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結晶成長炉
50kg SiC原料の統合の炉の高純度の炭化ケイ素の結晶の準備
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結晶成長炉
6-8インチシリコン＆SiCウェハ洗浄・再マウントループ付きクワッドポリッシング自動化ライン
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結晶成長炉
6/8/12インチLPCVD酸化炉 先端半導体製造用高均一性薄膜蒸着装置
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レーザー穴あけ機
超微細穴加工とマルチマテリアル対応の小型高精度レーザー微細穴加工機
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レーザー穴あけ機
カスタマイズ可能な超硬高温材料用レーザーマイクロドリルマシン
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ワイヤーソー
サファイア/SiC材料加工用ダイヤモンドワイヤーマルチワイヤー・デュアルステーション切断機
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ワイヤーソー
半導体ウェハー加工用ダイヤモンドワイヤーシングル/マルチワイヤーソーマシン
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レーザー切断機
8″ & 12″ウェーハ切断用全自動精密ダイシングソー
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エピタキシー装置
6インチ/8インチウェーハ用高性能GaNエピタキシー装置
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ダイシング装置
先端半導体プロセス向け高精度12インチウェーハダイシングソリューション
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レーザー切断機
SiC、サファイア、石英、アドバンストセラミックス用高精度ダイヤモンドワイヤー単線切断機
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レーザー切断機
ピコ秒およびナノ秒レーザーオプションを備えた高精度レーザー切断機
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