SiC-pinnoituskone on erittäin tarkka, täysin automatisoitu pinnoitusjärjestelmä, joka on suunniteltu tasaiseen liimapinnoitukseen kiekkojen, SiC-siementen, grafiittipaperin ja grafiittilevyjen päälle. Järjestelmä on suunniteltu täyttämään puolijohteiden ja kehittyneiden materiaalien käsittelyn tiukat vaatimukset, ja siinä yhdistyvät ultraääniruiskutustekniikka, laserkohdistus ja älykäs nesteenohjaus, joilla saavutetaan poikkeuksellinen pinnoitteen tasaisuus ja prosessin vakaus.
Kehittyneissä valmistusympäristöissä - erityisesti SiC-kiteiden kasvattamisessa ja kiekkojen liimaamisessa - pinnoitteen tasaisuus vaikuttaa suoraan tuotteen tuottoon, liimauksen eheyteen ja prosessin luotettavuuteen. Tämä järjestelmä vastaa näihin haasteisiin varmistamalla hallitun kalvonpaksuuden, minimaalisen materiaalihävikin ja toistettavan suorituskyvyn kaikissa erissä.
Modulaarisen rakenteensa ja ohjelmoitavan ohjausjärjestelmänsä ansiosta SiC-pinnoituskone soveltuu pilottimittakaavan kehittämiseen, prosessin validointiin ja keskisuurten ja suurten erien tuotantoon, mikä tekee siitä monipuolisen ratkaisun sekä tutkimus- ja kehitystyöhön että teollisiin sovelluksiin.
Keskeiset tekniset edut
Erittäin tasainen pinnoitteen suorituskyky
Järjestelmä tukee pinnoitepaksuuksia, jotka vaihtelevat 20 nanometristä kymmeniin mikrometreihin, ja tasaisuus ylittää 95% koko substraatin pinnalla. Tämä tarkkuus poistaa yleiset ongelmat, kuten reunojen muodostumisen, epätasaisen jakautumisen ja paikallisen ohenemisen, jotka ovat kriittisiä huolenaiheita kiekkojen liimauksessa ja korkean lämpötilan sovelluksissa.
Hiukkaspohjaisten liimojen edistynyt käsittelymenetelmä
Toisin kuin tavanomaiset pinnoitusjärjestelmät, tämä kone on suunniteltu erityisesti kiinteitä hiukkasia tai funktionaalisia täyteaineita sisältävien liimojen käsittelyyn. Integroitu jatkuvan virtauksen nesteen syöttöjärjestelmä yhdistettynä reaaliaikaiseen dispergointitekniikkaan varmistaa, että hiukkaset pysyvät tasaisesti jakautuneina koko pinnoitusprosessin ajan, mikä estää laskeutumisen ja suuttimen tukkeutumisen.
Tarkkuusliike ja prosessinohjaus
Järjestelmässä on täysin ohjelmoitava XYZ-koordinoiva liikealusta, joka mahdollistaa pinnoiteratojen, nopeuden ja pinnoituskuvioiden tarkan hallinnan. Monisuutinkokoonpanot mahdollistavat rinnakkaisen käsittelyn, mikä parantaa merkittävästi läpimenoa säilyttäen samalla tasaisen pinnoituslaadun.
Optimoitu jatkojalostusprosesseja varten
Tällä järjestelmällä tuotettu pinnoite muodostaa vakaan ja yhtenäisen rajapinnan seuraaville prosesseille, kuten:
- Tyhjiö kaasunpoisto
- Korkean lämpötilan sintraus
- Suihkupyrolyysin avulla tapahtuva ohutkalvon muodostaminen
Varmistamalla pinnoitteen eheyden esikäsittelyvaiheessa järjestelmä parantaa liimauslujuutta, lämpöstabiilisuutta ja laitteen yleistä suorituskykyä.
Älykäs kunnossapito ja luotettavuus
Pitkäaikaisen teollisen toiminnan tukemiseksi järjestelmä on varustettu seuraavilla laitteilla:
- Automaattisesti puhdistuvat ultraäänisuuttimet
- Nesteiden kierrätysjärjestelmä
- Integroitu pakokaasunpoisto ja suodatusrakenne
Nämä ominaisuudet vähentävät huoltotiheyttä, minimoivat seisokkiaikoja ja varmistavat puhtaan ja vakaan toimintaympäristön.
Tekniset tiedot
| Parametri | Tekniset tiedot |
|---|---|
| Koneen mitat | 920 × 1060 × 1620 mm |
| Tehokas pinnoitealue | 500 × 500 mm (muokattavissa) |
| Virtalähde | 120V / 220V ±10%, 50-60Hz |
| Suutintyyppi | Ultraääni, useita kokoonpanoja saatavilla |
| Pinnoitteen paksuus | 20 nm - kymmeniä µm |
| Nesteen virtausnopeus | 0,006 - 3 ml/s |
| Paikannusjärjestelmä | Laserkohdistus |
| Liikkeenohjaus | Ohjelmoitavat XYZ-akselit |
| Nesteen toimitus | Jatkuva virtaus online-dispersiolla |
| Jätehuolto | Automaattinen puhdistus, kierrätys, pakokaasujärjestelmä |
| Lämmitysvaihtoehto | Tyhjiöadsorptiolämmityslevy |
| Korkean lämpötilan vaihtoehto | Jopa 750 °C:n kuumalevy |
Tyypilliset sovellukset
Puolijohde- ja SiC-kiteiden kasvu
- Kiekon liimauksen valmistelu
- SiC-siementen tarttuvuus
- Rajapintakerroksen pinnoitus ennen sintrausta
Toiminnalliset ja suojaavat pinnoitteet
- Piikarbidipinnoitteet (SiC)
- Flux- ja lietepinnoitteet
- Fotoresistit ja ohutkalvopinnoitteet
Energian varastointi ja joustavat materiaalit
- Akun erottimen pinnoite
- Joustavan substraatin käsittely tyhjiöavusteisella lämmityksellä
Lasi ja aurinkosähköiset materiaalit
- Yhtenäinen pinnoite grafiittikomponenttien välillä
- Ohutkalvopäällystys aurinko- ja optisia sovelluksia varten
Miksi valita ZMSH
ZMSH on erikoistunut tarkkojen puolijohdelaitteiden ja kehittyneiden materiaalinkäsittelyratkaisujen kehittämiseen keskittyen erityisesti puolijohde- ja korkean lämpötilan sovelluksiin. Jokainen järjestelmä on suunniteltu niin, että se tarjoaa korkean toistettavuuden, prosessin vakauden ja pitkäaikaisen toimintavarmuuden.
Tärkeimpiä etuja ovat:
- Todistettu kokemus teollisuuden pinnoitussovelluksista
- Mukautettavat järjestelmäkokoonpanot
- Erityinen tekninen tuki prosessin optimointiin
FAQ - Usein kysytyt kysymykset
Voiko järjestelmä käsitellä kiinteitä hiukkasia sisältäviä liimoja?
Kyllä. Laitteessa käytetään vakiovirtausjärjestelmää, jossa on integroitu dispergointi, mikä takaa tasaisen pinnoitteen ilman tukkeutumista tai hiukkasten laskeutumista.
Kuinka tarkka pinnoitteen paksuuden valvonta on?
Järjestelmä tarjoaa erittäin tarkan ohjauksen 20 nm:n ja kymmenien mikrometrien välisellä alueella, mikä takaa erinomaisen toistettavuuden eri erissä.
Millaisia alustatyyppejä tuetaan?
Se tukee monenlaisia materiaaleja, kuten kiekkoja, SiC-siemeniä, grafiittipaperia, grafiittilevyjä ja joustavia substraatteja.
Soveltuuko se sarjatuotantoon?
Kyllä. Ohjelmoitava XYZ-järjestelmä ja monisuutinominaisuus tekevät siitä ihanteellisen pilottimittakaavan ja keskisuurten tuotantomäärien tuotantoympäristöihin.
Miten pinnoitteen tasaisuus varmistetaan?
Yhtenäisyys saavutetaan yhdistämällä:
- Ultraäänisuihkutekniikka
- Laserkohdistuspaikannus
- Nesteen vakiovirtauksen säätö
- Usean suuttimen synkronointi
Arviot
Tuotearvioita ei vielä ole.