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코팅/증착 장비
반도체 응용 분야의 정밀 접착제 증착을 위한 SiC 코팅 기계
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결정 성장로
고품질 실리콘 카바이드 단결정 생산을 위한 SiC 결정 성장로(PVT/LPE/HT-CVD)
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웨이퍼
장비 검증, 공정 디버깅, 웨이퍼 워밍업 및 생산 웨이퍼 보호를 위한 SiC 더미 웨이퍼
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결정 성장로
6-12인치 실리콘 카바이드 결정 생산을 위한 SiC 성장로(PVT 방식)
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본딩 머신
기포 없는 웨이퍼 및 SiC 시드 어셈블리를 위한 SiC 정밀 본딩 머신
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결정 성장로
PVT, Lely 및 TSSG 방법을 사용하는 6인치 및 8인치 결정을 위한 SiC 단결정 성장로
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결정 성장로
6인치, 8인치 및 12인치 웨이퍼 생산을 위한 SiC 단결정 저항 가열 성장로(PVT 방식)
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에피택시 장비
6”/8” 에피 웨이퍼용 분할형 수직 기류 SiC 에피택시 장비
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웨이퍼
집적 광학 응용을 위한 절연체 상의 박막 리튬 니오베이트(LNOI) 웨이퍼
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웨이퍼
MEMS 마이크로일렉트로닉스 전도성 기판용 티타늄/구리 금속 코팅 실리콘 웨이퍼 티타늄 구리 스퍼터링 웨이퍼
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웨이퍼
첨단 반도체 패키징 및 열 관리 솔루션을 위한 초박형 독립형 다이아몬드 필름
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웨이퍼
차세대 반도체 열 관리용 초박형 실리콘 집적 다이아몬드 필름
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