Метка: Medium Beam Ion Implanter
-
Оборудование для ионной имплантации
Система ионной имплантации Ai250 (средний пучок) при комнатной температуре для обработки 6-8-дюймовых кремниевых пластин
-
Оборудование для ионной имплантации
Система высокотемпературной ионной имплантации Ai300 (средний луч) для обработки 12-дюймовых пластин
-
Оборудование для ионной имплантации
Среднелучевая высокотемпературная система ионной имплантации Ai350HT для обработки 6/8-дюймовых SiC и кремниевых пластин
