Tag: Medium Beam Ion Implanter
-
Apparatuur voor ionenimplantatie
Ai250 (Medium Beam) ionenimplantatiesysteem op kamertemperatuur voor verwerking van 6-8 inch siliciumwafers
-
Apparatuur voor ionenimplantatie
Ai300 (Medium Beam) Ionenimplantatiesysteem op hoge temperatuur voor 12-inch waferverwerking
-
Apparatuur voor ionenimplantatie
Ai350HT ionenimplantatiesysteem met middelhoge bundel bij hoge temperatuur voor verwerking van 6/8 inch SiC- en siliciumwafers
