分割型垂直気流式炭化ケイ素（SiC）エピタキシー装置は、6インチおよび8インチSiCエピウエハーの高効率生産用に設計された先進のエピタキシャル成長システムです。モジュール式のスプリットタイプアーキテクチャーが特徴で、電源、排気モジュール、EFEM/PM/TMモジュールをグレーゾーンまたはメザニンエリアに独立して設置することができます。この柔軟性により、SMIFモジュールと天井クレーンの連結による完全自動化機能を維持しながら、最新の工場環境にシームレスに統合することができます。.
この装置には、革新的な垂直気流設計とマルチゾーン温度フィールド制御が組み込まれており、高性能SiCパワーデバイスに不可欠な均一な膜厚と安定したドーピング濃度を保証します。EFEMウェーハハンドリングと高温ウェーハ搬送を含む完全自動化により、手作業を減らし、プロセスの一貫性を高め、作業効率を向上させます。.
このシステムは、デュアルチャンバー連続マルチファーネスオペレーションをサポートし、月産1100枚以上、プロセスの最適化により月産1200枚を達成します。その設計は、6インチと8インチの両方のウェハーに完全に対応しており、より大きなウェハーサイズに移行するメーカーに柔軟性を提供します。さらに、この装置は高圧厚膜成長およびトレンチフィリング・エピタキシーが可能で、高度な高電圧・高出力SiCデバイスに適している。.
堅牢なスプリットタイプ構造により、低欠陥密度、高歩留まり、メンテナンスの簡素化、長期信頼性を実現し、半導体メーカーの総所有コストを最小限に抑えます。.
主な技術的利点
- 電源、排気、EFEMモジュールを独立して設置できるスプリットタイプのモジュール設計
- 垂直エアフローシャワーヘッドにより、ウェーハ全体に均一なガス分布を実現
- 正確な温度管理のためのマルチゾーン温度制御
- ハイスループット生産のためのデュアルチャンバー構成
- 低欠陥密度と高歩留まり性能
- EFEMと天井クレーンの統合による完全自動化ウェーハハンドリング
- 6インチおよび8インチSiCウェハーに対応
- 厚膜およびトレンチフィリング・エピタキシーに最適化
- 高い信頼性とメンテナンスの簡素化
プロセス・パフォーマンス
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| スループット | ≥1100枚/月（デュアルチャンバー）、最大1200枚/月（最適化チャンバー） |
| ウェーハサイズ互換性 | 6インチ/8インチSiCエピウエハー |
| 温度管理 | マルチゾーン |
| 気流システム | 垂直方向に調整可能なマルチゾーン・エアフロー |
| 回転速度 | 0-1000rpm |
| 最大成長率 | ≥60μm/時以上 |
| 厚さの均一性 | ≤2%（最適化≦1%、σ/avg、EE 5mm） |
| ドーピングの均一性 | ≦3%（最適化≦1.5%、σ/avg、EE 5mm） |
| キラー欠陥密度 | ≤0.2 cm-² (0.01 cm-² に最適化) |
アプリケーション・シナリオ
分割型垂直気流式SiCエピタキシー装置は、高性能SiC半導体製造、特に高効率、高電圧、高熱性能を必要とする産業で広く使用されている：
電気自動車（EV）
インバーター、車載充電器、DC-DCコンバーター用のSiC MOSFETおよびパワーモジュールの製造に使用され、エネルギー効率と走行距離を向上させる。.
再生可能エネルギー・システム
太陽光発電インバータやエネルギー貯蔵システムに適用され、より高い変換効率と信頼性を実現。.
産業用パワーエレクトロニクス
ハイパワーモータードライブ、産業用オートメーションシステム、安定した効率的な動作を必要とする電源装置に適しています。.
鉄道輸送と電力網
スマートグリッド、トラクションシステム、送電インフラで使用される高電圧・高周波デバイスに対応。.
ハイエンド・パワーデバイス
ショットキーダイオード、MOSFET、次世代高電圧部品などの先端SiCデバイスの製造に最適。.
よくあるご質問
1.この分割型エピタキシー装置は、どのようなウェーハサイズに対応していますか？
このシステムは、6インチと8インチのSiCウェーハの両方をサポートしており、メーカーは将来のスケーリングに備えながら、現在の生産需要を満たすことができる。.
2.スプリットタイプの利点は何ですか？
モジュール式の分割設計により、電源、排気、EFEMモジュールを独立して設置できるため、工場レイアウトの柔軟性が向上し、メンテナンスの利便性も高まります。.
3.垂直気流設計は、エピタキシー品質をどのように向上させるのですか？
垂直気流により、ウェーハ全体に均一なガス分布が確保され、安定した厚み、安定したドーピング、欠陥密度の低減につながります。.
4.この装置は大量生産に適していますか？
デュアルチャンバー構成は、マルチファーネスの連続運転をサポートし、スループットは月産1100枚を超える。.
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