Метка: LSI Manufacturing Equipment
-
Оборудование для ионной имплантации
Система высокотемпературной ионной имплантации Ai300 (средний луч) для обработки 12-дюймовых пластин
-
Оборудование для ионной имплантации
Среднелучевая высокотемпературная система ионной имплантации Ai350HT для обработки 6/8-дюймовых SiC и кремниевых пластин
-
Оборудование для ионной имплантации
Высокоэффективное оборудование для ионной имплантации Ai80HC (High Beam) для легирования кремниевых пластин
