины в производстве активных устройств, однако они широко используются в качестве передовые материалы для подложек или носителей в области монтажа полупроводников, МЭМС и фотонных систем. Стеклянные подложки обладают превосходной электрической изоляцией, оптической прозрачностью и более низкими диэлектрическими потерями, что делает их идеальным выбором для монтажа на уровне подложки (WLP), монтажа WLP с разветвлением выводов (FOWLP) и задач оптической интеграции, где кремний не требуется в качестве активного полупроводникового слоя.

Вопрос 2: Какой уровень плоскостности и качества поверхности вы можете обеспечить для 12-дюймовых стеклянных пластин?

В отношении высокоточных 12-дюймовых стеклянных пластин мы можем обеспечить чрезвычайно строгий контроль качества поверхности. Типичные технические характеристики включают:

• Шероховатость поверхности (Ra): ≤ 1,0 нм (стандартный класс), до ≤ 0,5 нм (ультраполированный класс)
• Общее отклонение по толщине (TTV): ≤ 10–15 мкм в зависимости от материала и толщины
• Ровность поверхности: до λ/10 (дополнительная спецификация высшего класса)

Эти параметры обеспечивают отличную совместимость с современными процессами литографии, склеивания и нанесения тонких пленок.

Вопрос 3: Можно ли адаптировать 12-дюймовые стеклянные пластины под конкретные области применения или технологические требования?

Да. 12-дюймовые стеклянные пластины можно в значительной степени адаптировать к конкретным требованиям. Мы можем настроить ряд параметров в соответствии с требованиями вашего технологического процесса, в том числе:

• Тип материала (боросиликат, кварц, плавленый кварц, безщелочное стекло)
• Толщина (от 500 мкм до 2 мм и более)
• Обработка поверхности (полировка по методу SSP или DSP)
• Профиль кромки (скошенная, закругленная или нестандартная форма кромки)
• Уровень плоскостности, TTV и шероховатости поверхности
• Специальные узоры, ориентировочные метки или лазерная гравировка

Индивидуальная настройка особенно важна для MEMS, оптических систем и передовых решений в области корпусирования, где совместимость технологических процессов имеет решающее значение.

GET A QUOTE

Request a Quote for 12-Inch Glass Wafer for Advanced Semiconductor & MEMS Applications

Tell us your required specifications, dimensions, quantity, application and technical requirements. You can also provide drawings or additional project information. Our technical team will review your requirements and reply as soon as possible.

Имя *

Электронная почта *

Phone *

Комментарий или сообщение *

ОТПРАВИТЬ СООБЩЕНИЕ