Štítek: LSI Manufacturing Equipment
-
Zařízení pro iontovou implantaci
Vysokoteplotní iontový implantační systém Ai300 (střední paprsek) pro zpracování 12palcových destiček
-
Zařízení pro iontovou implantaci
Ai350HT Střední paprsek vysokoteplotní iontové implantace pro zpracování 6/8 palcových SiC a křemíkových destiček
-
Zařízení pro iontovou implantaci
Vysoce účinné zařízení Ai80HC (High Beam) pro iontovou implantaci pro pokročilé dopování křemíkových destiček
